Skip To Content
제품 Vaporization Vapor Delivery Modules VDM300

VDM300 DI Water Vapor Delivery Module

초고순도 탈이온(DI) 수증기 전달을 위한 최고의 흐름 정확도.

Brooks Instrument의 VDM(Vapor Delivery Module)은 초고순도 탈이온(DI) 수증기의 매우 정확한 전달을 위한 고성능 독립형 모듈입니다. 저온, 초고순도 증기 발생을 가능하게 하는 전력 효율적인 설계가 특징입니다. 검증된 증기 전달 기술을 활용하고 이를 작고 편리한 패키지에 고급 디지털 제어 및 통합 진단 기능과 결합합니다.

고급 스트립 및 금속 에칭 후 패시베이션 공정을 위해 설계된 VDM은 플래시 증발 시스템에 비해 향상된 정확도, 더 높은 유속, 더 넓은 제어 범위 및 더 낮은 전력 소비를 제공합니다. 입증된 열 질량 유량 측정 기술을 기반으로 하는 VDM은 과열되지 않은 증기 상태에서 증기를 생성하여 향상된 신뢰성과 깨끗한 작동을 위해 탈이온수의 공격적인 영향을 줄입니다.

VDM은 독립적인 서비스 포트와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자 친화적인 데이터 로깅 및 진단 기능을 제공합니다.

질문?

당사의 애플리케이션 엔지니어링 전문가와 상담하십시오:

전화 +82 31 708 2591

가격 정보:

조회를 요청하다
VDM300 데이터 시트

장점

  • 유량 범위: 3 slpm(DIW 증기)
  • 우수한 유량 정확도로 직접 수증기 측정
  • 집 탈이온수 공급 장치에 직접 연결
  • 낮은 온도에서 작동(과열되지 않은 상태)
  • 세척 및 배수에 최적화된 설계
  • EtherCAT® 디지털 통신
  • Brooks Expert Support Tool (BEST) 그래픽 사용자 인터페이스

장점

  • 입증되고 신뢰할 수 있는 열 질량 유량 측정 및 제어 기술 활용
  • 다양한 fab DI 급수 압력에 대한 높은 내성
  • 젖은 경로의 내식성 향상
  • 더 깨끗한 작동을 보장합니다
  • 아날로그 또는 디지털 통신을 사용하는 도구 인터페이스
  • 향상된 데이터 수집 또는 문제 해결을 위한 직접 사용자 인터페이스

응용 분야

  • 실리콘 반도체 포스트 메탈 에칭 공정
  • 실리콘 반도체 금속 스트립 공정
  • 대기 이하 환경의 초고순도 가습

{686E71F6-53E5-459B-BB97-3C98CB993E68}
상품 유형
DI 수증기 전달 모듈
{88AEC127-0F8D-4099-B36C-835BEE2E5141}
특장점

초고순도 DI 수증기

고순도 DI 수증기 전달

최고의 유량 정확도

컴팩트한 디자인

EtherCAT 디지털 통신

{7DFD58A9-1BBC-45D0-BB74-657138CC6824}
기화 방법
증기 그리기
{4127E16B-FEBA-44B3-9B89-EB40153F88FF}
유체 유형
직접 주입 물
{7C51BBDB-1165-4019-83CB-479215CA2384}
유량 범위(최대 용량)

3000 sccm

{12FF778B-276D-4FF1-A74B-3FCDABF21A31}
턴다운 비율
20:1
{60BA814D-91FB-49F2-BD8B-288EDF0B9D6C}
응답 시간

<2 초

{8B88BD39-1DED-4EEA-A23F-7AB79B7D0E17}
정확도

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

{3DA92E00-D1D6-4452-8E41-BBF79215CB38}
선형성
±0.5% of FS
{4A845A8C-561A-407C-B2BE-33AA4F042686}
반복성 및 재현성
<±0.2% FS
{F5C19F86-B8CB-4A3E-A1AB-E87746C228C3}
유량 온도 계수
0.05% per °C zero and span
{14FDE091-B57D-41D1-912D-E1CFBDEDC346}
밸브 차단

평상시 닫힘 밸브: <0.5% FS

{7DFAFBEA-7FCB-4C96-BF47-305228C0CDC0}
전기
{A643096B-96ED-46C4-9340-0AA867EC2914}
아날로그 통신

0 to 5-24 Vdc

{D38C172F-BC04-4122-A080-C7195BD1874F}
디지털 통신

듀얼 RJ-45 잭을 통한 EtherCAT

microUSB를 통한 진단(RS485)

{457F7D7F-9B41-4033-A2A4-2445737E909F}
전기 연결

208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts 공칭(탱크 히터)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC 히터와 PCBA)

{053E4EF3-2EC4-431F-B024-BE9CF23C13FB}
상태 표시등

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

{F9A847E9-E9B8-456E-B522-C7037DFA7F84}
독립 진단 서비스 포트

RS-485 via microUSB

{7C5A80D9-3706-4F3D-83A6-AEC0B97F6B41}
장착

배출구 증기: 1/2" Female VCR

입구 직접 주입 물: 1/4" Male VCR or Tube Compression

직접 주입식 배수: 1/8" Instant Tube Fitting

{BDDC92B0-D5D3-4A85-8CF3-01912BB880FA}
직접 주입 물 주입구 피팅이 아래로 향하는 수직
{F69EABE4-0420-4FD7-97FC-DE6FAE29E394}
등급
{9B9BCF05-4D20-49E6-BDD0-B6F203C06BC2}
최대 압력
증기 배출구: 200 Torr
{3A041A2F-B50B-41B3-9FEC-A4EBCC75D8DD}
공급 압력

직접 주입 물: 10 - 40 psig

N2 숙청: 10 - 40 psig

{0F392497-24CD-44F0-A51E-DD636387EE5F}
대기 온도 범위
15 - 45°C
{48AE4C1E-E85E-4FC2-B376-0B3E9C9AFD8E}
내부 용적
0 to 95% RH, 비응축
{1B9DD8FC-55EC-4ADB-BD38-5BE416F8047A}
규정 준수
{746AD35C-DB34-47FA-81B0-A3411CF0F882}
EMC
전자기 호환성 (EMC): 지침을 완전히 준수 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

저전압 지령 (LVD): 지침을 완전히 준수 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)
{12AE6532-A860-4E96-B8B2-A7E94B69C441}
환경 규정 준수

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

파일 이름 파일 형식 언어별 문서
VDM300-At-a-Glance pdf Chinese English
Data Sheet pdf English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300 pdf English

다음 가이드(데이터 시트의 모델 코드 정보)를 사용하여 아래에서 사용 가능한 CAD 구성을 번역하십시오. 도움이 필요하거나 원하는 것을 찾을 수 없으면 저희에게 연락하십시오.

파일 이름 파일 형식
VDM3W3000A1A1XXXXX STEP
VDM3W3000A2A1XXXXX STEP
Brooks Expert Support Tool (BEST)
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.