GP200 Metallgedichtete Massedurchflussregler
Die GP200-Serie ist der erste vollständig druckunempfindliche, druckbasierte Massendurchflussregler (P-MFC), der speziell für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde.
GF100 Metallgedichtete Massedurchflussregler und -messgeräte mit EtherCat
Die Brooks GF100 Serie wurde für die nächste Generation von Halbleiterwerkzeugen entwickelt und bietet eine ultrastabile Hochgeschwindigkeits-Massendurchflussregelung mit integrierter Diagnose, schnellem Ansprechverhalten und unübertroffener Langzeitzuverlässigkeit, selbst in den anspruchsvollsten Prozessumgebungen.
GF100 Metallgedichtete Massedurchflussregler und -messgeräte
Schnelles Ansprechen, wiederholbare Lieferung von Prozessgasen mit hohem und ultrahohem Reinheitsgrad - das ist die Leistung, die die metallisch dichtenden Massedurchflussregler und -messer der GF100-Serie bieten.
Quantim® QMC Coriolis-Massedurchflussmesser und -Regler
Mit den neuen Quantim® QMC Coriolis-Durchflussmessern und -Reglern von Brooks Instrument erreichen Sie die genaueste, stabilste, wiederholbarste und reproduzierbarste Messung und Regelung von sehr kleinen Durchflussraten von Flüssigkeiten oder Gasen.
PC100 Metallgedichtete Druckregler
Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 vereinen eine Vielzahl von technologischen Hochleistungsmerkmalen, um ein neues Maß an Druckregelungsgenauigkeit und -zuverlässigkeit für anspruchsvolle Halbleiter-, Aufdampf- und andere ultrapräzise Fertigungsprozesse zu erreichen.
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Beheizte XacTorr®-Kapazitätsmanometer
Maximieren Sie die Effizienz und Leistung Ihrer vakuumabhängigen Prozesse: Entscheiden Sie sich für die digitalen kapazitiven Vakuum-Manometer der XacTorr®-Serie von Brooks Instrument. Die Geräte der XacTorr®-Serie verfügen über branchenführende Merkmale, die die Zuverlässigkeit der Messung verbessern, die Drift minimieren, die Membranverschmutzung verhindern und thermische Effekte minimieren.
SolidSense II® Druckmessumformer
Für die Druckmessung in Reinst- und Spezialgasanwendungen in vielen Industriezweigen müssen Druckmessumformer und -transducer Stabilität und Genauigkeit gewährleisten. Deshalb kombinieren die SolidSense II® Hochdruckmessumformer von Brooks Instrument schweißfreie, korrosionsbeständige Materialien mit einem Design, das eine hervorragende Nullpunktstabilität und eine Genauigkeit von 0,25 % des Skalenendwertes bietet.
