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气体流量

精确、可靠的气体流量技术

探索我们种类繁多的气体流量计和气体流量控制器,它们旨在为实验室、工业和加工环境提供精确、可重复的气体流量测量和控制。从热式质量流量计到科里奥利流量计和变截面流量计,Brooks Instrument 可为几乎所有气体流量测量应用提供成熟的解决方案。

筛选条件

产品类型

Gas

流量测量原理

连接方式

危险区域认证

防护等级

測量/控制

密封选项

SLA5800 Series product image
SLA5800 Elastomer Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 .003 - 2500 slpm
精度范围 Up to ±0.6% of S.P. (20-100% F…
拒绝率 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm:…
重复性 0.20% S.P.
最大压力 4500 psi
工作温度 -14°C - 65°C
SLAMF Elastomer Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 .003 - 2500 slpm (9000 slpm fo…
精度范围 Up to ±0.6% of S.P. (20-100% F…
拒绝率 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm:…
重复性 0.20% S.P.
最大压力 4500 psi
工作温度 -14°C - 65°C
防护等级 IP66
GP200 Metal Sealed Mass Flow Controllers
介质类型 Gas
流量测量原理 Pressured-based (P-MFC)
流量范围 3 sccm - 50,000 sccm
精度范围 Zero Leak Valve: <±1% S.P. (5-…
拒绝率 Zero Leak Valve: 0.5 - 100% F.…
重复性 < ±0.15% S.P.
最大压力 150 psi
工作温度 10°C - 60°C
GF100 Metal Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 Standard GF Series: 3 sccm - 5…
精度范围 Standard GF Series: ±1% S.P. >…
拒绝率 Standard GF Series: 2-100%, H…
重复性 5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5%…
最大压力 500 psi
工作温度 10°C - 50°C
GF100 Metal Sealed Mass Flow Controllers & Meters with EtherCat
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 Standard GF Series: 3 sccm - 5…
精度范围 Standard GF Series: ±1% S.P. >…
拒绝率 Standard GF Series: < 3-100%, …
重复性 5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5%…
最大压力 500 psi
工作温度 10 - 50°C
GF080 Metal Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 3 sccm - 55 slpm
精度范围 ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. …
拒绝率 < 5% - 100%
重复性 < ±0.2% S.P.
最大压力 150 psi
工作温度 5°C - 50°C
GF040 Elastomer Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 3 sccm - 50 slpm
精度范围 1% of S.P. 35-100%, 0.35% of F…
拒绝率 2-100%
重复性 0.20% S.P.
最大压力 150 psi
工作温度 5°C - 50°C
Quantim® QMC Coriolis Mass Flow Meters & Controllers
介质类型 Gas/Liquid
流量测量原理 Coriolis
流量范围 10 - 27,000 gram/hr
精度范围 Liquid: 0.2% of rate, Gas: 0.5…
重复性 ±0.05% or ±[0.5 x (zero stabil…
最大压力 1500 psi
工作温度 0°C - 60°C
防护等级 IP40, IP65, IP66
MT3809 Metal Tube Flow Meters
介质类型 Gas / Liquid
流量测量原理 Variable Area (VA)
流量范围 Water: 440 gpm / 100,000 l/h, …
精度范围 ±2% FS / Class 2.5 VDI / VD…
重复性 All options except ELF: 0.25%…
工作温度 -198°C - 420°C
防护等级 IP66, IP67, Nema 4x, IP65
MT3750 Metal Tube Flow Meters
介质类型 Liquid, Gas
流量测量原理 Variable Area (VA)
流量范围 Water: 26 gph / 100 l/h, Air: …
精度范围 ±5% FS* / Class 4 VDI / VDE…
重复性 Less than 1% FS
最大压力 4000 psi
工作温度 -50°C - 204°C*
防护等级 IP65, IP66, IP67, Nema 4x
GT1600 Glass Tube Flow Meters
介质类型 Gas/Liquid
流量测量原理 Variable Area (VA)
流量范围 Water: Up to 0.41 gpm / 4,900 …
精度范围 Standard: ±10%, ±5%, ±2% Full …
重复性 ≤0.5% Full Scale
工作温度 1°C - 121°C
Sho-Rate™ Glass Tube Flow Meters
介质类型 Gas / Liquid
流量测量原理 Variable Area (VA)
流量范围 Air: Up to 140 scfh / 63 slpm,…
精度范围 ± 3% - 10% FS
重复性 0.25% FS
最大压力 200 psi
工作温度 1°C - 121°C
GF120xHT Metal Sealed High-Temperature Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 50 sccm - 5 slpm
精度范围 ±1% S.P. >35-100%, ±0.35% FS 2…
重复性 5-100% = ±0.15% of S.P., 2-5% …
最大压力 500 psi
工作温度 45°C - 150°C
5850EMH Metal Sealed High-Temperature Mass Flow Controllers
介质类型 Gas/Vapor
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 0.003 - 100 slpm
精度范围 1% of FS
重复性 ±0.25% of rate
最大压力 145 psi
工作温度 50°C - 105°C
5800E Elastomer Sealed Mass Flow Controllers & Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 .003 - 1000 slpm
精度范围 1% of FS, 1.5% of FS > 20 slpm
拒绝率 50:1
重复性 0.25% of rate
最大压力 1500 psi
工作温度 5°C - 65°C
5850EM Metal Sealed Mass Flow Controllers
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 3 sccm - 30,000 sccm
精度范围 1% F.S. incl. linearity, 1.5% …
拒绝率 2-3% - 100%
重复性 0.25% of rate
最大压力 1500 psi
工作温度 5°C - 65°C
5700 Elastomer Sealed Mass Flow Meters
介质类型 Gas
流量测量原理 Thermal (TMF)
流量范围 0 - 50 slpm
精度范围 5% of FS including linearity
重复性 0.50% FS
最大压力 150 psi
工作温度 5°C - 65°C

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