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GF100 Series Metal Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

고순도 유량 경로. 뛰어난 성능, 안정성 및 반복성.

빠른 응답과 반복 가능한 고순도 및 초고순도 공정 가스 전달 - 이것이 GF 100 시리즈 금속 씰 질량 유량 제어기 및 유량계가 제공하는 성능입니다. 반도체, MOCVD, 기타 다른 가스 유량 제어용으로 설계된 GF100 시리즈는 반도체 업계의 안정성 기준을 초월하며 오랜 기간 반복성과 매우 안정적인 성능을 유지합니다. 표준 MultiFloTM 기술을 통해 가스 라인에서 MFC를 탈착하거나 정확도를 떨어뜨리지 않고 한 개의 MFC로 수천 가지 가스 유형과 범위의 조합을 지원할 수 있습니다. 

그 결과로 개선된 공정 유연성과 효율성을 업계 최고의 공정 가스 순도와 결합하여 제조량과 생산성을 극대화하는데 도움을 줍니다. 

질문?

당사의 애플리케이션 엔지니어링 전문가와 상담하십시오:

전화 +82 31 708 2591

가격 정보:

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GF100 시리즈 데이터 시트

특징

  • 연간 ±0.5%F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
  • 안정 시간: 700 ms - <1 초
  • 최대 300 slpm의 풀 스케일 유량
  • 전금속 씰 흐름 경로: 4µ 또는 10µ inch Ra 표면 마감 옵션
  • 내식성 Hastelloy® T-Rise 센서로 높은 온도에서 측정 재현성을 개선합니다
  • MultiFloTM 가스 및 범위 프로그래밍 - 가스 라인에서 MFC를 탈착하거나 정확도를 떨어뜨리지 않고 수천 가지 가스 유형과 범위 조합을 하나의 기기로 처리합니다
  • 로컬 디스플레이
  • SDS 가스 전달 옵션
  • DeviceNetTM, RS-485 L-프로토콜 및 아날로그 인터페이스

장점

  • 신뢰성을 위해 반도체 업계 기준보다 7배 엄격하게 진행 된 고성능 부품의 마라톤 테스트
  • 표면적과 오염이 제거되지 않는 부피를 줄여 퍼지 단계에서 건조 속도를 높이는 전금속, 내식성 흐름 경로
  • MultiFloTM을 이용하면 MFC를 탈착하고 보정할 필요 없이 60초 이내에 새 공정 가스 및/또는 범위를 설정 가능
  • 구성 능력이 뛰어난 플랫폼은 전 Celerity, Mykrolis, Tylan 및 UNIT 브랜드를 포함한 대부분의 금속 씰 MFC를 바로 대체 및 업그레이드 가능
  • >GF120 안전 전달 시스템(SDS®)은 Implant와 Etch 공정에 사용되는 부기압 안전 전달 시스템(SDS)을 위한 Brooks의 최신 저압 강하 질량 유량 제어기입니다.
  • 편리한 사용자 디스플레이 및 독립 진단/서비스 포트가 장치의 설치, 모니터링, 문제 해결을 지원

응용

  • 반도체 Etch 장비
  • 박막 화학 기상 증착 시스템(CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 물리적 기상 증착(PVD) 시스템
  • Epitaxial 프로세스 시스템
{67621A02-7699-4F12-BBDC-60D9004F0339}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{B39AB522-FCA3-4A92-B76F-8147E7A99DE1}
특장점
고순도/초고순도 

표준 GF 시리즈 

고 유량 GF 시리즈
{0F724D3A-A6AF-4AE4-850F-7CB7D98ABC8A}
성능
{DD04D52B-F1CB-49CB-8C3C-6DD4DCCE8F47}
유량 범위(최대 용량)

표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slpm 

고 유량 GF 시리즈: 55 slpm ~ 300 slpm

{081BE13A-92DA-4DE7-851E-2943A8B79405}
정확도
±1% S.P. > 35~100% 

±0.35% F.S. 2~35% 
{3A51093B-CA51-41BB-881F-3F228AB4B9AC}
반복성 및 재현성
< ±0.15% S.P. 
{9642EE73-6469-41B0-9635-D0FC77DE416C}
선형성
±0.5% F.S. (정확도에 포함) 
{F6EAA9AA-9EFA-499A-87B8-41E6B509AF51}
응답 시간
Normally Closed Valve: 700 ms - < 1 초 

SDS 가스 전달: < 3 초 
{02AA87A4-3B1E-4F25-B7D0-105C6C9F9FD1}
응답 시간
Normally Open Valve: <1.5 초(특정 모델) 
{05574362-0330-4B02-B820-5123105D6513}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 표준(대다수의 모델) 
{538D3201-786E-4A32-B275-41597E0CE7E0}
압력 과도 무감응성
{DF7B02EF-6342-4148-B7F6-794315818D3B}
제어 범위
표준 GF 시리즈: < 3~100% 

고 유량 GF 시리즈: 5~100% 
{9C3AA3E1-C5FC-48E8-B36A-C195F8F606DD}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 Bin 

고 유량 GF 시리즈: 4 Bin 
{438A9418-BB97-43D1-81C5-B0A52D92C0FD}
밸브 차단
표준 GF 시리즈: < 1% F.S. 

고 유량 GF 시리즈: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out 
{11E8DCA4-4E3B-4975-9BE5-EBA91C80801C}
제로 안정성
연간 ±0.5% F.S. 미만 
{39961ABF-0D9C-4C4F-B2E5-DD244D234A9F}
유량 온도 계수
범위: °C당 0.05% S.P. 

0: °C당 0.005% F.S. 
{92DB7D93-6B51-4A9B-9B45-E7AC9B4F0848}
기계적
{00FD366A-9377-49D6-BB7A-C0AF22DC8434}
씰 재료
금속 
{53181BE2-787E-48EC-8BA0-712085A1CE8C}
표면 마감 (Surface Finish)
4 ~ 10µ inch Ra 
{E9DFB78F-5DA5-4974-852B-271C5300CB93}
습윤 재료
SEMI F20 HP/UHP 준수 

316L VIM/VAR 

Hastelloy C-22 

316L 스테인리스강 

304 스테인리스강 

KM-45 
{D991E384-0015-45DF-8B6E-4B3975F9EFE5}
밸브
Normally Closed 

Normally Open (특정 모델 한정) 

유량계(밸브 없음) 
{E9BE919F-CF9A-4818-A0E0-55DEE43D53A7}
등급
{00DFAA0D-4DDD-4057-8EC1-F713D0EB0233}
최고 온도
50oC 
{9D73B7BD-D7C3-4C56-B408-FA7D94CD8FED}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid 

861~7200 sccm = 10~45 psid 

7201~55000 sccm = 15~45 psid 

51 slm~300 slm = 30~90 psid 

*일반 압력 강하. 자세한 정보는 Brooks 기술지원 부서에 문의해주십시오. 
{E7A1C04C-79EC-4FAC-B1E1-BD576CA8D52E}
최대 압력
표준 GF 시리즈: 최대 500 psia 

고 유량 GF 시리즈: 75 psig(제어기), 150 psig(유량계) 
{D5A59A33-B974-4ED4-98D8-4C092762422D}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/초 He 
{4C4BA641-C44D-4E88-AA7E-98F200705CB6}
진단 및 디스플레이
{6136989F-23CC-4A62-9BCD-6660E022B2AF}
진단 능력
이용 가능 
{D549975F-CA5B-4308-944C-1138276AECCC}
상태 표시등
MFC 상태, 네트워크 상태 
{E9C0F579-B726-429F-8B14-788F805E8DA1}
알람
제어 밸브 출력, 네트워크 중단 
{6CF6BE50-F8FF-4B83-98B2-F5AA0B788BAF}
독립 진단 서비스 포트
2.5mm 잭을 통한 RS-485(모든 모델) 
{4D8488B6-EB3E-4DED-95D7-2D5D6699626F}
디스플레이
상단 장착 통합 LCD 

시야각: 고정 

가시 거리: 10 피트 

표시 단위: 유량(%), 온도(°C), 압력(psia, kPa) 

해상도: 0.1(단위) 
{57E85A87-41A2-4A75-B778-6FC689FC2A65}
전기
{B7240DE5-C6E2-4C99-862B-810A5FFE0507}
아날로그 통신
0-5 Vdc
{CB62894D-8440-4FCD-9829-5ED4E4050233}
디지털 통신
DeviceNet™ 

RS485 L-프로토콜 
{A407DCFB-4517-4752-921F-E0BA3951ED2D}
전기 연결
9-핀 "D" 커넥터를 통한 아날로그/RS485 

5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™ 

다양한 케이블 어댑터 이용 가능. 자세한 정보는 제품 데이터 시트를 참조하십시오. 
{CAC8E733-6343-4F57-81A0-B1E808EE51AB}
전원 공급/소비
아날로그/RS485 L 프로토콜: 최대 6 Watts @ ±15 Vdc(±10%) 또는 +24 Vdc(±10%) 

DeviceNet™: 최대 545 mA @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc 

(일반 운영 조건 시) 
{A2B444AF-2A63-4013-9661-DA1BCA525685}
규정 준수
{BD155239-DD6A-4B7D-B9E9-3D97DFA8423B}
EMC
EC Directive 2004/108/EC 

CE: EN61326-1: 2006(FCC Part 15 및 캐나다 CE 테스트의 IC-서브셋) 
{67256706-43E8-4E93-9191-90484E5B5D81}
환경 규정 준수
RoHS Directive(2011/65/EU) 

REACH Directive EC 1907/2006 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet - GF100, GF120, GF125 pdf English
Data Sheet - GF101, GF121, GF126 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

CAD 파일 이름 예시: GF100 - AS (장착) - G1 (커넥터)

미터 시리즈
 장착
 커넥터
 GF1xx  AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)
 G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)


파일 이름 파일 형식
GF100-GF120-GF125-AS-DX DXF
GF100-GF120-GF125-AS-DX IGS
GF100-GF120-GF125-AS-DX STEP
GF100-GF120-GF125-AS-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-AS-SX DXF
GF100-GF120-GF125-AS-SX IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-AX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-AX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-AX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1 IGS
GF100-GF120-GF125-AX-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-CX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-GX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-GX IGS
GF100-GF120-GF125-CX-GX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-SX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-CX-TX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX STEP
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GF100-GF120-GF125-VS-G1 STEP
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GF100-GF120-GF125-VS-GX STEP
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GF100-GF120-GF125-VS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-TX DXF
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GF100-GF120-GF125-VS-TX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-BX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0 DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0 IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0 STEP
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GF100-GF120-GF125-VX-G1 dxf
GF100-GF120-GF125-VX-G1-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-VX-GX-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-VX-KX DXF
GF100-GF120-GF125-VX-KX IGS
GF100-GF120-GF125-VX-KX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-VX-SX-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-WX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-WX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-WX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-WX-GX-STEP STEP
GF100-GF120-GF-125-WX-SX DXF
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GF101-GF-121-GF126-C1-DX DXF
GF101-GF-121-GF126-C1-DX IGS
GF101-GF-121-GF126-C1-DX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-D0 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-D0 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-D0 STEP
GF101-GF121-GF126-V1-DX DXF
GF101-GF121-GF126-V1-DX IGS
GF101-GF121-GF126-V1-DX STEP
GF101-GF-121-GF126-V1-EX DXF
GF101-GF-121-GF126-V1-EX IGS
GF101-GF-121-GF126-V1-EX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V2-DX STEP
GF101-GF121-GF126-V2-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V2-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX DXF
GF101-GF121-GF126-V2-SX IGS
GF101-GF121-GF126-V2-SX STEP
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
MultiFlo™ Configurator
MultiFlo™ 가능 MFC를 가스 라인에서 제거하지 않고도 수천 가지 가스 유형 및 범위에 대해 구성할 수 있는 포괄적인 가스 데이터베이스입니다.