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薄膜、涂层和表面处理

薄膜、涂层和表面处理涉及广泛的行业和应用，从医疗器械涂层到半导体，再到食品包装。在上述每种应用中，都会通过涂覆涂层来改进产品的最终特性。布鲁克斯仪表公司提供各种质量流量控制器和仪表，以支持所有薄膜工艺。

推荐产品

适用于所有薄膜应用的可靠且经过验证的解决方案

SLA5800 弹性体密封质量流量控制器和流量计

SLA5800 系列具有高精度、高零点稳定性和高重复性，是质量流量测量和控制技术领域的行业领先者。SLA5800 数字式 MFC 采用卓越的设计，并使用先进的计量和测试系统进行制造，与同类产品相比，具有更好的零点漂移规格。事实证明，SLA5800 能够最大限度地延长生产正常运行时间，降低维护和停机成本。

GF040 弹性体密封质量流量控制器和流量计

在一台设备中使用多种气体，就等于实现了最大的工艺灵活性和生产率。GF40 系列弹性体密封质量流量控制器和仪表采用布鲁克斯仪器公司独有的 MultiFlo™ 技术，是使用多种气体、频繁更换气体类型或需要在保持气体测量和控制精度的同时重新量程的系统、工艺和设施的完美选择。它将工艺灵活性与前所未有的流量测量和控制性能结合在一起，使工艺灵活性达到了一个新的高度。

GF100 金属密封质量流量控制器和流量计

快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度工艺气体，这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表的性能。GF100 系列专为半导体、MOCVD 和其他气体流量控制应用而设计，其可靠性超过了半导体行业标准，可确保长期提供可重复、高度稳定的性能。标准的 MultiFloTM 技术使一个 MFC 能够支持数千种气体类型和量程组合，而无需将其从气体管路中移除或降低精度。