XacTorr® 加熱式静電容量マノメーター

真空プロセスの効率性と性能を最大限に高めたいなら、ブルックスインスツルメントのXacTorr®シリーズ デジタル真空キャパシタンスマノメータをお選びください。XacTorr®シリーズ デバイスは、高い信頼性の測定を実現する業界トップの機能を搭載。ドリフトを削減し、ダイアフラム耐汚染性を向上するとともに、熱による影響を最小限に抑えます。

先進的な Mark-IVセンサ の表面積の一部は、圧力測定に使用されず、粒子や凝縮蒸気が堆積します。ゲージのゼロ調整の必要がないため、センサドリフトのリスクが生じず、同時にセンサの耐用年数を伸ばすことができます。また、オプションで優れたクローズドループ制御性能を備えた高速応答センサも用意しています。

その結果、 超高精度で、繰り返し性と効率性の高い真空測定が可能になります。チャンバを排気（真空化）するごとに、クリーンで汚染フリーの生成を行うプロセスに必要なTorrを実現できます。