ゼロ安定性：
±0.20%FS/年
繰り返し精度：
0.20% SP
アナログ＆デジタルI/O：
±0.20%FS/年
極めて低いリーク率：
バルブ：150slpm未満は<0.005sccm、150slpm以上は<15.6sccm
校正済みマルチガスページ：
空気、CO2、N2、O2ガスページをその場で変更でき、予備MFCの在庫数と種類を減らすことができます。
認証：
ウェットパス構造材料2.1材料認証；NIST/ICC校正トレーサビリティ
精度：
±0.9% of SP (20-100% FS)、±0.18% of FS (<20% FS)
高度な診断:
装置がユーザー指定の限界値内で動作することを保証し、高いプロセスアップタイムを実現します。
高ターンダウン比：
250:1 FS流量5 sccm -150 slpm、その他のFS流量は150:1
詳細はこちら
強化されたセンサー設計：
クリーン度に関する業界標準に適合
クラス VI エラストマー:
FDA/USP クラス VI および ADI フリーの O リングとバルブシート
ゼロ安定性：
±0.20%FS/年
繰り返し精度：
0.20% SP
アナログ＆デジタルI/O：
±0.20%FS/年
極めて低いリーク率：
バルブ：150slpm未満は<0.005sccm、150slpm以上は<15.6sccm
較正済みマルチガスページ：
空気、CO2、N2、O2ガスページはその場で交換でき、予備MFCの在庫数と種類を減らすことができます。
精度：
±0.9% of SP (20-100% FS)、±0.18% of FS (<20% FS)
高度な診断:
装置がユーザー指定のリミット内で動作することを保証し、プロセスのアップタイムを長くします。
高ターンダウン比：
250:1 FS流量5 sccm -150 slpm、その他のFS流量は150:1
詳細はこちら
強化されたセンサー設計：
クリーン度に関する業界標準に適合
ゼロ安定性：
±0.20%FS/年
繰り返し精度：
0.20% SP
アナログおよびデジタルI/O：
±0.20%FS/年
精度：
±0.9% of SP (20-100% FS)、±0.18% of FS (<20% FS)
高度診断:
デバイスがユーザー指定のリミット内で動作することを保証し、高いプロセスアップタイムを実現します。
