Zum Hauptinhalt springen

MFC Upgrade Programm

gf100-cutaway-no-callouts-3-784px (1)

Zwei Upgrade-Optionen. Ein Ziel: Bessere Prozesskontrolle.

Maximieren Sie Ihre Investition mit unseren zukunftsweisenden MFC-Upgrade-Optionen. Diese kosteneffizienten Lösungen verlängern nicht nur die Lebensdauer Ihrer bestehenden Anlagen, sondern sorgen auch für eine verbesserte Prozesssteuerung und optimierte Erträge, wodurch Sie Geld sparen.

Option 1: MFC-Upgrade-Programm

Kopfzeile2x

Hauchen Sie Ihren Durchflussreglern neues Leben ein.

In Hightech-Produktionsumgebungen kostet ein Prozess mit suboptimalen Erträgen Geld. Stabile, genaue und zuverlässige Massendurchflussregler (MFCs) gewährleisten die Konsistenz und Qualität Ihrer Produkte.

Angesichts des technologischen Fortschritts stehen Sie jedoch möglicherweise am Scheideweg: Sie müssen Ihr gesamtes Durchflussregelungssystem zu erheblichen Kosten ersetzen oder längere Ausfallzeiten riskieren.


Wie es funktioniert

Die Aufrüstung Ihrer MFCs mit Brooks Instrument ist ein nahtloser Prozess, der darauf ausgelegt ist, die Unterbrechung zu minimieren und den Wert zu maximieren:

  • Finden Sie Ihr Gerät und bestimmen Sie, auf welches Modell Sie aufrüsten möchten.
Ihr Gerät Aufgerüstetes Gerät
5800-E & I, 5800-S, MF-S, SLA5800, SLAMF Serie Revision A SLA5800, SLAMF-Reihe Revision B
Standard
Biotech Leistungspaket
Biotech-Premium-Paket
SLA5800, SLAMF-Baureihe Revision B
Standard
SLA5800, SLAMF-Reihe Revision B
Biotech-Leistungspaket
Biotech-Premium-Paket
Quantim® QMB Quantim® QMC
  • Fordern Sie ein Angebot an, indem Sie das Formular auf dieser Seite ausfüllen
  • Ein Vertriebsmitarbeiter von Brooks Instrument wird sich mit Ihnen in Verbindung setzen und Ihnen die nächsten Schritte mitteilen
  • Ihre vorhandenen MFCs werden sorgfältig überholt, wobei Schlüsselkomponenten wie die Elektronik, der Sensor, die Abdeckhaube und die Ventilspule in einem 3-wöchigen Prozess ausgetauscht werden.
  • Genießen Sie die Sicherheit unserer 12-monatigen Garantie und des laufenden Supports.

Wir verstehen die Herausforderungen, mit denen Sie konfrontiert sind:

icons

Knappe Kapital- und Personalbudgets, die den Austausch eines kompletten Durchflusskontrollsystems zu einer entmutigenden Aussicht machen

icons

Der Wunsch, die Prozesseffizienz zu verbessern, ohne Ihre bewährten Arbeitsabläufe zu stören

icons

Der Bedarf an verbesserter Genauigkeit und fortschrittlicher Diagnostik zur Sicherung Ihrer Produktion

icons

Regulatorische und Compliance-Anforderungen

Unser Upgrade-Programm geht diese Herausforderungen direkt an und bietet eine kostengünstige Lösung, die Ihre vorhandenen MFCs ins digitale Zeitalter bringt.

Darüber hinaus unterstützt es Nachhaltigkeitsinitiativen und reduziert Abfall, was gut für den Planeten und die Bilanz ist.


Option 2: GF1xx Zero Leak-By Ventil Upgrade

Behebung des First-Wafer-Effekts durch 100-fache Reduzierung der Ventilabschaltung

Im Leerlauf kann das Volumen zwischen dem Regelventil des Massendurchflussreglers (MFC) und dem nachgeschalteten pneumatischen Absperrventil aufgrund einer normalen kleinen Leckage am Regelventil des MFC in geschlossener Stellung mit Prozessgas unter Druck gesetzt werden.

Während des ersten Prozess-Sollwerts kann dieses Volumen an nicht dosiertem Gas auf den ersten Wafer einwirken.

Durch die Kontrolle des internen MFC-Totvolumens nach dem Ventil und die Verbesserung der Ventilabsperrung um das >100-fache werden mögliche Auswirkungen auf den Prozess praktisch eliminiert.

Bildschirmfoto 2025-12-10 100046

Fordern Sie jetzt eine KOSTENLOSE Beratung oder ein Upgrade an