Für die genaue Regelung Ihrer Prozesse ist eine präzise Durchflussmessung erforderlich – nicht nur in der Zuleitung und Prozesskammer, sondern auch an jedem anderen Punkt. Mit Massendurchflussreglern, auch Mass Flow Controller (MFC) genannt, erhalten Sie wertvolle Informationen. Sie können Ihren Prozess in Echtzeit überwachen und die Produktivität jederzeit sicherstellen.
Ob Präzision, Ansprechempfindlichkeit, Genauigkeit oder Wiederholbarkeit: Im Bereich der Durchflussmessung setzen Sie mit Brooks Instrument auf den globalen Marktführer mit höchsten Anforderungen. Über Jahrzehnte haben wir Innovationen in der thermischen Massendurchflusstechnologie entwickelt, von denen Sie heute und in Zukunft profitieren.
Warum Sie sich für unsere Massendurchflussregler entscheiden sollten
- Ein ideal auf industrielle Anwendungen zugeschnittenes Produktportfolio, das auch die komplexesten Anforderungen erfüllt. Dazu gehören sowohl elastomergedichtete als auch metallgedichtete MFCs.
- Gasart- und Bereichswechsel in einem Gerät sowie Verbesserung der Genauigkeit bei Prozessgasen. Dank der innovativen MultiFlo™ Technologie muss das Gerät dafür nicht aus dem System entfernt werden.
- Ultrarein entsprechend den Anforderungen der Dünnschicht- und Halbleiter-Industrie sowie weiterer Hightech-Industrien.
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