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SLA5800シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

マスフローコントロールを強化し、合理化
モデル SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863

1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。

SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

SLA5800 シリーズ データシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下
  • 高い精度
  • 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
  • 定格高圧力 - 最大1500 psi/100バール(オプション:4500 psi/310 バール)
  • 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
  • アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート
  • DeviceNet®, EtherCAT®, Profibus® and RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション
  • 工場、または現場で保守しやすいモジュール設計

メリット

  • センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減
  • ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上
  • さまざまなガスレンジ/流量レンジに1台のデバイスプラットフォームで対応
  • 最大6種類までキャリブレーションのプログラム・保存が可能。1台のデバイスで種類の異なるガスやレンジに切り替え可能なので、在庫を削減
  • フローコントローラの動作を中断することなく、ユーザーが簡単にアクセス可能で、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化するサービスポート
  • 取り付け時の損傷を防ぐ耐久性の高いメタル製トップカバー
  • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化
  • グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測・キャリブレーションにより、高い精度を実現

用途

  • 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス
  • ラボおよび解析システム
  • 燃料電池テクノロジー
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
機種
Mass Flow Controller
特長

Wide Flow & Pressure Range

Superior Long-term Stability

High Accuracy

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
.003 - 2500 slpm
精度

0.9% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS)

1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS

Repeatability

0.20% SP

Linearity

Included in accuracy

Response Time - NC

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

Multi-Gas Multi-Range

Standard

最大圧力

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

Control Range

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Zero Stability

< 0.2% F.S. per year

Temperature Coefficient

Zero: <0.05% of F.S per oC

Span: <0.1% of S.P. per oC

Pressure Coefficient

0.03% per psi (0-200 psi N2)

Attitude Sensitivity

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Ratings
最大温度
65oC
Differential Pressure Range

Controllers

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

 

Leak Integrity
1x10-9 atm cc/sec He
Mechanical

Seal Material
Elastomer Seal
Wetted Materials

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Valves

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

Diagnostics

Diagnostic Capability
Available

Status Lights

MFC Health, Network Status

Alarms

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnostic - Service Port
RS485 via 2.5mm jack

Electrical

Analog Communication

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

デジタル通信
DeviceNet™
EtherCAT®
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS-485 
Electrical Connection

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Power Supply - Consumption

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Compliance
認定 / 承認

ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

サイズ
Medium
SLA5850 SLA5860 SLA5851 SLA5861 SLA5853 SLA5863
機種 Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
特長

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

流量範囲(フルスケール容量) 0.003 - 50 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 100 - 2500 slpm
最大圧力

1500 psi / 103 bar

Optional 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 103 bar

Optional: 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 103 bar 1500 psi / 103 bar 1000 psi / 70 bar 1000 psi / 70 bar
精度

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

Repeatability 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Response Time - NC <1 second <1 second <1 second <1 seconds <3 seconds

<3 seconds

Multi-Gas Multi-Range Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnostic Capability

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Analog Communication

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

デジタル通信

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

RS-485

FilenameFile TypeDocuments By Language
DataSheet - TMF-SLA5800-Series-RevB-jpn pdf Japanese English German
InstallationManual - X-TMF-SLA5800-Series-RevB-MFC-jpn pdf Japanese English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLA5810 - A - 1B - 1 - C - RevB

Meter Series
  Digital Communications I/O

Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)

  Valve Type
Analog Communications I/O
Revision Level
SLA5810
  A - None (select applicable analog I/O)
 1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF
   0 - None (Sensor only)
 A - None - Digital Communications only
 RevB
SLA5820
  D - DeviceNet I/O (with 5-pin micro connector)
 1B - 1/4” tube compression
   1 - Normally closed
 B - 0-5 V / 0-5 V 15-pin D-conn  
SLA5840
  P - Profibus (2x sub-D)
 1C - 1/8” tube compression
   2 - Normally closed
   (Pressure diff. >30 psig (2 bar))
 C - 4-20 mA / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
SLA5850
  S - RS485 (select applicable analog I/O)
 1D - 3/8” tube compression
   3 - Normally closed
   (Pressure diff. <30 psig (2 bar))
 L - 1-5 V / 1-5 V 15-pin D-conn
 
     1E - 1/4” VCR
   4 - Normally closed - high pressure
 M - 0-20 mA / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
     1F - 1/4” VCO
   5 - Normally open
 0 - 0-10 V / 0-10 V 15-pin D-conn
 
     1G - 1/4” NPT
   1 - 0-5 V / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
     1H - 6 mm tube compression
   2 - 0-5 V / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
   
 *See data sheet for more options

   *See data sheet for more options
 
    (Body size 3 only)
     
     2A - Without adapters, 9/16” - 18 UNF
     
     2B - 1-1/16”-12 SAE/MS
     
     2C - 3/8” tube compression
     
     2D - 1/2” tube compression
     
   
*See data sheet for more options

 

 
FilenameFile Type
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-A-1B-1-C-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1B-1-A-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1E-1-A-RevB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1E-1-A-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1E-1-A-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-P-1H-1-C-RevB-STEP STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-1-RevB-STEP STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-B-RevB-STEP STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1G-1-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1G-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1G-1-C-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1H-1-B-RevB-STEP STEP
SLA5850-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5850-D-1L-1-A-REVB STEP
SLA5850-D-1L-1-A-REVB DXF
SLA5850-S-G1-4-C-REVB STEP
SLA5850-S-G1-4-C-REVB IGS
SLA5850-S-G1-4-C-REVB DXF
SLA5850-S-1J-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-1J-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1J-1-C-REVB IGS
SLA5851-A-1B-1-C-RevB-STEP STEP
SLA5851-D-1E-1-A-REVB STEP
SLA5851-D-1E-1-A-REVB DXF
SLA5851-D-E1-1-A-REVB IGS
SLA5851-D-1L-1-A-REVB STEP
SLA5851-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5851-D-1L-1-A-REVB DXF
SLA5851-S-1A-1-B-RevB-STEP STEP
SLA5851-S-1H-1-B-RevB STEP
SLA5851-S-P1-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-P1-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-P1-1-C-REVB IGS
SLA5853-A-2D-2-C-RevB STEP
SLA5853-E-2T-2-A-REVB STEP
SLA5853-E-2T-2-A-REVB DXF
SLA5853-E-2T-2-A-REVB IGS
SLA5853-S-2C-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2C-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2C-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2D-3-C-RevB-STEP STEP
SLA5853-S-2M-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2M-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2M-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2R-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2R-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2R-2-C-REVB STEP
SLA5860-S-1B-0-C-REVB DXF
SLA5860-S-1B-0-C-REVB IGS
SLA5860-S-1B-0-C-REVB STEP
SLA5860-S-1E-0-C-RevB STEP
SLA5860-S-1E-0-C-RevB IGS
SLA5860-S-1E-0-C-RevB DXF
SLA5860-S-1G-0-B-REVB STEP
SLA5860-S-1G-0-B-REVB IGS
SLA5860-S-1G-0-B-REVB DXF
SLA5860-S-G1-0-C-REVB DXF
SLA5861-E-1L-0-A-REVB IGS
SLA5861-E-1L-0-A-REVB STEP
SLA5861-S-1A-0-C-REVB DXF
SLA5861-S-1A-0-C-REVB IGS
SLA5861-S-1A-0-C-REVB STEP
SLA5863-S-2R-0-C-REVB IGS
SLA5863-A-2M-0-C-RevB STEP
SLA5863-A-2M-0-C-RevB IGS
SLA5863-A-2M-0-C-RevB DXF
SLA5863-E-2M-0-A-REVB IGS
SLA5863-E-2M-0-A-REVB STEP
SLA5863-E-2T-0-A-REVB IGS
SLA5863-E-2T-0-A-REVB STEP
SLA5863-S-2E-0-B-REVB DXF
SLA5863-S-2E-0-B-REVB STEP
SLA5863-S-2E-0-B-REVB IGS
SLA5863-S-2R-0-C-REVB DXF
SLA5863-S-2R-0-C-REVB STEP
SLA5861-E-1L-0-A-REVB DXF

4デバイスまでのコントロールと権限

30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。
ブルックスエクスパートサポートツール(BEST)は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(ライセンスキー)を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。
Brooks LabVIEW™ DLL はBrooks®のデジタルマスフローコントローラー、プレッシャコントローラー、コントロールユニットとの通信セットアップに使用します。DLLはお客様ご自身でLabVIEW™アプリケーションを作成する際にご使用いただけます。

Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE(Dynamic Data Exchange)ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。