Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

질량 유량의 광범위한 요구에 대해 입증된 유연성.

Brooks Instrument의 탄성중합체 실링 열 질량 유량 계측기 및 제어기는 공정에 필요한 정확성, 신뢰성, 반복성 및 정밀한 성능과 함께 장기적인 안정성을 제공하는 효율적인 기기입니다. 그 결과 운영에 필요한 가치와 투자 수익을 극대화할 수 있습니다.

주요 응용 분야

화학 및 석유화학 분석 및 파일럿 공정
실험실 및 분석 시스템
생명공학 생물반응기
박막 기상 증착
열처리, 절삭, 기타 열 공정
진공 응용 분야

공정에 가장 적합한 질량 유량 장치를 선택하십시오.

제품

	SLA5800 시리즈	GF40 시리즈	5850E 시리즈	SLAMf 시리즈
상품 유형	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기
특장점	폭 넓은 유량 및 압력 범위 탁월한 장기간 안정성 높은 정확도	높은 정확도 MultiFlo™ 기능 컴팩트한 크기 모든 가스에 적합	입증된 신뢰할 수 있는 성능 장기간 안정성 현장에서 쉽게 범위 변경 및 재보정 가능	IP66 승인 Enclosure 호스 다운/워시 다운 응용 분야에 적합 위험 구역 승인
유량 범위(최대 용량)	0.003~2500 slpm	3 sccm~50 slpm	1~1000 slpm	0.003~2500 slpm
씰 재료	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링
최대 압력	0.003~200 slpm: 1500 psi/103 bar 100~2500 slpm: 1000 psi/70 bar 최대 50 slpm 장치에서 옵션 4500 psi/310 bar	150 psia/10 bar	제어기 : 1500 psig 계측기 : 최대 4500 psig (일부 모델)	100 lpm 이하: 1500 psi/100 bar 50 lpm 이하: 4500psi/310 bar(옵션) 100~2500 lpm: 1000 psi/70 bar
정확도	17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) ±0.6% SP(20~100% FS) ±0.12% FS(<20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 표준 장치(참조 표준으로부터의 불확도 포함) ±0.9% SP(20~100% FS) ±0.18% FS(2~20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS	1% SP 35~100%, 0.35% FS 2~35%	1% FS 1.5% FS > 20 slpm	17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) ±0.6% SP(20~100% FS) ±0.12% FS(<20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 표준 장치(표준품으로부터의 불확도 포함) ±0.9% SP(20~100% FS) ±0.18% FS(2~20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS
반복성 및 재현성	0.20% SP	0.20% SP	0.25% of Rate	0.20% SP
다중 가스 및 범위 구성	표준	MultiFlo™ 사용 가능	—	표준
진단 능력	사용 가능	사용 가능	—	사용 가능
아날로그 통신	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0~5 V, 0~10 V 0~20 mA, 4~20 mA	0~5 Vdc 0~20 mA 4~20 mA	0~5 V, 1~5 V, 0~10 V, 0~20 mA, 4~20 mA
디지털 통신	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® Profibus® RS485	—	DeviceNet™ EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485
크기	중간	컴팩트	—	대형
인증/승인	ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC 지침 2014/30/EU 지침 2011/65/EU UL(공인): I등급, 2부, A, B, C, D 그룹 I등급, 2 구역, IIC T4 II등급, 22 구역 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc KOSHA: Ex nA IIC T4	CE: EN61326: 2006(FCC Part 15, 캐나다 CE 시험 IC 서브셋) 안전성 EN61010-1	—	SO/IEC 17025:2005 CE: EMC, RoHs, PED UL 등재/공인: 1등급, 2부, A, B, C, D 그룹 1등급, 2구역, IIC T4, II등급, 22구역 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc IECEx: Ex nA IIC T4 Gc Ex tc IIIC T 85°C Dc KOSHA: Ex nA IIC T4 Ex tc IIIC T85°C Dc