モデル SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863
SLA5800 エラストマーシール式質量流量コントローラーおよび流量計
マスフローコントロールを強化・合理化する
1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。
SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。
特長
- 長期的なゼロ点安定性：0.2%フルスケール/年以下
- 高い精度
- 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
- 定格高圧力 - 最大1500 psi/100バール（オプション：4500 psi/310 バール）
- 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
- アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート
- DeviceNet®, EtherCAT®, Profibus® and RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション
- 工場、または現場で保守しやすいモジュール設計
メリット
- センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減
- ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上
- さまざまなガスレンジ/流量レンジに1台のデバイスプラットフォームで対応
- 最大6種類までキャリブレーションのプログラム・保存が可能。1台のデバイスで種類の異なるガスやレンジに切り替え可能なので、在庫を削減
- フローコントローラの動作を中断することなく、ユーザーが簡単にアクセス可能で、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化するサービスポート
- 取り付け時の損傷を防ぐ耐久性の高いメタル製トップカバー
- 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化
- グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測・キャリブレーションにより、高い精度を実現
Mass Flow Controller (MFC): The Principle of Operation
Digital Thermal Mass Flow Meter for Bioprocessing and Other Life Sciences Applications
Thermal Mass Flow Meter with a High Turndown Ratio
Thermal Mass Flow Meter with EtherNet/IP or PROFINET Features a Web-based Interface
Brooks Expert Support Tool (BEST) Software: How-to Download, Install & Set-up on SLA5800 Series
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
P1: How to Load the EtherNet/IP EDS Files for Thermal Mass Flow Meters
P2: How to Add a Device to the Network
P3: Testing Device Communications
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | .003 - 2500 slpm |
| 精度範囲 | Up to ±0.6% of S.P. (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) |
| 却下率 | 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm: 50:1 |
| 再現性 | 0.20% S.P. |
| 最大圧力 | 4500 psi |
| 動作温度 | -14°C - 50°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 2500 slpm |
| 最大使用圧力 | 310 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| シールオプション | Elastomer |
| 精度（流量比） | ±0.6%, ±0.9% |
| 接続性 | RS485, DeviceNet, EtherCAT, Profibus, EtherNet/IP, PROFINET, Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), Analog (4–20 mA) |
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ファイル形式
言語別ドキュメント
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: SLA5850 - 7 - 1B - 1 - A - RevB
| Meter Series | Digital Communications I/O | Mechanical Connection (Body size 0 & 1 only) | Valve Type | Analog Communications I/O: | Revision Level |
| SLA5850 | EtherNet/IP | 1B - 1/4” tube compression | 1 - Normally closed | A - None | RevB |
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