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4800 シリーズ サーマル式MFC

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答
モデル 4850 / 4860

4800 シリーズ サーマル式MFC(サーマル式マスフローコントローラ/メータ)の応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上します。4800シリーズコントローラ/メータの主なメリット:高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース(LOI)は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

4800 シリーズ データシート

特長

  • 流量応答時間(セトリングタイム) 0.75秒以下
  • 革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム
  • 通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ: 1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • オプションのローカルオペレーターインターフェース(LOI)でセットアップと操作を合理化:デバイスの監視やゼロ合わせ用にLabVIEW VIを無償でダウンロード
  • RS-232によるデジタル対応

メリット

  • 幅広い種類の非腐食性ガスに最適
  • 高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保
  • OEMに最適:狭小なマシンスペースにも容易に組み込め、設置スピードを加速するコンパクトサイズ
  • オプションのローカルオペレータインターフェース(LOI)は、ローカル表示、セットポイント制御、デバイス設定を行うターンキーソリューションです。リモートのセカンダリエレクトロニクスが必要ありません。
  • ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション

用途

  • 熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス
  • ソーラー/薄膜物理蒸着(PVD)システム
  • 試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス
機種
Mass Flow Controller
特長

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
50 sccm - 40 slpm
Gases
精度

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

Repeatability

0.15% FS

Response Time - NC

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Multi-Gas Multi-Range
Control Range

2-100%

                                        

 

Temperature Coefficient
Ratings
温度レンジ

5-50oC (41-122oF)

最大圧力

150 psig/10 barg

Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
Mechanical
Seal Material
Elastomer Seal
Wetted Materials

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Diagnostics and Display
Diagnostic Capability

Available

Electrical
Analog Communication

0-5 Vdc
4-20 mA

デジタル通信
RS232
Input and Output

0-5 Vdc, 4-20 mA, RS-232 (Standard with all analog I/O options)

Electrical Connection

Compact

Power Supply - Consumption

$$

Optional Equipment
Local Operator Interface
P/N: 273L156ZZZ
Display Area
28mm wide x 11mm high
最大温度
50°C
Humidity
5 - 95% RH (ambient)
Electrical Connection

Two 15-pin D-sub connectors

  • One for connection to the 4800 Series
  • One for the remote connection
Power Adaptor
P/N: 641Z059AAA
Power Requirements
The LOI optionally includes a wall mount power adaptor with a 3.5-mm DC-plug. The adaptor works with input voltages of AC 90-240 V/47-63Hz. The adaptor supports European, U.K., Australia and U.S. wall plugs. Power can also be supplied by a remote connection via the D-connector.
Compliance
電磁環境適合性
EMC Directive 2004/108/EC: per EN 61326:2006
認定 / 承認

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

サイズ

Compact

4850 4860
機種

Mass Flow Controller

 

Mass Flow Meter
流量範囲(フルスケール容量) 50 sccm - 40 slpm 50 sccm - 40 slpm
精度

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

Repeatability

0.15% F.S.

0.15% F.S.

Response Time - NC

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

最大圧力 150 psig/10 barg 150 psig/10 barg
Diagnostic Capability

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Analog Communication 0-5 Vdc
4-20 mA
0-5 Vdc
4-20 mA
デジタル通信 RS232 RS232
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Installation & Operation Manual - Local Operator Interface pdf English
Profibus® Supplemental Manual - 4800 pdf English
RS232 Supplemental Manual - 4800 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: 4850 - B1 - 2 - STEP

  Meter Series 
   Mechanical Connections 
   Accessories 
  4850    1A - 9/16” -18unf straight thread
   0 - None
     B1 - 1/4” tube compression w/filter
   1 - LOI w/Power Adapter
     C1 - 1/8” tube compression w/filter
   2 - LOI w/o Power Adapter
     D1 - 3/8” tube compression w/filter
 

 

FilenameFile Type
4850-B1-2-STEP STEP

4デバイスまでのコントロールと権限

ブルックスサービススイートは、4800、SLA58XXおよびSLAMfXX改訂版A(Smart II)マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ、Quantim®マスフローコントローラ/メータの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。主に、セットアップと設定、トラブルシューティング、調整、キャリブレーションなどのタスクを実行します。
流量を監視し、基本機能を実行します。