モデル：AMFC / AMFM
AMF マスフローコントローラー
コンパクトで高性能な流量制御の新たな基準
AMFシリーズ（Advanced Mass Flow）は、設置スペースが限られたシステムにおいて、ガスの流量を精密に制御するために設計された超小型のデジタルマスフローコントローラです。バイオプロセス、薄膜製造、および高度な産業用途向けに開発されており、高性能、多ガス対応、そして高度な診断機能を、極めてコンパクトな筐体に凝縮しています。
特長とメリット
- 優れた低流量安定性、±0.6%の精度、±0.25%の再現性： 低流量用途向けに最適化されたAMFは、安定的で再現性の高いガス供給を実現し、厳密な制御と変動の最小化が求められる高感度なプロセスを支えます。
- 優れたセンサーの安定性： センサーの長期的な安定性によりドリフトが最小限に抑えられ、頻繁な再校正の必要性が減り、一貫したプロセス性能の維持に貢献します。
- 極めて低い漏れ率と優れたバルブ遮断性能、漏れ量 < 0.005 sccm： 高度なバルブ技術により、漏れを最小限に抑え、確実な遮断を実現することで、システムの純度維持、歩留まりの向上、およびガス消費量の削減に貢献します。
- 広い制御範囲： 最大1000:1のターンドダウン比により、1台のマスフローコントローラで低流量から高流量に至るまで正確かつ安定した性能を発揮できるため、複数の装置を必要とするケースを減らすことができます。
- 高度な診断機能とアラーム： 組み込みの診断機能と設定可能なアラームにより、デバイスのパフォーマンスをリアルタイムで把握でき、プロセスに影響が出る前に潜在的な問題を特定するのに役立ちます。
- 組み込みWebインターフェースおよびイーサネット接続：Ethernet/IP™通信と統合されたWebベースのインターフェースにより、設定や監視が容易になり、最新の制御システムへの統合もスムーズに行えます。
用途
- バイオプロセスおよび卓上型バイオリアクター
- 薄膜および先端コーティング
- 光ファイバーの製造
- ガス混合・分析システム
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | Up to 27 slpm, 27,000 sccm |
| 精度範囲 | ±0.6% of S.P. (20 - 100% F.S.), ±0.12% F.S. (<20% F.S.) |
| 再現性 | ±0.25% of S.P. |
| 最大圧力 | 150 psi |
| 動作温度 | 0 - 65°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller) |
| シールオプション | Elastomer |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 接続性 | EtherNet/IP |
以下のガイド（データシート記載のモデルコード情報）を参照し、下記に掲載されているCAD構成を照合してください。ご不明な点がある場合や、お探しの情報が見つからない場合は、アプリケーションエンジニアリング部門、またはお近くのBrooks Instrumentの担当者までお問い合わせください。
例：AMF-C-7-S-1B-A
| モデル |
ボディサイズ | 通信I/O | 添付資料 | 機械的接続 | 改訂レベル |
| AMF | C | 7 (EtherNet/IP™) | S (標準 IP40) | 1B (1/4インチ チューブ式圧着) | A |
ファイル名
ファイル形式
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