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SLA5800 Series Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

이제 EtherNet/IP™ 및 PROFINET도 사용이 가능합니다.
단일 공정으로 유입되는 14개의 서로 다른 압력과 유량을 하나의 질량 유량 제어기로 처리할 수 있는 놀라운 상황을 상상해 보십시오. 이와 동시에 높은 정밀성과 반복성도 제공합니다. 이것이 바로 SLA5800 시리즈 디지털 질량 유량 제어기 및 계측기를 통해 얻을 수 있는 개선된 간소화입니다.

SLA5800 시리즈는 질량 유량 측정 및 제어 기술 분야의 리더에게 기대되는 높은 정확도,  Zero 안정성과 반복성을 특징으로 합니다. 우수한 디자인으로 설계되고 향상된 계측 및 테스트 시스템으로 제조된 SLA5800 Digital MFC는 다른 제품보다 우수한 Zero Drift 사양을 제공합니다. SLA5800은 생산 가동 시간을 극대화하고 유지보수 및 시스템 가동 중단 비용을 절감하는 것으로 입증되었습니다.  

질문?

당사의 애플리케이션 엔지니어링 전문가와 상담하십시오:

전화 +82 31 708 2591

가격 정보:

조회를 요청하다
SLA5800 시리즈 데이터 시트

장점

  • ISO/IEC 17025 인증
  • NEW SLA 시리즈 Biotech MFC는 Bioprocessing performance를 향상시키기 위해 특별히 개발된 기능을 갖춘 2가지의 옵션 패키지를 제공합니다. 솔루션 검색기를 활용해 공정에 가장 적합한 패키지를 찾아보십시오. 자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.
  • 연간 <0.2%FS 수준의 장기간 Zero 안정성
  • Traceable calibration standards를 통한 탁월한 정확도
  • 광범위한 유량 범위 : 0.003~2500 lpm
  • 최대 압력 : 1500 psia/100 bar (Optional: 4500 psi/310 bar)
  • 프로그래밍 가능한 Multi-gas/Multi-range 기능
  • 독립적으로 구성되어 쉽게 접근할 수 있는 진단/서비스 포트
  • 네트워크 설정을 쉽게 구성할 수 있는 웹 기반 인터페이스를 제공하는 EtherNet/IP™ 및 PROFINET을 포함한 다양한 통신 옵션
  • 공장 또는 현장에서 쉽게 정비할 수 있는 모듈식 설계

장점

  • ISO/IEC 17025 인증, ±0.6% SP의 정확도로 교정 가능
  • 새로운 SLA 시리즈 Biotech MFC는 향상된 밸브 차단, 광범위한 Turndown을 제공하며 Valve seats 와O-rings을 포함한 가스 흐름 경로에 USP Class VI/ADI-free인증/승인 소재 적용
  • 장기적인 센서 안정성으로 유지 보수 및 주기적인 교정 요구사항 감소를 통한 비용 절감
  • Noise에 강한 탁월한 Signal을 제공하는 Brooks Instrument 독점 열 감기 지술
  • 낮은 Setpoint에서도 높은 정확도를 보장하는 우수한 성능
  • 여러 가스 및 유량 범위에 대해 하나의 장치 플랫폼 선택
  • 최대 6개의 가스 Calibration을 저장하고 사전 프로그래밍할 수 있어 단일 장치에서 다양한 가스와 범위 를 쉽게 전환할 수 있고 재고를 줄일 수 있음
  • 사용자가 액세스할 수 있는 서비스 포트로 유량 제어기 작동을 방해하지 않고 간단하게 설치, 문제 해결 및 진단 작업 가능
  • 강력한 내구성과 견고성을 갖춘 커버로 설치 시 손상을 방지
  • 질량 유량 제어기로만 제공할 수 있는 것 이상의 다양한 추가 진단 기능으로 사용자에게 풍부한 실시간 시스템 정보를 제공하는 EtherNet/IP™ 및 PROPINET
  • 업계 표준 및 규정 요구사항을 충족하기 위한 추적 가능한 교정

응용 분야

  • 생명공학
  • 화학 및 석유화학 촉매제 연구 및 파일럿 공정
  • 실험실 및 분석 시스템
  • 연료전지 기술
{BCA9C0AC-E96E-4B94-AE15-7B4228262145}
상품 유형

질량 유량 제어기

{B246FED7-D61D-4FCD-919D-6C995CA5B0E7}
특장점
폭 넓은 유량 및 압력 범위 
 
탁월한 장기간 안정성 
 
높은 정확도 
{CBF2CEFF-A229-420A-9035-CD04B4545A5B}
성능
{5A23D76C-7B5E-4E89-9376-77F6304B45B9}
유량 범위(최대 용량)
0.003~2500 slpm 
{428A2EC5-4C25-4E09-81A6-545F4AB42529}
정확도
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) 
 
±0.6% SP(20~100% FS) 
 
±0.12% FS(<20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 
 
 
표준 장치(참조 표준으로부터의 불확도 포함) 
 
±0.9% SP(20~100% FS) 
 
±0.18% FS(2~20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS 
{230972BF-33D9-4EAC-955E-AA851F303FF0}
반복성 및 재현성
0.20% SP
{234FC6FF-6AB6-4E86-AA76-01D885F78CB1}
선형성
정확도에포함됨
{CC9E4BCC-488C-4071-9E07-B628DD74492B}
응답 시간
0.003-100 slpm: < 1초 
 
100-2500 slpm: < 3초 
{ED6A2251-28D8-426E-BE29-E5A427527DA6}
다중 가스 및 범위 구성
표준
{D3EECBE4-E4C4-480B-B7BC-3471E980693E}
최대 압력
0.003~200 slpm: 1500 psi/103 bar 
 
100~2500 slpm: 1000 psi/70 bar 
 
최대 50 slpm 장치에서 옵션 4500 psi/310 bar 
{019F5616-217F-45C7-98FA-E1A1448DB24F}
제어 범위
1~50 slpm: 100:1 Turndown for FS 
 
50~2500 lpm: 50:1 Turndown for FS 
{5DF8BF5E-B867-47E2-94A6-6E0B802CCE38}
제로 안정성
연간 < 0.2% FS
{6BB26554-6972-43A0-8A21-78539BD33AA3}
유량 온도 계수
Zero: <0.05% FS / °C 
 
Span: <0.1% SP / °C 
{2E3B7CDB-D70E-4AF0-8A17-34BE54B6ACF8}
압력 계수

0.03% per psi (0-200 psi N2)

{9F025ABC-15B3-4DBB-85B6-FA5635B987B5}
위치 저감도
Re-Zeroing 후 명시된 정확도로부터 <0.2% FS 최대 편차
{DA1D3822-AE0E-44BC-8119-70E5A10AB8B7}
등급
{61B5A28A-434C-4A06-8E5E-658CE44AFEFF}
최고 온도
65°C
{96E514EF-F0C4-4D65-AD22-3E75349C18D7}
차압 범위
제어기 
0.003~50 lpm: 5 psi/0.35 bar 
50~100 lpm: 10 psi/0.69 bar 
500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar 
1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar 
2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar 
{6C910163-3A2B-4347-B4B6-797AE098760A}
누출 무결성
1x10° atm cc/sec He 
{E5D9B237-7A80-4A23-B2AD-757FCF6E0172}
기계적
{9A184087-63A6-44C5-B07E-DDAB166E24F5}
씰 재료
탄성중합체 실링
{0EA6B211-0F14-4403-BC05-6C0AC667C3EB}
습윤 재료
316L 스테인리스강 
고합금 스테인리스강 
Viton® Fluoroelastomers 
Buna-N 
Kalrez® 
Teflon®/Kalrez® 
EPDM 
{AC829BE9-FFD8-4858-AE7C-D1D90864D3EA}
밸브
Normally Closed 
Normally Open 
계측기(밸브 없음)  
{413CB4D8-5055-468B-8E26-89970F8257E1}
진단
 
{0B728A39-317A-400A-8386-1EA9B8CBB704}
진단 능력
사용 가능 
{E0456E94-5D71-4AFD-B438-3EB3CF5ACE74}
상태 표시등
MFC 상태, 네트워크 상태
{3EBB4410-630B-4429-80F1-36DE58FDE1D1}
알람
센서 출력 
제어 밸브 출력 
온도 과부하 
전원 Power Surge/Sag 
네트워크 간섭 
{2D5F0044-413E-49D3-8114-0AADBDBD69A8}
독립 진단 서비스 포트
RS485(2.5mm Jack)
{1E73D34A-5790-43A8-A62A-A4B150C28FFD}
전기
{7E36C0F3-2B6D-4140-88CB-93D8102240B1}
아날로그 통신
0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
{ED592BD2-3896-4E5A-9F82-971C781283FE}
디지털 통신
DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 
{891ECC5C-09D5-4C00-BFAD-6C5F5863A253}
전기 연결
DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B) 
 
EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45 
 
Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D 
 
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A) 
{2ACAC3B8-6D09-4358-AB61-0C5492CAE460}
전원 공급/소비

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts

{79F2EC4C-FB0C-4DF7-A2B4-CA70E0EC31A7}
규정 준수
{AD8FC90E-B0D9-487F-8EC6-4D24857161A8}
인증/승인
ISO/IEC 17025:2005 
 
CE: EMC 지침 2014/30/EU 
 
지침 2011/65/EU 
 
UL(공인): 
 
I등급, 2부, A, B, C, D 그룹 
 
I등급, 2 구역, IIC T4 
 
II등급, 22 구역 
 
ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 
 
IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 
 
KOSHA: Ex nA IIC T4 
{F058B188-C1EE-4978-A425-FDD3B2E17B2E}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU) 
 
REACH  EC 1907/2006 
{81B573EB-B510-4FC1-8696-780E74843FAD}
크기
중간
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf Chinese English French German Spanish
SLA Biotech MFC At-a-Glance pdf Chinese English German
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4) pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
PROFINET Supplemental Manual SLA5800, SLAMf pdf English German
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English

CAD 파일 이름 예시: SLA5810 - A - 1B - 1 - C - RevB

미터 시리즈
  디지털 통신 I/O

기계적 연결
(몸 사이즈 0 & 1 오직)

  밸브 유형
아날로그 통신 I/O
개정
SLA5810
  A - None (select applicable analog I/O)
 1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF
   0 - None (Sensor only)
 A - None - Digital Communications only
 RevB
       

파일 이름 파일 형식
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB DXF
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB IGS
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB STEP
SLA5850-A-1B-1-C-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1B-1-A-RevB STEP
SLA5850-D-1E-1-A-REVB DXF
SLA5850-D-1E-1-A-REVB IGS
SLA5850-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1L-1-A-REVB STEP
SLA5850-D-1L-1-A-REVB DXF
SLA5850-P-1B-1-A-REVB DXF
SLA5850-P-1B-1-A-REVB IGS
SLA5850-P-1B-1-A-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-P-1H-1-C-RevB STEP
SLA5850-S-1B-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-1B-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1C-1-C-REVB IGS
SLA5850-S-1C-1-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1C-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1C-4-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-1-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-B-RevB STEP
SLA5850-S-1E-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-1E-1-C-REVB IGS
SLA5850-S-1E-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1G-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-1G-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1G-1-C-RevB STEP
SLA5850-S-1G-4-0_REVB DXF
SLA5850-S-1G-4-0_REVB IGS
SLA5850-S-1G-4-0_REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1H-1-B-RevB STEP
SLA5850-S-1H-4-C-REVB DXF
SLA5850-S-1H-4-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1H-4-C-REVB STEP
SLA5850-S-1J-1-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1J-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1J-1-C-REVB IGS
SLA5850-S-1P-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-5A-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-5A-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-5A-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-5B-1-B-REVB DXF
SLA5850-S-5B-1-B-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-5B-1-B-REVB1 IGS
SLA5850-S-E1-1-B-REVB DXF
SLA5850-S-E1-1-B-REVB IGS
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SLA5850-S-E1-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-E1-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-E1-1-C-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-G1-4-C-REVB STEP
SLA5850-S-G1-4-C-REVB IGS
SLA5850-S-G1-4-C-REVB DXF
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SLA5850-1-1M-1-A-REVB STEP
SLA5850-7-1B-1-A-REVB DXF
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SLA5850-7-1B-1-A-REVB STEP
SLA5850-7-1D-1-A-REVB DXF
SLA5850-7-1D-1-A-REVB IGS
SLA5850-7-1D-1-A-REVB STEP
SLA5850-7-1E-1-A-REVB DXF
SLA5850-7-1E-1-A-REVB IGS
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SLA5850-8-1A-1-A-REVB DXF
SLA5850-8-1A-1-A-REVB IGS
SLA5850-8-1A-1-A-REVB STEP
SLA5850-8-E1-1-A-REVB DXF
SLA5850-8-E1-1-A-REVB STEP
SLA5850-8-E1-5-A-REVB DXF
SLA5850-8-E1-5-A-REVB IGS
SLA5850-8-E1-5-A-REVB STEP
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SLA5850-8-1G-1-A-REVB STEP
SLA5850-8-1H-1-A-REVB DXF
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SLA5850-8-1H-1-A-REVB STEP
SLA5850-8-1J-1-A-REVB STEP
SLA5850-8-1J-1-A-REVB DXF
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SLA5850-8-L1-5-A-REVB DXF
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SLA5851-7-1F-1-A-REVB STEP
SLA5851-7-1G-1-A-REVB DXF
SLA5851-7-1G-1-A-REVB IGS
SLA5851-7-1G-1-A-REVB STEP
SLA5851-7-1D-1-A-REVB DXF
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SLA5851-8-1B-1-A-REVB dxf
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SLA5851-8-1B-1-A-REVB STEP
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SLA5851-8-L1-1-A-REVB STEP
SLA5851-8-L1-5-A-REVB DXF
SLA5851-8-L1-5-A-REVB IGS
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SLA5851-D-1E-1-A-REVB DXF
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SLA5851-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5851-D-1L-1-A-REVB DXF
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SLA5851-D-E1-5-A-REVB DXF
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SLA5851-D-E1-5-A-REVB STEP
SLA5851-E-1E-1-A-REVB DXF
SLA5851-E-1E-1-A-REVB IGS
SLA5851-E-1E-1-A-REVB STEP
SLA5851-E-1L-1-A-REVB DXF
SLA5851-E-1L-1-A-REVB IGS
SLA5851-E-1L-1-A-REVB STEP
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SLA5851-P-1B-1-A-REVB IGS
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SLA5851-S-1D-1-C-REVB IGS
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SLA5851-S-1E-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1E-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1E-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-1H-1-B-RevB STEP
SLA5851-S-1J-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1J-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1J-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-1L-1-B-REVB DXF
SLA5851-S-1L-1-B-REVB IGS
SLA5851-S-1L-1-B-REVB STEP
SLA5851-S-1L-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1L-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1L-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-1P-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1P-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1P-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-5A-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-5A-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-5A-1-C-REVB STEP
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SLA5863-S-2M-0-C-REVB STEP
SLA5863-S-2R-0-C-REVB IGS
SLA5863-S-2R-0-C-REVB DXF
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SLA5863-S-2U-0-C-REVB DXF
SLA5863-S-2U-0-C-REVB IGS
SLA5863-S-2U-0-C-REVB STEP
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SLA5863-S-3B-0-C-REVB IGS
SLA5863-S-3B-0-C-REVB STEP
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
0260 시리즈
최대 30개의 장치를 제어 및 모니터링하고 최대 10개의 장치에 전원을 공급합니다.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.
Brooks LabVIEW™ DLL

사용자가 Brooks® 디지털 질량 유량 컨트롤러, 압력 컨트롤러 및 보조 전자 장치와의 통신을 설정할 수 있습니다. DLL은 LabVIEW™에서 자신의 어플리케이션을 생성할 때 사용됩니다.

Smart DDE Software
Dynamic Data Exchange 소프트웨어를 사용하면 Windows® 기반 응용 프로그램과 Brooks Instrument RS485 S-Protocol 장치 간에 양방향 링크를 만들 수 있습니다.