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GF100 Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte

Herausragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit – mit den MFCs der Serie GF100

Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF100 sind nicht nur sehr schnell ansprechbar. Die leistungsstarken MFCs bieten Ihnen auch eine hohe Wiederholbarkeit und Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt.

Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle Durchflussmesser der Serie sind zudem standardmäßig mit MultiFlo™ ausgestattet. So können Sie eine Vielzahl an Gas-Arten mit nur einem Massendurchflussregler messen.

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Merkmale

Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
Einschwingzeiten: 300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 Sekunde
Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm oder 0,25 µm
Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
Lokale Anzeige
Optionales sicheres Gas-Bereitstellungssystem (SDS)
DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Ihre Vorteile

Absolut zuverlässig (im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards)
Schnelle Gaswechsel während des Spülprozesses dank korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg mit reduzierten Oberflächen und Totvolumen.
Mit MultiFlo™ lassen sich neue Prozessgase und/oder Bereiche in weniger als 60 Sekunden einstellen – keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich.
Umfangreiche Konfigurations- und Anschlussoptionen sorgen für problemlosen Austausch und Ersatz der meisten Marken metallgedichteter Massedurchflussregler, einschließlich der früheren Marken Celerity, Mykrolis, Tylan und UNIT.
GF120 Safe Delivery System (SDS®, sicheres Bereitstellungssystem) für sichere Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse
Komfortables Benutzerdisplay und unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss für eine unkomplizierte Geräteinstallation, Überwachung und Fehlerbehebung.

How a Mass Flow Meter Addresses Flow Bursts with Zero Leak-by Valve Technology

Medientyp	Gas
Durchflussmessprinzip	Thermal (TMF)
Durchflussbereich	Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm, High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm
Genauigkeitsbereich	Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%, High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
Ablehnungsquote	Standard GF Series: 2-100%, High Flow GF Series: 5-100%
Wiederholgenauigkeit	5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5% = ±0.015% F.S.
Maximaler Druck	500 psi
Betriebstemperatur	10°C - 50°C
Messen/Steuern	Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter)
Maximaler Durchfluss	300 slpm
Maximale Temperatur	50 celsius
Dichtungsoption	Metal
Genauigkeit (% vom Messwert)	±1.0%
Konnektivität	RS485, DeviceNet

Dateiname

Dateityp

Dokumente nach Sprache

Data Sheet - GF100 Series

PDF

English Chinese

Data Sheet - GF120xHT Series

PDF

English

Installation & Operation Manual - GF100 Series

PDF

English

DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series

PDF

English

RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series

PDF

English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series	Fitting	Connector
GF1xx	AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)	BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
	VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
	WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
		G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)