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Massendurchflussmesser und -regler

Massendurchflussregelung – mit unerreichter Prozessgenauigkeit

Um einen Prozess wirklich kontrollieren zu können, müssen Sie genau messen, was passiert – in der Zuleitung, in der Kammer, an jedem Punkt – und diese Informationen dann in Echtzeit nutzen, um den Prozess genau auf Zielkurs und produktiv zu halten.

Als weltweiter Marktführer in der Präzisionsmessung und -regelung von Flüssigkeiten treibt Brooks Instrument die Innovation in der thermischen Massedurchfluss- und Coriolis-Durchflussmess- und -regelungstechnologie voran. Wir nutzen neue Anwendungen der digitalen Technologie, um die thermischen Massendurchfluss-Sensoren, die Designs der Massendurchflussmesser und die Leistung der Präzisions-Massendurchflussregler zu verbessern.

Als Branchenführer bringen wir kontinuierlich neue Produkte auf den Markt und verbessern unser bestehendes Portfolio, darunter bewährte elastomergedichtete, metallgedichtete, Hochtemperatur- und Coriolis-Massendurchflussmesser und -regler. Unser Ziel ist es, neue Maßstäbe für die Präzision, Reaktionsfähigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit der thermischen Massendurchflussmessung zu setzen.

Massendurchfluss messen und regeln:
Warum Präzision so wichtig ist

In Branchen wie der Biotechnologie, Halbleiter-, Dünnschicht-, Chemie-Industrie und anderen, hängen Produktivität, Effizienz und Rentabilität von der Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit der von Massendurchflussmessern erzeugten Prozessdaten und der Leistung von Massendurchflussreglern ab.

Eine präzise Prozesssteuerung wird durch die Kombination von ultrastabilen, hochpräzisen Massedurchflusssensoren, schnell reagierenden Durchflussregelventilen und leistungsfähiger digitaler Elektronik erreicht.

Zu den wichtigsten Gründen, warum unsere Massendurchflusssensoren und -regler weltweit am häufigsten eingesetzt werden, gehören:

  • Das branchenweit größte Angebot an digitalen Massendurchflussmessern und anderen Produkten für die unterschiedlichsten Anwendungsanforderungen.
  • Die MultiFlo™-Technologie ermöglicht es, mit einem Gerät die Gasart und den Messbereich zu wechseln, ohne das Gerät aus dem System zu entfernen, und verbessert die tatsächliche Prozessgasgenauigkeit. MultiFlo™ wird zur Verwendung mit thermischen Massendurchflussreglern oder Massendurchflussmessern angeboten
  • Die komplette Produktpalette umfasst sowohl elastomergedichtete als auch metallgedichtete Optionen für thermische Massendurchflusssensoren und Coriolis-Massendurchflusssensoren.
  • Ultrahochreine Massendurchflussmesser und Massendurchflusssensoren, die für die Anforderungen der Dünnschicht-, Halbleiter- und anderer High-Tech-Industrien entwickelt wurden

WESENTLICHE ANWENDUNGEN

  • Werkzeuge zur Halbleiter- und LED-Herstellung
  • Dünnschichtabscheidungssysteme
  • Bioreaktoren in Pharmabereichen
  • Pilotanlagen für Gase und Flüssigkeiten in Chemie und Petrochemie
  • Spülgas, Prozessanalyse und analytische Durchflussmessung
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Brooks GF100 cutaway
GF125 - Massendurchflussregler
  • Breiteste Durchfluss- und Druckbereiche
  • Langzeitstabilität liefert zuverlässige Werte 
  • Auch Produkte mit Zulassung für explosionsgefährdete Bereiche lieferbar 
  • Für Schlauchreinigung/Nassreinigung geeignetes 
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Art des Mediums
Gas
{FF1F572E-D25F-41B7-8A12-E6D0153C9FBC}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 2500 lpm
{98B3B921-99AA-44E8-A95A-B2B32C0443EE}
Genauigkeit
± 0.6% der SP
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Maximaler Druck
4500 psig
{3E832D90-A88A-4F1F-A695-A417A3E4EFFA}
Temperatur
65oC
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Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Für gegenüber Feuchtigkeit oder Sauerstoff empfindliche Prozesse
  • Hochreiner Strömungsweg minimiert Prozesskontaminationen und erhöht den Ertrag. 
  • Extrem schnelles Ansprechen 
{4B16B008-8B97-4936-913D-8968C3C47CB6}
Art des Mediums
Gas
{1978A936-D391-47B0-9DD8-781560753BC4}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 300 slpm
{A1450FED-5D83-44A4-9A36-DFB8499490BF}
Genauigkeit
SP ±1%
{34182DC6-D16A-437F-8683-DC2BFDE0E72E}
Maximaler Druck
150 psig
{6CC6EE13-EA1C-4D01-A096-93E9C793477A}
Temperatur
50oC
{3EB75C7E-C7A1-457B-917D-CFC92B29932C}
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Höchste Genauigkeit für Prozesse mit sehr geringem Durchfluss
  • Dichtemessgerät für inhärente Flüssigmedien 
  • Geräte für sowohl Flüssig- als auch Gasanwendungen 
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Art des Mediums
Gas, Liquids
{E6685411-A2AE-4ADC-AAFC-9CC17AADC3A8}
Durchflussbereich (Maximalwert)

10 - 27,000 gram/hr

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Genauigkeit
0.2% - 0.5% of Rate
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Maximaler Druck
4500 psi
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Temperatur
60oC
{76912886-3FBE-4651-B213-E0787EE15BF8}
Ausgangstyp
Analog & Digital