SLA5800 マスフローコントローラおよびマスフローメータ
優れた長期安定性を実現する高性能ガス流量制御
SLA5800 シリーズのデジタルマスフローコントローラおよびマスフローメータは、幅広い産業分野およびライフサイエンス分野のアプリケーションにおいて、高精度で再現性の高いガス流量測定と制御を実現します。高い精度、優れた長期安定性、柔軟な構成オプションを兼ね備えた SLA5800 は、厳しい運転条件下でも信頼性の高いプロセス性能を提供します。
SLA5800 は、幅広い流量範囲、圧力定格、デジタル通信オプションに対応し、バイオプロセスや分析機器から化学プロセス、燃料電池試験まで、さまざまなアプリケーションに適した汎用性の高いプラットフォームです。モジュール設計、マルチガス対応機能、高度な診断機能により、システム統合の簡素化、メンテナンス負担の軽減、稼働時間の最大化に貢献します。
バイオプロセスの性能向上を目的として特別に設計された SLA バイオテクノロジーオプションパッケージで、バイオプロセスアプリケーションを最適化します。
特長とメリット
- 高精度と高い繰り返し性：設定値に対して最大 ±0.6% の流量精度と ±0.2% の繰り返し性により、重要なプロセスにおいて高精度で安定したガス供給を実現します。
- 優れた長期ゼロ点安定性：年間のゼロ点ドリフトをフルスケールの 0.2% 未満に抑えることで、プロセスの一貫性を維持しながら、再校正の必要性と総所有コストの削減に貢献します。
- 幅広い流量および圧力範囲：0.003～2500 slpm の流量範囲と最大 1500 psi（オプションで 4500 psi）の定格圧力に対応し、幅広い運転要件を満たします。
- プログラム可能なマルチガス・マルチレンジ機能：1 台の機器に最大 6 種類のガス校正データを保存でき、ガスの切り替えを簡素化するとともに、在庫の削減とアプリケーションの柔軟性向上を実現します。
- 柔軟な通信オプション：ネイティブ対応の EtherNet/IP™、PROFINET、EtherCAT®、DeviceNet™、PROFIBUS、RS485、およびアナログ通信オプションにより、新規および既存の制御システムへの統合が容易になります。
- 高度な診断機能とアラーム：内蔵診断機能、設定可能なアラーム、独立したサービスポートにより、トラブルシューティングを簡素化し、システムの稼働時間を最大限に確保します。
- 簡単な設定とメンテナンス：EtherNet/IP™ および PROFINET 構成に搭載された Web ベースのインターフェースにより、セットアップ、監視、トラブルシューティングが容易になります。Brooks Expert Support Tool (BEST) ソフトウェアは、ライセンスキーによるバルブ調整や校正など、追加のメンテナンス機能を提供します。
アプリケーション
- バイオプロセスおよびバイオリアクター
- 化学・石油化学プロセス
- 分析機器および研究室での研究
- 燃料電池の試験および開発
- ガス混合・配合システム
- 産業用ガス流量制御
技術ホワイトペーパー
MFC アップグレードに関する誤解：デジタル化によってバリデーションの負担は増えるのか？
老朽化したマスフローコントローラの交換を検討していますか？アナログ通信から EtherNet/IP または PROFINET への移行が予想以上に容易である理由と、リスクベースのバリデーションアプローチによって高度な診断機能を活用し、プロセスの可視性を向上させる方法をご紹介します。
ホワイトペーパーを読む →Mass Flow Controller (MFC): The Principle of Operation
Digital Thermal Mass Flow Meter for Bioprocessing and Other Life Sciences Applications
Thermal Mass Flow Meter with a High Turndown Ratio
Thermal Mass Flow Meter with EtherNet/IP or PROFINET Features a Web-based Interface
Brooks Expert Support Tool (BEST) Software: How-to Download, Install & Set-up on SLA5800 Series
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
P1: How to Load the EtherNet/IP EDS Files for Thermal Mass Flow Meters
P2: How to Add a Device to the Network
P3: Testing Device Communications
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | .003 - 2500 slpm |
| 精度範囲 | Up to ±0.6% of S.P. (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) |
| 却下率 | 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm: 50:1 |
| 再現性 | 0.20% S.P. |
| 最大圧力 | 1500 psi |
| 動作温度 | -14°C - 50°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 2500 slpm |
| 最大使用圧力 | 310 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| シールオプション | Elastomer |
| 精度（流量比） | ±0.6%, ±0.9% |
| 接続性 | RS485, DeviceNet, EtherCAT, Profibus, EtherNet/IP, PROFINET, Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), Analog (4–20 mA) |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: SLA5850 - 7 - 1B - 1 - A - RevB
| Meter Series | Digital Communications I/O | Mechanical Connection (Body size 0 & 1 only) | Valve Type | Analog Communications I/O: | Revision Level |
| SLA5850 | EtherNet/IP | 1B - 1/4” tube compression | 1 - Normally closed | A - None | RevB |