Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

질량 유량의 광범위한 요구에 대해 입증된 유연성.

Brooks Instrument의 탄성중합체 실링 열 질량 유량 계측기 및 제어기는 공정에 필요한 정확성, 신뢰성, 반복성 및 정밀한 성능과 함께 장기적인 안정성을 제공하는 효율적인 기기입니다. 그 결과 운영에 필요한 가치와 투자 수익을 극대화할 수 있습니다.

주요 응용 분야

화학 및 석유화학 분석 및 파일럿 공정
실험실 및 분석 시스템
생명공학 생물반응기
박막 기상 증착
열처리, 절삭, 기타 열 공정
진공 응용 분야

공정에 가장 적합한 질량 유량 장치를 선택하십시오.

제품

	SLA5800 시리즈	GF40 시리즈	5850E & i 시리즈	SLAMf 시리즈
상품 유형	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기	질량 유량 제어기
특장점	폭 넓은 유량 및 압력 범위 탁월한 장기간 안정성 높은 정확도	높은 정확도 MultiFlo™ 기능 컴팩트한 크기 모든 가스에 적합	입증된 신뢰할 수 있는 성능 장기간 안정성 현장에서 쉽게 범위 변경 및 재보정 가능	NEMA 4X/IP66 승인 Enclosure 호스 다운/워시 다운 응용 분야에 적합 위험 구역 승인
유량 범위(최대 용량)	0.003~2500 slpm	3 sccm~50 slpm	1~1000 slpm	0.003~2500 slpm
씰 재료	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링	탄성중합체 실링
최대 압력	0.003~200 slpm: 1500 psi/103 bar 100~2500 slpm: 1000 psi/70 bar 최대 50 slpm 장치에서 옵션 4500 psi/310 bar	150 psia/10 bar	제어기 : 1500 psig 계측기 : 최대 4500 psig (일부 모델)	100 lpm 이하: 1500 psi/100 bar 50 lpm 이하: 4500psi/310 bar(옵션) 100~2500 lpm: 1000 psi/70 bar
정확도	17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) ±0.6% SP(20~100% FS) ±0.12% FS(<20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 표준 장치(참조 표준으로부터의 불확도 포함) ±0.9% SP(20~100% FS) ±0.18% FS(2~20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS	1% SP 35~100%, 0.35% FS 2~35%	1% FS 1.5% FS > 20 slpm	17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) ±0.6% SP(20~100% FS) ±0.12% FS(<20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 표준 장치(표준품으로부터의 불확도 포함) ±0.9% SP(20~100% FS) ±0.18% FS(2~20% FS) 1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS
반복성 및 재현성	0.20% SP	0.20% SP	0.25% of Rate	0.20% SP
다중 가스 및 범위 구성	표준	MultiFlo™ 사용 가능	—	표준
진단 능력	사용 가능	사용 가능	—	사용 가능
아날로그 통신	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0~5 V, 0~10 V 0~20 mA, 4~20 mA	0~5 Vdc 0~20 mA 4~20 mA	0~5 V, 1~5 V, 0~10 V, 0~20 mA, 4~20 mA
디지털 통신	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® Profibus® RS485	—	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485
크기	중간	컴팩트	—	대형
인증/승인	ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC 지침 2014/30/EU 지침 2011/65/EU UL(공인): I등급, 2부, A, B, C, D 그룹 I등급, 2 구역, IIC T4 II등급, 22 구역 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc KOSHA: Ex nA IIC T4	CE: EN61326: 2006(FCC Part 15, 캐나다 CE 시험 IC 서브셋) 안전성 EN61010-1	—	SO/IEC 17025:2005 CE: EMC, RoHs, PED UL 등재/공인: 1등급, 2부, A, B, C, D 그룹 1등급, 2구역, IIC T4, II등급, 22구역 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc IECEx: Ex nA IIC T4 Gc Ex tc IIIC T 85°C Dc KOSHA: Ex nA IIC T4 Ex tc IIIC T85°C Dc