モデル PC115 / PC125
PC100 金属密閉型圧力コントローラー
圧力下でも高精度測定、 精度をコントロール
PC100シリーズプレッシャーコントローラおよびメータは、さまざまな高性能なテクノロジーを組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、高精度の製造プロセスでも、精度と信頼性の高い圧力制御を実現します。
実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、センサドリフト（偏差）を低減する高性能なセンサテクノロジー、ユーザーインターフェース、デバイスの診断機能を搭載。デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行し、稼働中断やダウンタイムを大幅に減らします。
特長
- 応答時間：1秒以下
- フルスケール流量レート 最大10 slm
- トランデューサ圧力レンジ：1000 Torr FS
- メタルシール流量経路：5µインチRa表面仕上げ
- 組み込みフローメータ付PC125には、高速ARMプロセッサを搭載した耐腐食ハステロイ®製C-22フローセンサが付属
- 非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリ
- 使いやすいプッシュボタンを備え、流量、温度、ネットワークアドレスをローカル表示する可視性の高いLCDディスプレイ
- 独立した診断/サービスポート独立した診断/サービスポート
- DeviceNet™ プロトコル
メリット
- 圧力制御向上のための応答時間と設定時間を短縮する高性能コンポーネント
- 転用ガス消費と廃棄コストを削減
- SEMI F20準拠の耐腐食性オールメタル接ガス･接液部流路で表面積とデッ ドボリュームを削減し、パージ時におけるドライダウン時間を短縮
- サーマルセンサと圧力センサの長期安定性により、最大の収率とスループットを保証
- スローランプ付の圧力制御が必要なプロセス向けにユーザー定義が可能な起動機能
| 最大使用圧力 | 1000 torr |
|---|---|
| 再現性 | < ±0.2% F.S. |
| 精度 | Pressure Reading: ± 1% of reading | Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S. | Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S |
| 接続性 | RS485, DeviceNet |
| 動作温度 | 10°C - 50°C |
| 圧力制御範囲 | 50:1 |
| 流量測定原理 | Pressured-based (P-MFC) |
| 流量範囲 | 10 slpm (N2 or H2 only) |
| 最大流量 | 10 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 精度（フルスケール） | ±1% FS |
| シールオプション | Metal |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller) |
| 技術原理 | Pressure Control |
| 使用媒体 | Gas/Pressure |
Use the following guide, based on model code information from the data sheet, to translate the filename of the CAD drawings available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF120xHT (model) - CX (fitting) - G1 (connector)
| Model | Fitting | Connector |
| GF120xHT | BX - 1-1/2” body width, 92 mm W Seal | BX - Cable adapter to 15-pin D adapts G1 base |
| CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal | *DX - DeviceNet™ 5-pin micro | |
| LX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal w/Poke Yoke | EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks adapts GX base | |
| VX - 1-1/8” body width, 124 mm 1-1/4” VCR male | GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”), display and overlay 180 degree orientation | |
| WX - 1-1/8” body width, 92 mm W Seal | G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”) | |
| HX - Adapter to cardedge adapts to G1 base | ||
| IX - Adapter to cardedge adapts to GX base | ||
| JX - Cable adapter with 9-pin STEC pin-out & jack screws (w/VTP) adapts SX base | ||
| KX - Cable adapter to MKS 15-pin D, adapts G1 base | ||
| QX - Adapter to cardedge (w/out VTP) adapts to SX base | ||
| SX - 9-pin D with STEC pin-out (w/VTP) (units “S“, “Q“) | ||
| UX - Cable adapter to 15-pin D (w/VTP) adapts SX base |