GP200 メタルシール式マスフローコントローラ
GP200シリーズは、半導体製造における高度なエッチングおよび蒸着プロセス用に特別に設計された、初の完全感圧式マスフローコントローラ（P-MFC）です。
GF100 メタルシール マスフローコントローラ & メータ、EtherCat付き
次世代半導体ツール向けに設計されたブルックスGF100シリーズは、最も要求の厳しいプロセス環境においても、組み込み診断、迅速な応答、比類のない長期信頼性を備えた超安定、高速マスフロー制御を提供します。
GF100 メタルシール式マスフローコントローラ＆メータ
高純度及び超高純度プロセスガスの高速応答、繰り返し供給、これがGF100シリーズのメタルシール式マスフローコントローラー及びメーターが提供する性能です。
Quantim® QMC コリオリマスフローメータ＆コントローラ
ブルックスインスツルメンツの新シリーズQuantim® QMCコリオリ流量計とコントローラーにより、液体または気体の極微小流量の最も正確で安定した再現性のある測定と制御を実現します。
PC100メタルシール圧力コントローラー
PC100シリーズ圧力コントローラーとメーターは、多くの高性能技術機能を組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、その他の超精密製造プロセスに新しいレベルの圧力制御精度と信頼性を提供します。
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XacTorr®加熱キャパシタンスマノメーター
真空に依存するプロセスの効率と性能を最大化します：ブルックスインスツルメンツのXacTorr®シリーズデジタル真空キャパシタンスマノメータをお選びください。XacTorr®シリーズには、測定の信頼性を向上させ、ドリフトを最小限に抑え、ダイアフラムの汚染に強く、熱影響を最小限に抑える、業界をリードする機能が組み込まれています。
SolidSense II® 圧力トランスデューサー
多くの産業における超高純度および特殊ガス・アプリケーションの圧力測定では、圧力トランスミッタとトランスデューサーは安定性と精度を維持する必要があります。そのため、Brooks Instrument SolidSense II®高圧トランスデューサーは、溶接のない耐腐食性材料と、卓越したゼロ安定性とフルスケールの0.25%以内の精度を実現する設計を組み合わせています。
