SLA5800シリーズ エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ
マスフローコントロールを強化・合理化する
モデル SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863
1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。
SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。
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