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GF100 金属密閉型マスフローコントローラーおよびメーター

高清浄流路、卓越した性能、信頼性、繰り返し性

GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。

その結果、業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。

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特長

長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
セトリングタイム：300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 秒以下
フルスケール流量レート最大300 slpm
メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション
耐腐食ハステロイ® 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、測定の再現性を向上
MultiFlo™ によりガスとレンジのプログラムが可能 — ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート
ローカル表示
オプションでSDSガス供給
DeviceNet™ 、RS-485 L-Protocol、アナログインターフェース

メリット

信頼性を実現するため、半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品
パージ時におけるドライダウン時間を短縮する、表面積とデッドボリュームが削減された耐腐食性オールメタル流路
MultiFlo™ により、MFCを取り外したり、再キャリブレーションせず、新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
高度構成が可能なプラットフォームにより、Celerity、Mykrolis、Tylan、UNITなどのブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応
GF120 Safe Delivery System （SDS®）は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最先端技術を駆使した低圧力損失マスフローコントローラです。
デバイスの取り付け、監視、トラブルシューティングが簡単に行える、便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート

How a Mass Flow Meter Addresses Flow Bursts with Zero Leak-by Valve Technology

使用媒体	Gas
流量測定原理	Thermal (TMF)
流量範囲	Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm, High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm
精度範囲	Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%, High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
却下率	Standard GF Series: 2-100%, High Flow GF Series: 5-100%
再現性	5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5% = ±0.015% F.S.
最大圧力	500 psi
動作温度	10°C - 50°C
測定／制御	Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter)
最大流量	300 slpm
最高温度	50 celsius
シールオプション	Metal
精度（流量比）	±1.0%
接続性	RS485, DeviceNet

ファイル名

ファイル形式

言語別ドキュメント

Data Sheet - GF100 Series

PDF

English Chinese

Data Sheet - GF120xHT Series

PDF

English

Installation & Operation Manual - GF100 Series

PDF

English

DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series

PDF

English

RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series

PDF

English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series	Fitting	Connector
GF1xx	AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)	BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
	VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
	WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
		G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)