お探しの製品は?

製品名またはモデル番号で製品および資料をクイック検索

クイック検索

半導体製品

最先端の半導体プロセス向け
超高清浄製品

サービスとサポート

機器のキャリブレーション/修復を行う工場認定サービスまたはフィールドサポートを受ける

お問合せ・ご質問

当社のアプリケーションエンジニアが測定/制御の問題解決をお手伝い

03-5633-7100

SLA5800シリーズ 国内防爆合格のお知らせ(2021年5月)

SLA5800シリーズが防爆構造電気機械器具型式検定(国内防爆: DEK20.0062X)に合格いたしました。

  • マスフローコントローラー SLA585xシリーズ
  • マスフローメーター SLA586xシリーズ
  • プレッシャーコントローラー SLA5800シリーズ
※プレッシャーコントローラーは国内防爆に対応する唯一の製品です。

詳細はこちら

Component datasource missing. Select a datasource for this component.