XacTorr® beheizte Kapazitätsmanometer
Minimierte thermische Einflüsse, maximierte Genauigkeit.
Mit den digitalen Vakuumkapazitätsmanometern der Serie XacTorr® maximieren Sie die Effizienz und Leistungsfähigkeit Ihrer Vakuumprozesse. Die Geräte der Serie XacTorr® minimieren thermische Einflüsse und Drift. Darüber hinaus widerstehen sie Membrankontaminationen und machen Ihre Messungen zuverlässiger.
Für einen reinen, kontaminationsfreien Produktionsprozess ist das Erreichen eines präzisen Sollwerts erforderlich. Die Manometer sind mit schnellansprechenden, robusten Sensoren ausgestattet, die das Risiko einer Sensordrift minimieren und Ihnen höchste Regelfunktionalität bieten. Der hochentwickelte Sensor der vierten Generation enthält Oberflächenbereiche, die nicht zur Druckmessung verwendet werden. Dort können sich Partikel und kondensierdabre Dämpfe anlagern. So ersparen Sie sich regelmäßige Nullpunkt-Neueinstellungen und erhalten genaue, wiederholbare und effiziente Vakuummessungen.
Merkmale
- Für Prozessbereiche von 0,1 Torr bis 1000 Torr (0,13 mBar bis 1333 mBar) verfügbar
- Mehrere Genauigkeitsstufen verfügbar
- Patentierter Sensor der vierten Generation
- Weiter Anwendungsbereich dank digitaler Multidekadenkalibrierung
- Zwei-Zonen-Temperaturregelung für verbessert die Messstabilität und Wiederholbarkeit
- Digitale Multidekadenkalibrierung bietet einen weiten Anwendungsbereich in bekannter Genauigkeit
- Nullpunkteinstellung mit Intelli-touch
- Unabhängiger und einfach zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss
- DeviceNet® und analoge Kommunikationsoptionen
Ihre Vorteile
- Geringe Drift und maximaler Schutz vor der Abscheidung von Prozessgasen
- Wegfall von manuellen Potentiometern und der mit diskreten Bauteilen verbundenen Drift
- Kurze Aufwärmphase, enge Temperaturregelung, schnelle Reaktion auf Änderungen
- Digitale Multidekadenkalibrierung für einen weiten Anwendungsbereich
- Kompensation von Umgebungstemperatureinflüssen in Echtzeit
- Kein Nullpunktabgleich bei zu hohem Druck oder unzureichender Temperatur
- Diagnoseanschluss für optimale Überwachung, Datenaufzeichnung und Fehlerbehebung in Echtzeit
| Druckbereich | 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr (mBar & Pascal References Available) |
|---|---|
| Genauigkeit | CMX0: 0.25% of Reading, CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading, CM1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading |
| Konnektivität | RS485, EtherNet/IP |
| Gerätetemperatur | CMX0 Ambient, CMX1 45°C, CMX2 100°C, CMX3 160°C |
| Messprinzip | Capacitance Diaphragm Gauge |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: CMX - 0 - XXX - 2 - 2
| Capacitance Manometer | Temperature | Flow Range | Electrical Connector | Fitting |
| CMX | 0 - CMX0 (Ambient) 1 - CMX45 (45°C) 2 - CMX100 (100°C) |
XXX - Full Scale Range See data sheet for complete listing. |
2 - 15 Pin Male Sub D See data sheet for complete listing. |
2 - KF 16 Flange 3 - KF 25 Flange 4 - 8 VCR (1/2") Female 5 - Mini CF See data sheet for complete listing. |