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4800 シリーズ サーマル式MFC

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答
モデル 4850 / 4860

4800 シリーズ サーマル式MFC(サーマル式マスフローコントローラ/メータ)の応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上します。4800シリーズコントローラ/メータの主なメリット:高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース(LOI)は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

4800 シリーズ データシート

特長

  • 流量応答時間(セトリングタイム) 0.75秒以下
  • 革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム
  • 通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ: 1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • オプションのローカルオペレーターインターフェース(LOI)でセットアップと操作を合理化:デバイスの監視やゼロ合わせ用にLabVIEW VIを無償でダウンロード
  • RS-232によるデジタル対応

メリット

  • 幅広い種類の非腐食性ガスに最適
  • 高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保
  • OEMに最適:狭小なマシンスペースにも容易に組み込め、設置スピードを加速するコンパクトサイズ
  • オプションのローカルオペレータインターフェース(LOI)は、ローカル表示、セットポイント制御、デバイス設定を行うターンキーソリューションです。リモートのセカンダリエレクトロニクスが必要ありません。
  • ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション

用途

  • 熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス
  • ソーラー/薄膜物理蒸着(PVD)システム
  • 試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス
{DD80F177-0644-4E6F-A6F7-8BEE8CCC8148}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{342B34FB-8F48-455C-9369-AC80592A5613}
差別化要因

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

{AE58DF55-0E8B-480D-8332-15420C054361}
パフォーマンス
{C496FBC9-FE7D-4482-86F7-2A8FCADFFCE9}
流量範囲(フルスケール容量)
50 sccm - 40 slpm
{74428B21-3F12-4974-BA4B-E2A60F8E8343}
精度

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

{9B06DC17-7D52-45A5-8B9E-B205ECF3CE14}
再現性

0.15% FS

{7139AB7A-C0FC-4046-97E7-B07D9BB07CA2}
レスポンスタイム

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

{8EAD680B-0B27-4967-ACC4-ABD4795DBF0B}
マルチガス  マルチレンジ
{9C158444-AA60-4088-8BBA-420D8B70AF5D}
Control Range

2-100%

                                        

 

{B0E07062-42F4-4A32-B95B-9E8300E34C8B}
Temperature Coefficient
{C2D9ACE3-07AF-4DCD-91DD-6ADDA573C621}
評価
{026A3548-CA3B-4EE4-8AE4-AFF07B531CC1}
温度レンジ

5-50oC (41-122oF)

{7B76E9C7-827A-4AC5-A867-B0A86391D729}
最高圧力

150 psig/10 barg

{0775DDBE-8D9C-407D-B045-1E7390E8F961}
差圧範囲

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

{9F7B84C0-6CCE-401E-B020-309EE5B3462F}
外部リークレート
1x10-10 atm cc/sec He
{F467533C-C8EA-471A-B189-4FBAFA210AA5}
メカニカル
{BC7545EE-BFD0-4D3F-988E-90C2B5DCD668}
シール材
エラストマシール
{B4F8528F-91B9-455E-A539-BE8E49C74F3A}
接液部材質

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

{CF205FFF-4E15-4866-AEA6-F9267ABD04DD}
診断と表示
{E8543896-D4FA-454F-8B5B-82A8715652F4}
診断能力

Available

{F9182909-0674-4E06-973E-AE74464C3FD8}
エレクトリカル
{FB651871-1123-4252-80CE-A7524FEDC91E}
アナログ通信

0-5 Vdc
4-20 mA

{D195B0C8-F078-4F56-845D-2C555107083E}
デジタル通信
RS232
{5FCA2484-848D-4854-AE09-458FE5FDCE35}
Input and Output

0-5 Vdc, 4-20 mA, RS-232 (Standard with all analog I/O options)

{12602118-7820-4B37-8991-AF33F6965792}
電気接続

Two 15-pin D-sub connectors

  • One for connection to the 4800 Series
  • One for the remote connection
{0DFB118D-8C54-4AB7-A90C-6533AEFCDB8B}
電源 / 消費電力

$$

{D4333BAF-4CB8-42C2-BE90-3CA3619EF5F5}
Optional Equipment
{36A8037C-83FF-4514-9691-78E2A9798EAC}
Local Operator Interface
P/N: 273L156ZZZ
{D5A49C8D-CAA9-4F77-8EE2-8A4BD7D9CB6D}
Display Area
28mm wide x 11mm high
{6D1C636F-A70B-4BCF-8F88-07969B26FD11}
最高気温
50°C
{DBD00202-21B3-4F02-886E-199125EC4F42}
Humidity
5 - 95% RH (ambient)
{123B2617-DE2F-472A-B307-283D82137210}
Power Adaptor
P/N: 641Z059AAA
{A36B2180-971A-49AE-B7BD-ACDA212744A1}
Power Requirements
The LOI optionally includes a wall mount power adaptor with a 3.5-mm DC-plug. The adaptor works with input voltages of AC 90-240 V/47-63Hz. The adaptor supports European, U.K., Australia and U.S. wall plugs. Power can also be supplied by a remote connection via the D-connector.
{31E06B21-AF1D-400B-B44B-BEF157935087}
コンプライアンス
{A6C4D113-2BBE-4FB9-95A7-9119A0661825}
電磁環境適合性
EMC Directive 2004/108/EC: per EN 61326:2006
{64B8D796-839F-4AFC-A6A2-48CFD7B79CC9}
認定 / 承認

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)

{8927F383-02A0-4C8F-8BDA-32D608CE783C}
環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{2EECB1C7-4F8E-4A31-B814-E4DE170F3296}
サイズ

Compact

4850 4860
製品タイプ

Mass Flow Controller

 

Mass Flow Meter
流量範囲(フルスケール容量) 50 sccm - 40 slpm 50 sccm - 40 slpm
精度

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

再現性

0.15% F.S.

0.15% F.S.

レスポンスタイム

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

最高圧力 150 psig/10 barg 150 psig/10 barg
診断能力

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

アナログ通信 0-5 Vdc
4-20 mA
0-5 Vdc
4-20 mA
デジタル通信 RS232 RS232
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Installation & Operation Manual - Local Operator Interface pdf English
Profibus® Supplemental Manual - 4800 pdf English
RS232 Supplemental Manual - 4800 pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: 4850 - B1 - 2 - STEP

  Meter Series 
   Mechanical Connections 
   Accessories 
  4850    1A - 9/16” -18unf straight thread
   0 - None
     B1 - 1/4” tube compression w/filter
   1 - LOI w/Power Adapter
     C1 - 1/8” tube compression w/filter
   2 - LOI w/o Power Adapter
     D1 - 3/8” tube compression w/filter
 

 

Filename File Type
4850-B1-2-STEP STEP
4850AB-B1-2 DXF
4850AB-B1-2 STEP
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

4800シリーズソフトウェア
流量を監視し、基本機能を実行します。