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CMC非加熱式静電容量マノメーター

コスト効率の高い真空測定を実現するコンパクトな非加熱ゲージ

ブルックスインスツルメントのCMCシリーズキャパシタンスマノメータは、広範囲な動作温度にわたって信頼性の高い正確な真空測定を実行し、高額な大型非加熱ゲージに代わる経済的な代替品です。コンパクトなデザインと実証された性能で、小型形状のゲージが必要な既存ツールのアップグレード版として理想的です。

全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面により、最も難易度の高いプロセスでも、信頼性と繰り返し性の高い運転が可能です。精密コンポーネントと幅広い温度補償動作範囲を組み合わせることで、最適な測定安定度を実現するクラス最高のゼロおよびスパン温度係数を提供します。

特長
  • 10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応
  • 2種類の精度レベル:0.25%または0.50%の読み取り(オプション)
  • 広範囲な動作温度にわたって卓越した性能を提供
  • 従来の非加熱キャパシタンスマノメーターより40%も小さなコンパクトサイズ
  • 全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面
メリット
  • 高額な非加熱マノメーターと同等の精度を実現するオプションの高精度キャリブレーション
  • クラス最高のゼロおよびスパン温度係数
  • 狭小なマシンスペースにも組み込める省スペース設計
  • エラーの原因となる内部ストレスを起こす他社製品の設計と比較すると、最適な測定繰り返し性を実現
圧力範囲 10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale
精度 Type A = 0.25% of Reading, Type B = 0.50% of Reading
接続性 Analog (0–10 V)
デバイス温度 Ambient
測定原理 Capacitance Diaphragm Gauge
ファイル名
ファイル形式
言語別ドキュメント
Data Sheet - CMC Series
PDF
Installation & Operation Manual - CMC Series
PDF