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Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

질량 유량의 광범위한 요구에 대해 입증된 유연성.
Brooks Instrument의 탄성중합체 실링 열 질량 유량 계측기 및 제어기는 공정에 필요한 정확성, 신뢰성, 반복성 및 정밀한 성능과 함께 장기적인 안정성을 제공하는 효율적인 기기입니다. 그 결과 운영에 필요한 가치와 투자 수익을 극대화할 수 있습니다. 
 

주요 응용 분야

  • 화학 및 석유화학 분석 및 파일럿 공정 
  • 실험실 및 분석 시스템 
  • 생명공학 생물반응기 
  • 박막 기상 증착 
  • 열처리, 절삭, 기타 열 공정 
  • 진공 응용 분야 
공정에 가장 적합한 질량 유량 장치를 선택하십시오.

제품

SLA5800 시리즈
SLA5800 시리즈
GF40 시리즈
GF40 시리즈
5850E & i 시리즈
5850E & i 시리즈
SLAMf 시리즈
SLAMf 시리즈
상품 유형

질량 유량 제어기

질량 유량 제어기 질량 유량 제어기 질량 유량 제어기 
특장점
폭 넓은 유량 및 압력 범위 
 
탁월한 장기간 안정성 
 
높은 정확도 

높은 정확도

MultiFlo™ 기능

컴팩트한 크기

모든 가스에 적합

입증된 신뢰할 수 있는 성능 
 
장기간 안정성 
 
현장에서 쉽게 범위 변경 및 재보정 가능 
NEMA 4X/IP66 승인 Enclosure 
 
호스 다운/워시 다운 응용 분야에 적합  
 
위험 구역 승인 
유량 범위(최대 용량) 0.003~2500 slpm  3 sccm~50 slpm 1~1000 slpm 0.003~2500 slpm
씰 재료 탄성중합체 실링 탄성중합체 실링 탄성중합체 실링 탄성중합체 실링 
최대 압력
0.003~200 slpm: 1500 psi/103 bar 
 
100~2500 slpm: 1000 psi/70 bar 
 
최대 50 slpm 장치에서 옵션 4500 psi/310 bar 
150 psia/10 bar
제어기 : 1500 psig 
 
계측기 : 최대 4500 psig (일부 모델)
100 lpm 이하: 1500 psi/100 bar  
 
50 lpm 이하: 4500psi/310 bar(옵션) 
 
100~2500 lpm:  1000 psi/70 bar 
정확도
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) 
 
±0.6% SP(20~100% FS) 
 
±0.12% FS(<20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 
 
 
표준 장치(참조 표준으로부터의 불확도 포함) 
 
±0.9% SP(20~100% FS) 
 
±0.18% FS(2~20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS 
1% SP 35~100%, 0.35% FS 2~35% 
1% FS 
 
1.5% FS > 20 slpm
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) 
 
±0.6% SP(20~100% FS) 
 
±0.12% FS(<20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 
 
표준 장치(표준품으로부터의 불확도 포함) 
 
±0.9% SP(20~100% FS) 
 
±0.18% FS(2~20% FS) 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS 
반복성 및 재현성 0.20% SP 0.20% SP

0.25% of Rate

0.20% SP
다중 가스 및 범위 구성 표준 MultiFlo™ 사용 가능

표준 
진단 능력 사용 가능  사용 가능 

사용 가능 
아날로그 통신 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
0~5 V, 0~10 V 
 
0~20 mA, 4~20 mA 

0~5 Vdc

0~20 mA

4~20 mA

0~5 V, 1~5 V, 0~10 V, 0~20 mA, 4~20 mA
디지털 통신 DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 

DeviceNet™ 

EtherCAT® 

Profibus® 

RS485

DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 
크기 중간 컴팩트 중간 대형 
인증/승인
ISO/IEC 17025:2005 
 
CE: EMC 지침 2014/30/EU 
 
지침 2011/65/EU 
 
UL(공인): 
 
I등급, 2부, A, B, C, D 그룹 
 
I등급, 2 구역, IIC T4 
 
II등급, 22 구역 
 
ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 
 
IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 
 
KOSHA: Ex nA IIC T4 
CE: EN61326: 2006(FCC Part 15, 캐나다 CE 시험 IC 서브셋) 
 
안전성 EN61010-1 

SO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL 등재/공인:

 

1등급, 2부, A, B, C, D 그룹

 

1등급, 2구역, IIC T4, II등급, 22구역

 

ATEX:

 

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

 

IECEx:

 

Ex nA IIC T4 Gc 

 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

 

KOSHA:

 

Ex nA IIC T4

 

Ex tc IIIC T85°C Dc