キャパシタンスダイアフラムゲージ
Brooks Instrumentは、高感度ダイアフラムとキャパシタンス検出技術を特徴とする高精度で安定した測定ゲージを提供します。精密で再現性のある制御を必要とするアプリケーション用に設計された当社のキャパシタンスダイアフラムゲージは、卓越したプロセスの再現性を実現します。
クリーンルーム環境から高真空システムまで、Brooks Instrumentのキャパシタンスダイアフラムゲージは一貫したトレーサブルな性能を提供します。
CMC Unheated Capacitance Manometers
| 圧力範囲 | 10, 20, 50, 100 and 1000 Torr … |
|---|---|
| 精度 | Type A = 0.25% of Reading, Typ… |
| 接続性 | Analog (0–10 V) |
| デバイス温度 | Ambient |
XacTorr® Heated Capacitance Manometers
| 圧力範囲 | 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 T… |
|---|---|
| 精度 | CMX0: 0.25% of Reading, CMX1, … |
| 接続性 | DeviceNet, RS485 |
| デバイス温度 | CMX0 Ambient, CMX1 45°C, CMX2 … |
VersaTorr BVT200 Transducers
| 圧力範囲 | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| 精度 | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5… |
| 接続性 | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| デバイス温度 | Ambient - 50°C |