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GF100 金属密封式质量流量控制器和流量计

高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。

GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：提高工艺灵活性和效率辅以业内最高纯度的过程气体，有助于最大限度提高产率和生产效率。

下载数据表

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
稳定时间：Settling times: 300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 second 秒
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路：可选择采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面处理的流路
耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性
MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
本地显示屏
可选 SDS 气体输送
DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性
表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥
MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作 – 不再需要拆除并校准 MFC
高度可配置平台可使大部分品牌的金属密封 MFC 实现插入式更换和升级，适用范围包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌产品
GF120 安全输送系统 (SDS®) 是布鲁克斯仪器公司最先进的低压损质量流量控制器，适用于输送注入和势垒层腐蚀过程中使用的次大气压安全输送系统 (SDS) 气体
便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

How a Mass Flow Meter Addresses Flow Bursts with Zero Leak-by Valve Technology

介质类型	Gas
流量测量原理	Thermal (TMF)
流量范围	Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm, High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm
精度范围	Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%, High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
拒绝率	Standard GF Series: 2-100%, High Flow GF Series: 5-100%
重复性	5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5% = ±0.015% F.S.
最大压力	500 psi
工作温度	10°C - 50°C
測量/控制	Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter)
最大流量	300 slpm
最高温度	50 celsius
密封选项	Metal
精度（占流量百分比）	±1.0%
连接方式	RS485, DeviceNet

文件名

文件类型

按语言分类的文档

Data Sheet - GF100 Series

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English Chinese

Data Sheet - GF120xHT Series

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English

Installation & Operation Manual - GF100 Series

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English

DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series

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English

RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series

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English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series	Fitting	Connector
GF1xx	AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)	BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
	VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
	WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
		G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)