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Dünne Schichten, Beschichtungen und Oberflächenbehandlungen

Dünne Schichten, Beschichtungen und Oberflächenbehandlungen decken ein breites Spektrum von Branchen und Anwendungen ab, von Beschichtungen für medizinische Geräte über Halbleiter bis hin zu Lebensmittelverpackungen. In jeder dieser Anwendungen wird ein Produkt durch das Aufbringen einer Beschichtung modifiziert, um die endgültigen Eigenschaften des Produkts zu verbessern. Brooks Instrument bietet eine Vielzahl von Massedurchflussreglern und -messgeräten zur Unterstützung aller Dünnschichtprozesse.

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Empfohlene Produkte

Zuverlässige und bewährte Lösungen für alle Dünnschichtanwendungen

Serie SLA 10 20 40
SLA5800 Massedurchflussregler und -messgeräte mit Elastomerdichtung

Die Serie SLA5800 bietet die hohe Genauigkeit, die hohe Nullpunktstabilität und die hohe Wiederholbarkeit, die Sie vom Branchenführer in der Massendurchflussmess- und -regeltechnik erwarten. Der digitale MFC SLA5800 wurde mit einem überlegenen Design entwickelt - und mit fortschrittlichen Mess- und Prüfsystemen hergestellt - und bietet eine bessere Nullpunktdrift-Spezifikation als Konkurrenzprodukte. Der SLA5800 maximiert nachweislich die Betriebszeit der Produktion und reduziert die Kosten für Wartung und Maschinenstillstand.

Baureihe GF40
GF040 Massedurchflussregler und -messgeräte mit Elastomerdichtung

Mehrere Gase in einem Gerät, das bedeutet maximale Prozessflexibilität und Produktivität. Die elastomergedichteten Massedurchflussregler und -zähler der Serie GF40 mit der exklusiven MultiFlo™-Technologie von Brooks Instrument sind die perfekte Wahl für Systeme, Prozesse und Anlagen, die eine Vielzahl von Gasen verwenden, häufig die Gasart wechseln oder einen neuen Messbereich benötigen, ohne dass die Genauigkeit der Gasmessung und -regelung beeinträchtigt wird. Sie ermöglicht ein neues Maß an Prozessflexibilität in Kombination mit einer beispiellosen Durchflussmess- und -regelleistung.

Baureihe GF100
GF100 Metallgedichtete Massedurchflussregler und -messgeräte

Schnelles Ansprechen, wiederholbare Lieferung von Prozessgasen mit hohem und ultrahohem Reinheitsgrad - das ist die Leistung, die die GF100-Serie metallgedichteter Massendurchflussregler und -messgeräte bietet. Die GF100-Serie wurde für Halbleiter-, MOCVD- und andere Gasdurchflussregelungsanwendungen entwickelt und übertrifft den Halbleiter-Industriestandard für Zuverlässigkeit, indem sie eine wiederholbare, äußerst stabile Leistung über einen langen Zeitraum gewährleistet. Die standardmäßige MultiFloTM-Technologie ermöglicht es einem MFC, Tausende von Gasarten und Bereichskombinationen zu unterstützen, ohne ihn von der Gasleitung zu entfernen oder Kompromisse bei der Genauigkeit einzugehen.

Quantim® QMC Coriolis
Quantim® QMC Coriolis-Massedurchflussmesser und -Regler

Dieses Quantim® QMC Coriolis-Durchflussmessgerät der dritten Generation wurde entwickelt, um die Prozessqualität, die Produktionsausbeute und den Durchsatz zu verbessern und die Scale-up-Zeit vom Labor zur Pilotanlage bis zur Produktion zu verkürzen. Die Geräte nutzen eine moderne, mit IoT ausgestattete digitale Architektur, die in Kombination mit dem Sensordesign der nächsten Generation eine schnellere Reaktionszeit mit geringem bis gar keinem Überschwingen bei der Anpassung des Gas- oder Flüssigkeitsdurchflusses, eine verbesserte Nullpunktstabilität und erweiterte E/A-Optionen ermöglicht.

Unbenannter Entwurf (3)
Beheizte XacTorr®-Kapazitätsmanometer

Maximieren Sie die Effizienz und Leistung Ihrer vakuumabhängigen Prozesse: Entscheiden Sie sich für die digitalen kapazitiven Vakuum-Manometer der XacTorr®-Serie von Brooks Instrument. Die Geräte der XacTorr®-Serie verfügen über branchenführende Merkmale, die die Zuverlässigkeit der Messung verbessern, die Drift minimieren, die Membranverschmutzung verhindern und thermische Effekte minimieren.

SolidSense II Serie-1
SolidSense II® Druckmessumformer

Für die Druckmessung in Reinst- und Spezialgasanwendungen in vielen Industriezweigen müssen Druckmessumformer und -transducer Stabilität und Genauigkeit gewährleisten. Deshalb kombinieren die SolidSense II® Hochdruckmessumformer von Brooks Instrument schweißfreie, korrosionsbeständige Materialien mit einem Design, das eine hervorragende Nullpunktstabilität und eine Genauigkeit von 0,25 % des Skalenendwertes bietet.

Ressourcen

Ressourcen zur Verbesserung von Präzision und Leistung

Digitale Instrumente und Protokolle ebook cover

eBook

Wie digitale Instrumente und Protokolle helfen, kritische Prozessherausforderungen zu lösen

Video

Hervorragende Langzeit-MFC-Stabilität sorgt für eine genauere Gasflusskontrolle

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