型号 5850EMH / 5851EMH
5850EMH 金属密封型高温质量流量控制器
页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现
来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了最先进的性能，具有多种选择，允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。
特点
- 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
- 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
- 高纯度 VAR 316L 不锈钢
- 无磨粒
- 氦泄漏检查端口
- 常闭阀（可选常开阀）
- 电致动阀复位
- 低命令流量断流
- TTL 兼容"关阀"功能
优势
- 稳定、可靠的产品平台
- 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
- 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
- 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修
| 介质类型 | Gas/Vapor |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 0.003 - 100 slpm |
| 精度范围 | 1% of FS |
| 重复性 | ±0.25% of rate |
| 最大压力 | 145 psi |
| 工作温度 | 50°C - 105°C |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 100 slpm |
| 最大工作压力 | 10 bar |
| 最高温度 | 105 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（满量程） | ±1% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V) |