MFCアップグレード
2つのアップグレードオプション。
1つの目標:プロセス制御の向上。
先進的なMFCアップグレードオプションで、お客様の投資を最大化します。これらの費用対効果の高いソリューションは、既存の装置の寿命を延ばすだけでなく、プロセス制御の改善と歩留まりの最適化を実現し、お客様のコスト削減に貢献します。
オプション1:MFCアップグレード・プログラム

フローコントローラーに新しい息吹を。
ハイテク製造環境では、最適でない歩留まりでプロセスを稼動させるとコストがかかります。安定した、正確で信頼性の高いマスフローコントローラ(MFC)は、製品の一貫性と品質を保証します。
しかし、技術の進歩に伴い、多額のコストをかけてフロー制御システム全体を交換するか、ダウンタイム増加のリスクを負うかという岐路に立たされることがあります。
どのように機能するか
Brooks InstrumentによるMFCのアップグレードは、混乱を最小限に抑え、価値を最大化するように設計されたシームレスなプロセスです:
- お使いのデバイスを検索し、アップグレードするモデルを決定します。
| お使いのデバイス | アップグレードデバイス |
|---|---|
| 5800-EおよびI、5800-S、MF-S、SLA5800、SLAMFシリーズ リビジョンA | SLA5800、SLAMFシリーズ・リビジョンB 標準 バイオテックパフォーマンスパッケージ バイオテックプレミアムパッケージ |
| SLA5800、SLAMFシリーズ改良B スタンダード |
SLA5800、SLAMFシリーズ改訂B バイオテックパフォーマンスパッケージ バイオテックプレミアムパッケージ |
| Quantim® QMB | Quantim® QMC |
- このページのフォームを送信して見積もりを入手する
- ブルックス・インスツルメンツの営業担当者が次のステップについてご連絡します。
- 既存のMFCを入念に改修し、電子機器、センサー、カバー缶、バルブコイルなどの主要コンポーネントを3週間のプロセスで交換します。
- 12ヶ月の保証と継続的なサポートでご安心ください。
私たちはあなたが直面している課題を理解しています:
資本と人員の予算が逼迫しており、流量制御システムの全交換は困難な見通し
有効なワークフローを中断することなくプロセス効率を向上させたい
生産を保護するための精度向上と高度な診断の必要性
規制およびコンプライアンス要件
当社のアップグレードプログラムは、これらの課題に真正面から取り組み、既存のMFCをデジタル時代に適合させる費用対効果の高いソリューションを提供します。
また、サステイナビリティへの取り組みをサポートし、廃棄物を削減することで、地球と利益に貢献します。
オプション2:ゼロ・リーク・バイ・バルブのアップグレード
バルブシャットオフの100倍削減によるファーストウェハー効果への対応
アイドル・モードでは、マス・フロー・コントローラー(MFC)コントロール・バルブと下流側の空気圧式アイソレーション・バルブとの間の容積は、MFCのコントロール・バルブが閉位置にある場合、通常のわずかなリークによってプロセス・ガスで加圧される可能性があります。
最初のプロセス設定値の間、この量の未計測ガスが最初のウェハに影響を与える可能性があります。
バルブの後のMFC内部のデッドボリュームを制御し、バルブのシャットオフを100倍以上に改善することで、プロセスへの潜在的な影響を事実上排除することができます。

アップグレード方法
1.下記の「今すぐアップグレード」を選択し、サポートポータルにログインし、RMAを作成します。
2.修理/アップグレード・サービス」を選択します。
3.Brooks Instrument MFCのアップグレードを選択します。