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Capacitance Manometers

고급 마노미터 기술로 지속적인 진공 정확성을 제공합니다.

모든 진공 압력 게이지와 챔버 공정은 정교한 Torr 레벨을 갖추어 지속적인 공정 산출량에 도달해야 합니다. 업계를 선도하는 고급 센서 기능을 갖춘 Brooks Instrument의 정전용량 마노미터는 마노미터 측정 신뢰도 개선, 드리프트 최소화, 다이어프램 오염 방지, 열 영향 최소화를 위해 설계되었습니다. 또한 이러한 진공 압력 게이지는 완전 디지털 기기이기 때문에 Brooks 정전용량 마노미터는 매우 우수한 정확도로 다양한 동적 범위에서 작동됩니다. 이를 통해 모든 진공 측정 용도에 이용할 수 있는 매우 신뢰도가 뛰어난 마노미터 및 진공 압력 게이지 제품군이 만들어집니다.

주요 용도

  • 반도체 제조
  • 박막 증착 공정 - 유리, 웹 및 광학 코팅
  • 부패가 발생하는 재료의 동결 건조
  • 의료기기용 하이테크 코팅(수술 기구, 치과용 드릴 등)

귀사의 프로젝트 요건에 가장 잘 맞는 정전용량 마노미터를 선택하십시오

제품

CMC 시리즈
CMC 시리즈
XacTorr® 시리즈
XacTorr® 시리즈
상품 유형 정전용량 마노미터 정전용량 마노미터
특장점 비가열 
 
가열 또는 비가열 
 
아날로그 또는 디지털 
 
압력 범위 10, 20, 50, 100 및 1000 Torr Full Scale 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr 
 
mBar 및 Pascal 레퍼런스 이용 가능 
정확도 Type A = 판독값의 0.25% 
Type B = 판독값의 0.50%
CMX0: 판독값의 0.25% 
 
CMX1, CMX2: 1 ~ 1000 Torr 범위 = 판독값의 0.15% 
 
CMX1, CMX2: < 1 Torr 범위 = 판독값의 0.25% 
온도 주위 온도 CMX0 주위 온도 

CMX1 45°C 
 
CMX2 100°C 

CMX3 160°C 
아날로그 통신 0-10 Vdc(<10k Ohm 부하) 
 
0-10 Vdc 5k Ohm 부
디지털 통신 - DeviceNet™ 

RS485
크기 컴팩트 대형