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高纯和超高纯气体质量流量控制器与流量计

挑战:使工具工作时间和生产力最大化

质量流量控制器的可靠性和通用性对许多半导体加工工具很重要。当启动和使用这些过程工具时,他们只能赚得数百万美元投资的回报;如果质量流量控制器在重要设定点上缓慢移动,或者新的制造工艺需要多种气体(和多个质量流量控制器),那么,转换和/或再校准或修理会需要更长的停机时间。

解决方案:先进的 MultiFlo®-capable GF 系列质量流量控制器

精确、可重复地输送超高纯工艺气体 - 这就是 GF 系列金属密封质量流量控制器与流量计的性能所在。GF 系列已被连续测试七次,符合半导体行业标准,确保测量可靠性。全金属流道和耐腐蚀的 Hastelloy® 传感器能够确保气体保持最高纯度和干燥流动。独特的可编程 MultiFlo® 技术能够使一个质量流量控制器支持数千个气体类型和范围组合。

结果:提高了过程的灵活性和效率,并与同行业的最高纯工艺气体结合起来,有助于最大限度地提高产量和生产率。

产品

9861 系列
9861 系列
GF100 系列
GF100 系列
GF125 系列
GF125 系列
产品类型 Mass Flow Controller
区别

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

密封材料 Metal Metal

Metal

纯净等级 4 μ inch Ra 4 - 10µ inch Ra 4 - 5µ inch Ra
流量范围-满量程容量 10 slm (N2 equivalent)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm

精度

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

最大压力

620 kPa (90 psi)

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

最大温度 150oC 50oC 50oC
模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

数字通讯

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485 L-Protocol