PC100 Metallgekapselte Druckregler
Präzise Regelung auch unter hohem Druck
Ob Halbleiterfertigung oder Dampfabscheidung: Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 liefern Ihnen auch in ultrapräzisen Fertigungsprozessen genaue und zuverlässige Druckregelwerte.
Die Serie PC100 basiert auf der Technologie des Massendurchflussreglers GF100. Sie profitieren von einem hochreinen, vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg und einer speziell auf die Vermeidung von Sensordrift ausgelegten Sensortechnologie.
Außerdem sind Druckregler der Serie PC100 mit modernsten Diagnosefähigkeiten ausgestattet. Diese erleichtern Ihnen die Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich. So minimieren Sie Ihren Wartungsaufwand und steigern die Verfügbarkeit Ihrer Geräte.
Merkmale
- Ansprechzeit: <1 Sekunde
- Endwertdurchflussraten bis zu 10 sl/min
- Transmitterdruckbereich: 1000 torr Endwert
- Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Oberflächenrauigkeit Ra 0,13 µm
- Durchflusssensor aus hoch korrosionsbeständigem Hastelloy® C22
- ARM-Highspeed-Prozessor
- Schnell reagierende, membranlose Ventileinheit
- Benutzerfreundliches LCD-Display mit leicht zugänglichem Taster zur lokalen Anzeige von Durchfluss, Temperatur und Netzwerkadresse
- Unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
- DeviceNet™ Protokoll
Ihre Vorteile
- Hochleistungskomponenten ermöglichen ein schnelles Ansprechen und eine Einstellzeit für eine verbesserte Druckregelung
- Reduzierung des Streugasverbrauchs und der damit verbundenen Kosten
- Korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender und SEMI F20-konformer Strömungsweg mit insgesamt reduzierten Oberflächen und Totvolumen sorgt für schnelleres Abtrocknen während der Spülschritte
- Hohe Langzeitstabilität, maximierter Ertrag und Durchsatz
- Individuelle Einschaltfunktion für Prozesse, die eine langsam steigende Druckregelung erfordern
| Maximaler Betriebsdruck | 1000 torr |
|---|---|
| Wiederholgenauigkeit | < ±0.2% F.S. |
| Genauigkeit | Pressure Reading: ± 1% of reading | Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S. | Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S |
| Konnektivität | RS485, DeviceNet |
| Betriebstemperatur | 10°C - 50°C |
| Druckregelbereich | 50:1 |
| Durchflussbereich | 10 slpm (N2 or H2 only) |
| Maximaler Durchfluss | 10 slpm |
| Maximale Temperatur | 50 celsius |
| Genauigkeit (Endwert) | ±1% FS |
| Dichtungsoption | Metal |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller) |
| Technologieprinzip | Pressure Control |
| Medientyp | Gas/Pressure |
Use the following guide, based on model code information from the data sheet, to translate the filename of the CAD drawings available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF120xHT (model) - CX (fitting) - G1 (connector)
| Model | Fitting | Connector |
| GF120xHT | BX - 1-1/2” body width, 92 mm W Seal | BX - Cable adapter to 15-pin D adapts G1 base |
| CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal | *DX - DeviceNet™ 5-pin micro | |
| LX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal w/Poke Yoke | EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks adapts GX base | |
| VX - 1-1/8” body width, 124 mm 1-1/4” VCR male | GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”), display and overlay 180 degree orientation | |
| WX - 1-1/8” body width, 92 mm W Seal | G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”) | |
| HX - Adapter to cardedge adapts to G1 base | ||
| IX - Adapter to cardedge adapts to GX base | ||
| JX - Cable adapter with 9-pin STEC pin-out & jack screws (w/VTP) adapts SX base | ||
| KX - Cable adapter to MKS 15-pin D, adapts G1 base | ||
| QX - Adapter to cardedge (w/out VTP) adapts to SX base | ||
| SX - 9-pin D with STEC pin-out (w/VTP) (units “S“, “Q“) | ||
| UX - Cable adapter to 15-pin D (w/VTP) adapts SX base |