SolidSense II®, 압력 트랜스듀서

정확하고 안정적인 초고순도 제어로 공정 정밀도를 극대화하십시오.

여러 산업 분야의 초고순도 및 전문 가스 응용 압력 측정을 위해 압력 트랜스미터와 트랜스듀서는 안정성과 정확성을 유지해야 합니다. 그렇기 때문에 Brooks Instrument SolidSense II® 고압 트랜스듀서는 풀 스케일의 0.25% 범위 내에서 뛰어난 0 안정성 및 정확성을 제공하는 설계에 따라 무용접 내식성 재료를 결합했습니다.

저희는 경쟁력 높은 고압 트랜스듀서로 유지보수 및 비가동 시간 문제를 야기하는 제로 및 스팬 드리프트, 열 이동 및 케이스 스트레스 문제를 피합니다. SolidSense II® 기기는 총소유비용을 낮추는 견고하고 유지보수가 쉬운 설계를 제공합니다.

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SolidSense II® 시리즈 데이터 시트

특징

재료: 압력 트랜스미터는 일체형 가공 센서와 함께 열처리 VIM-VAR 316L 스테인리스강 본체를 갖추고 있습니다.
종류가 다른 재료의 용접이나 조인트가 없습니다
압력 범위: 30 - 3000 psi 풀 스케일
통합 디스플레이 모델 또는 전체 기능 프로그램이 가능한 디스플레이 모델 선택
디지털 열 보상 기능은 멀티포인트 온도-보상 방식을 이용합니다.
독점 마이크로 가공 실리콘 변형 게이지가 매우 낮은 제로 드리프트 표시
완전히 스윕된 유체 경로로 잔여 가스를 완전히 제거합니다
출력: 4 - 20 mA, 0 - 10 Vdc, 0.05 - 5.05 Vdc

장점

매끄러운 표면 마감과 내식성 재료를 통해 무오염 측정을 확보합니다. 여러 반도체 및 산업 응용 분야에 이상적입니다.
H2 취성 저항을 통한 긴 수명
온도 변동 하에서 장기간 반복성이 우수한 센서 성능으로 믿을 수 있는 성능을 확보합니다
우수한 안정성으로 정확성을 유지합니다
초기 0 조정이 없어 보정 시간을 단축합니다
두 쌍의 정밀 스트레인 게이지 센서로 성능을 확보합니다
글래스 퓨전 접착을 이용한 센서 부착을 통해 응력을 완화하여 긴 수명을 유지합니다
디지털 온도 보상을 통해 전체 온도 범위에서 열 안정성을 개선합니다

적용

반도체 제조
초고순도 유체 보관 및 전달 시스템
박막 공정
화학 및 석유화학 연구
실험실 및 분석 프로젝트
식품 및 음료
제약

상품 유형

압력 트랜스듀서

특장점

초고순도

성능

압력 범위

-15 psi - 3000 psi

파열 압력

400% full scale

보증 압력

2,000 psi까지 200% full scale, 더 높은 범위에서 150% Full Scale

정확도

0.25% Full Scale(BFSL)

응답 시간

< 5 msec

유량 온도 계수

>100 PSI 범위: 풀 스케일:+0.02% full scale/OF(-4OF ~ 140OF, -20OC ~ 60OC) +0.50% full scale(68OF ~ 140OF, 20OC ~ 60OC) 0 ~ 10 Vdc 버전

<100 PSI 범위: 풀 스케일:+0.04% full scale/OF(-4OF ~ 140OF, -20OC ~ 60OC) +1.00% full scale(68OF ~ 140OF, 20OC ~ 60OC) 0 ~ 10 Vdc 버전

기계적

구성 재료

하우징: 스테인리스강, 폴리머 플라스틱

표면 마감

SEMI F19 준수

습윤 재료

VIM-VAR 316L 스테인리스강, SEMI F20

청정도

ASTM F1374-92(2005) 준수

내부 용적

1.79cc

공정 연결

튜브, NPT, 페이스 실 및 표면 실을 포함한 여러 구성

등급

온도 - 보상

-4OF ~ 140OF(-20OC ~ 60OC) / 68OF ~ 140OF(20OC ~ 60OC) 0-10 Vdc 버전

온도 범위

무 디스플레이 버전: -20OF ~ 180OF(-29OC ~ 82OC)

통합 디스플레이 버전:-20°F ~ 140°F(-29°C ~ 60°C)

온도 - 보관

무 디스플레이: -40OF ~ 180OF(-40C ~ 82OC)

통합 디스플레이: -40°F ~ 167°F(-40°C ~ 75°C)

전기

아날로그 통신

0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA

공급 전류

무 디스플레이 버전: 최대 10 mA

통합 디스플레이: 최대 30 mA

전력 요건

디스플레이 버전: 4 ~ 20 mA 출력에서 10 ~ 30 Vdc
통합 디스플레이 버전: 4 ~ 20 mA 출력 및 신호 출력 없음에서 15 ~ 30 Vdc
디스플레이 버전:0 ~ 5 Vdc 출력에서 11 ~ 30 Vdc
통합 디스플레이 버전:0 ~ 5 Vdc 출력에서 11 ~ 30 Vdc

디스플레이 버전: 0 ~ 10 Vdc 출력에서 13 ~ 32 Vdc
통합 디스플레이 버전:0 ~ 10 Vdc 출력에서 13 ~ 30 Vdc

규정 준수

인증/승인

EMC: EU Directive 2004/108/EC 준수

FM 승인: Class I, Div II Groups A, B, C 및 D 유해 응용 이용 시 발화력 없음

환경 규정 준수

RoHS Directive(2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

파일 이름	파일 형식	언어별 문서
Data Sheet	pdf	English
Data Sheet - ATEX	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
CE EU Declaration of Conformity Certificate	pdf	English

다음 가이드(데이터 시트의 모델 코드 정보)를 사용하여 아래에서 사용 가능한 CAD 구성을 번역하십시오. 도움이 필요하거나 원하는 것을 찾을 수 없으면 저희에게 연락하십시오.

CAD 파일 이름 예시: GF - D - B - CS

압력 변환기	체형	전기적 연결	피팅
GF	D	B - Bendix Connector	CS - Surface Mount. 1.125" C-Seal, Standard

파일 이름	파일 형식
GFD-B-CH-L	IGS
GFD-B-CH-L	STEP
GFD-B-CS	DXF
GFD-B-CS	IGS
GFD-B-CS	STEP
GFD-B-SF	STEP
GFD-B-SM	DXF
GFD-B-SM	IGS
GFD-B-SM	STEP
GFD-B-SM-L	STEP
GFD-D-CS	IGS
GFD-D-CS	STEP
GFD-K-CH-L	IGS
GFD-K-CH-L	STEP
GFD-K-SM	DXF
GFD-K-SM	IGS
GFD-K-SM	STEP
GFD-P-CS	DXF
GFD-P-CS	IGS
GFD-P-CS	STEP
GFD-P-SM	STEP
GFD-V-SF	DXF
GFD-V-SF	IGS
GFD-V-SF	STEP
GFD-Z-SF	STEP
GFF-B-VM	DXF
GFF-B-VM	IGS
GFF-B-VM	STEP
GFF-E-VM-L	STEP
GFF-L-4A	DXF
GFF-L-4A	IGS
GFF-L-4A	STEP
GID-H-CS	DXF
GID-H-CS	IGS
GID-H-CS	STEP
GID-M-CS	DXF
GID-M-CS	IGS
GID-M-CS	STEP
GID-P-SM	IGS
GID-P-SM	STEP
GID-R-SM-L	DXF
GID-R-SM-L	IGS
GID-R-SM-L	STEP
GID-W-SM-L	IGS
GID-W-SM-L	STEP
GID-Y-CS-L	IGS
GID-Y-CS-L	STEP
GID-Y-SM-L	IGS
GID-Y-SM-L	STEP
GIF-M-VM-L	DXF
GIF-M-VM-L	IGS
GIF-M-VM-L	STEP
GIF-P-SF	DXF
GIF-P-SF	IGS
GIF-P-SF	STEP

LR-056 시리즈

정확하고, 사용 지점 압력 모니터링을 위한 소형 디스플레이.