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Mass Flow Controllers & Meters

질량 유량 제어 기술. 독보적인 공정 정밀도.

모든 공정을 정확하게 제어하려면 피드라인, 챔버, 모든 지점에서 발생하는 현상을 정확하게 측정한 다음, 실시간으로 해당 정보를 활용하여 공정의 생산성과 목표치를 정확하게 유지해야 합니다.

질량 유량 계측기 제조업체 Brooks Instrument는 정밀 유체 측정 및 제어 분야의 글로벌 리더로서 열 질량 유량 기술을 지속적으로 혁신하고 있습니다. 열 유량 센서와 질량 유량 계측 시스템부터 지속적으로 새로운 제품을 출시하고 기존 시스템을 개선하여 새로운 수준의 열 질량 유량 측정 정밀도, 반응성, 정확도, 반복성을 실현하고 있습니다. 

Brooks Instrument의 질량 유량 센서가 전 세계적으로 가장 널리 사용되는 주요 이유는 다음과 같습니다. 

  • 업계 최고 수준의 디지털 질량 유량 계측기 및 기타 제품을 통해 광범위한 응용 분야 요구사항을 충족합니다. 
  • MultiFlo™ 기술을 사용하면 시스템에서 장치를 제거하지 않고도 하나의 장치에서 가스 유형 및 범위를 변경하고 실제 공정 가스의 정확도를 개선할 수 있습니다. MultiFlo™는 열 질량 또는 유량 센서와 함께 사용할 수 있도록 제공됩니다. 
  • 전체 제품군에는 열 질량 유량 센서와 코리올리 질량 유량 센서를 위한 탄성중합체 실링 옵션과 금속 실링 옵션이 모두 포함되어 있습니다. 
  • 박막, 반도체 및 기타 첨단 산업의 요구사항을 충족하도록 설계된 초 고순도 질량 유량 센서 및 장치입니다. 

주요 응용 분야

  • 질량 유량 센서 관련 열처리, 절삭, 기타 열 공정 
  • 반도체 및 LED 제품 도구 
  • -박막 증착 시스템 
  • 생물약제 생물반응기 
  • 석유화학 및 화학 가스 및 액체 파일럿 플랜트 
  • 퍼지 가스, 공정 분석 및 분석 유량 측정
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GF125 - Mass Flow Controller
  • 넓은 유량 및 압력 범위 
  • 장기 안정성으로 오래 지속되는 가치를 제공 
  • 위험 지역에 대해 승인된 제품 포함 
  • 호스 다운/워시 다운 장치 인클로저 
{18886FAC-2FF5-450F-8969-7D17F1954F23}
유체 유형
가스
{FF1F572E-D25F-41B7-8A12-E6D0153C9FBC}
유량 범위(최대 용량)
3 sccm-2500 lpm
{98B3B921-99AA-44E8-A95A-B2B32C0443EE}
정확도
±0.6% SP
{5926F692-5544-4A73-B01B-FAD04C270B7C}
최대 압력
4500 psig
{3E832D90-A88A-4F1F-A695-A417A3E4EFFA}
온도
65°C
{936BB9F8-90E4-435D-8978-2534DBC0C8A8}
출력 유형
아날로그 및 디지털
  • 수분 또는 산소에 민감한 공정용
  • 고순도 유로로 공정 오염 최소화, 수율 향상
  • 초고속 응답 시간
{4B16B008-8B97-4936-913D-8968C3C47CB6}
유체 유형
가스
{1978A936-D391-47B0-9DD8-781560753BC4}
유량 범위(최대 용량)
.06 sccm - 300 slpm
{A1450FED-5D83-44A4-9A36-DFB8499490BF}
정확도
SP ±1%
{34182DC6-D16A-437F-8683-DC2BFDE0E72E}
최대 압력
150 psig
{6CC6EE13-EA1C-4D01-A096-93E9C793477A}
온도
50oC
{3EB75C7E-C7A1-457B-917D-CFC92B29932C}
출력 유형
아날로그 및 디지털
  • 최고 작동 온도
  • 높은 정확도 및 반복성
  • 초고순도 구조
{8D4C6DBA-EEEC-42DC-B954-E469E88923F8}
유체 유형
가스, 증기
{4D034DB9-C880-4604-94EE-751326470C7D}
유량 범위(최대 용량)

3 sccm - 10 slm

{966F2288-31A6-4FB2-A59C-8E96D9889977}
정확도
SP ±1%
{14561F9A-1D52-4C64-B9CF-2F16451C4D6F}
최대 압력
145 psig
{9617F8FC-A12B-4574-BA30-40FE1069F592}
온도
150oC
{9286B4B5-6608-448F-93A4-ECC445D47307}
출력 유형
아날로그 및 디지털
  • 매우 낮은 유량 공정을 위한 최고의 정확도
  • 고유한 유체 밀도계
  • 액체 및 기체 응용 모두를 위한 장치
{0066CFC8-4EBE-4499-BFC4-5164CC1552EE}
유체 유형
가스, 액체
{E6685411-A2AE-4ADC-AAFC-9CC17AADC3A8}
유량 범위(최대 용량)
10 - 27,000 gram/hr
{8879CE76-43E5-45EF-8C91-9839B6C97A42}
정확도
유속의 0.2% - 0.5%
{296161DC-4196-49EA-AED5-6154A2E563A1}
최대 압력
4500 psi
{35273F94-A47A-4174-AD0C-694431AD18A5}
온도
65oC
{76912886-3FBE-4651-B213-E0787EE15BF8}
출력 유형
아날로그 및 디지털