Skip links

Halbleiterprodukte für die Elektronikfertigung

Absolute Präzision und Kontrolle bei der Halbleiter- und Elektronikproduktion

In der Halbleiter- und Elektronikfertigung kommt es auf präzise und wiederholbare Prozessregelung an. Gerade die Durchflussmessung und Druckinstrumentierung muss höchsten und stetig wachsenden Anforderungen standhalten.

Ob Durchfluss-, Druck-, Vakuum- oder Verdampfungs-Produkte: Brooks Instrument bietet Ihnen ein breites Halbleiterproduktportfolio auf branchenweit führendem Niveau. Es beruht auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Schaffung vieler bahnbrechender Mess- und Regelgeräte, die heute Standardkomponenten in den verschiedensten Industrieprozessen sind.

In jedem unserer Halbleiterprodukte steckt nicht nur ein Menge Erfahrung, sondern auch unser Knowhow und unsere einzigartigen Ressourcen. Wir helfen Ihnen dabei, die Herausforderungen von Prozessen und Profitabilität von FEOL bis BEOL zu lösen, von Front End bis Back End Of Line. Sie profitieren von:

  • Erfahrung: Mit problematischen Prozessgasen, Kammerabstimmungen und Durchsatzmengen kennen wir uns aus. Deshalb orientieren sich führende Halbleiter-Werkzeughersteller an unserem Knowhow in der Mess- und Regeltechnologie für Durchflussmessung.
  • Präzision: Bei Brooks Instrument erhalten Sie immer das ideale Level an anwendungsspezifischer Genauigkeit. Wir investieren ständig in die Optimierung unseres Portfolios, um die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit weiter zu erhöhen, damit Sie Ihre Produktivität weiter steigern können.
  • Zuverlässigkeit: Damit Sie sich auf genaue, wiederholbare Messungen verlassen können, arbeiten wir nur mit den besten Materialien. Die Halbleiterprodukte von Brooks werden mit Stahlsorten und Legierungen höchster Qualität, digitaler Hochleistungselektronik und patentierten Sensorkonstruktionen entwickelt. So erzielen Sie beste Ergebnisse, insbesondere in Wechselwirkung mit exotischen Prozessgasen.
  • Fokussierung: Wir bei Brooks Instrument machen Ihr Projekt zu unserem und fokussieren uns komplett auf Ihre Durchfluss- und Druckmessung. Mit unserem weltweiten Service können wir Ihnen bei Geräteproblemen schnell helfen und Ihnen einen langen Lebenszyklus der von uns angebotenen Halbleiterprodukte garantieren.
  • Support: Wir unterstützen Sie mit unserer Anwendungserfahrung und kundenspezifischen Messkonfigurationen. Außerdem beraten wir Sie bei der Produktauswahl.