MODELLE: 5850EMH / 5851EMH
5850EMH Hochtemperatur-Massendurchflussregler mit Metalldichtung
Bewährte Langzeitstabilität. Höchste Reinheit und Leistungsfähigkeit für Hochtemperaturanwendungen.
Der Massendurchflussregler der Serie 5850EMH von Brooks Instrument für Hochtemperaturanwendungen – ausgestattet mit einer metallischen Abdichtung – bietet modernste Leistungsmerkmale für die Gasmessung und -regelung. Er vereint die hervorragende Dichtheit metallischer Dichtungen mit vielfältigen Optionen, die ein Höchstmaß an Flexibilität bei der Anwendung ermöglichen. Das Herzstück der Serie 5850EMH ist ein hochstabiler Sensor, der ein elektrisches Ausgangssignal liefert, das proportional zum Durchfluss verläuft. Dieses Signal lässt sich für Anzeige-, Aufzeichnungs- und/oder Regelungszwecke nutzen, ohne dass eine Schaltung zur automatischen Nullpunktkorrektur erforderlich ist.
Merkmale
- Hohe Dichtheit (weniger als 10⁻¹¹ Pa·m³/s (10⁻¹⁰ atm·cc/s) He)
- Breiter Durchflussbereich (0,003 – 100 slpm)
- Hochreiner VAR-Edelstahl 316L
- Partikelfrei
- Anschlüsse für die Helium-Lecksuche
- Ventil in Ruhestellung geschlossen (Ventil in Ruhestellung offen optional)
- Elektrisch betätigte Ventilübersteuerung
- Abschaltung bei niedrigem Befehlsfluss
- TTL-kompatible „Valve-off“-Funktion
Anwendungen
- Herstellung von Glasfasern – MCVD, OVD, AVD
- Wasserdampfstromregelung
Vorteile
- Stabile, bewährte Produktplattform
- Hohe Durchflussleistung bis zu 100 l/min (N2-Äquivalent)
- Der reine Metall-Strömungspfad verbessert die Gasreinheit und reduziert Leckagen.
- Einfach zu installieren und zu warten, mit rein analogen Ein- und Ausgängen.
- Um mehr über Anwendungen zur Gaskorrektur zu erfahren, klicken Sie bitte hier.
| Medientyp | Gas/Vapor |
|---|---|
| Durchflussmessprinzip | Thermal (TMF) |
| Durchflussbereich | 0.003 - 100 slpm |
| Genauigkeitsbereich | 1% of FS |
| Wiederholgenauigkeit | ±0.25% of rate |
| Maximaler Druck | 145 psi |
| Betriebstemperatur | 50°C - 105°C |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller) |
| Maximaler Durchfluss | 100 slpm |
| Maximaler Durchfluss | 100000 sccm |
| Maximaler Betriebsdruck | 10 bar |
| Maximale Temperatur | 105 celsius |
| Dichtungsoption | Metal |
| Genauigkeit (Endwert) | ±1% FS |
| Konnektivität | Analog (0–5 V) |