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薄膜、コーティング、表面処理

薄膜、コーティング、表面処理は、医療機器のコーティングから半導体、食品包装に至るまで、幅広い産業と用途をカバーしている。これらの用途のそれぞれにおいて、製品の最終的な特性を向上させるためにコーティングを施すことによって製品が改良されます。ブルックスインスツルメンツは、あらゆる薄膜プロセスをサポートする様々なマスフローコントローラーとメーターを提供しています。

おすすめ商品

あらゆる薄膜アプリケーションに対応する信頼と実績のソリューション

SLA5800 エラストマーシール式マスフローコントローラ＆メータ

SLA5800シリーズは、質量流量計測・制御技術の業界リーダーとして期待される高精度、高ゼロ点安定性、高繰返し精度を特長としています。SLA5800デジタルMFCは優れた設計で設計され、高度な計測とテストシステムで製造され、競合製品よりも優れたゼロドリフト仕様を提供します。SLA5800は生産稼働時間を最大化し、メンテナンスと機械のダウンタイムコストを削減することが証明されています。

GF040 エラストマーシール式マスフローコントローラ＆メータ

1台の装置で複数のガスが使用でき、プロセスの柔軟性と生産性を最大化します。ブルックス独自のMultiFlo™ 技術を搭載したGF40シリーズ・エラストマーシール式マスフローコントローラーとメーターは、様々なガスを使用したり、頻繁にガスの種類を変更したり、ガス測定と制御の精度を保ちながら再レンジを必要とするシステム、プロセス、設備に最適な選択肢を提供します。前例のない流量測定および制御性能と組み合わされた新しいレベルのプロセス柔軟性を可能にします。

GF100 メタルシール式マスフローコントローラ＆メータ

高純度及び超高純度プロセスガスの高速応答、再現性のある供給-それがGF100シリーズのメタルシールマスフローコントローラとメーターが提供する性能です。半導体、MOCVD、その他のガス流量制御アプリケーション用に設計されたGF100シリーズは、半導体業界標準の信頼性を超え、長期間にわたって再現性のある非常に安定した性能を保証します。標準装備のMultiFloTM テクノロジーにより、ガスラインから取り外すことなく、また精度に妥協することなく、1台のMFCで数千種類のガス種とレンジの組み合わせに対応することができます。

Quantim® QMC コリオリマスフローメータ＆コントローラ

この第3世代Quantim® QMCコリオリ流量計は、プロセス品質、生産歩留まり、スループットを改善し、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ時間を短縮するように設計されています。このデバイスは最新のIoT搭載デジタルアーキテクチャを採用しており、次世代センサー設計と組み合わせることで、ガスや流体の流量を調整する際にオーバーシュートをほとんど発生させずに応答時間を短縮し、ゼロ点安定性を改善し、I/Oオプションを拡張することができます。

XacTorr®加熱キャパシタンスマノメーター

真空に依存するプロセスの効率と性能を最大化します：ブルックスインスツルメンツのXacTorr®シリーズデジタル真空キャパシタンスマノメータをお選びください。XacTorr®シリーズには、測定の信頼性を向上させ、ドリフトを最小限に抑え、ダイアフラムの汚染に強く、熱影響を最小限に抑える、業界をリードする機能が組み込まれています。

SolidSense II® 圧力トランスデューサー

多くの産業における超高純度および特殊ガス・アプリケーションの圧力測定では、圧力トランスミッタとトランスデューサーは安定性と精度を維持する必要があります。そのため、Brooks Instrument SolidSense II®高圧トランスデューサーは、溶接のない耐腐食性材料と、卓越したゼロ安定性とフルスケールの0.25%以内の精度を実現する設計を組み合わせています。