真空ゲージ
高性能真空測定
ブルックス・インスツルメントの真空計は、過酷な環境下でも安定した再現性の高い測定を実現します。高度なセンサー技術を採用した静電容量式マノメーターとピラニ真空計は、幅広い真空範囲で高速応答、長期安定性、そして最小限のドリフトを実現します。耐久性に優れ、メンテナンスの手間がかからない設計により、半導体、産業、ライフサイエンス分野など、様々な用途で安定した性能を発揮します。
VersaTorr BVT200 トランスデューサー
| 圧力範囲 | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| 精度 | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5… |
| 接続性 | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| デバイス温度 | Ambient - 50°C |
VersaTorr BVT100 真空計
| 圧力範囲 | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| 精度 | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5… |
| 接続性 | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| デバイス温度 | Ambient - 50°C |
CMC非加熱式静電容量マノメーター
| 圧力範囲 | 10, 20, 50, 100 and 1000 Torr … |
|---|---|
| 精度 | Type A = 0.25% of Reading, Typ… |
| 接続性 | Analog (0–10 V) |
| デバイス温度 | Ambient |
XacTorr® 加熱式静電容量マノメーター
| 圧力範囲 | 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 T… |
|---|---|
| 精度 | CMX0: 0.25% of Reading, CMX1, … |
| 接続性 | RS485, EtherNet/IP |
| デバイス温度 | CMX0 Ambient, CMX1 45°C, CMX2 … |
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