Verdampfer VDM300 zur Dampfbereitstellung
Höchste Genauigkeit für Ihre Wasserdampf-Regelung Modell: VDM300
Die VDM Verdampfer (VDM = Vapor Delivery Module) von Brooks Instrument sind eigenständige Hochleistungsmodule zur Bereitstellung von ultrareinem (DI) Wasserdampf. VDM verfügen über ein energieeffizientes Design. So können Sie auch bei niedrigen Temperaturen ultrareinen Dampf erzeugen. Die bewährte Technik zur Dampfbereitstellung wird hier mit einer digitalen Regelung und integrierten Diagnosefunktionen kombiniert.
Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, breitere Regelbereiche oder niedrigerer Energieverbrauch: VDM von Brooks Instrument sind speziell für die hohen Anforderungen in Abtragungs- und Passivierungsprozessen entwickelt.
Unsere Verdampfer der Serie VDM300 basieren auf den bewährten thermischen Messtechniken für Massendurchfluss. Sie produzieren Dampf im nichtüberhitzten Dampfzustand und reduzieren so die aggressiven Wirkungen entionisierten Wassers.
Dank umfangreicher Datenaufzeichnungs- und Diagnosefunktionen können Sie Ihren Prozess zudem leicht und unkompliziert über einen separaten Serviceanschluss kontrollieren. Für Sie bedeutet das: höchste Zuverlässigkeit und ein absolut sauberer Betrieb.
Merkmale
- Durchflussbereich: 3 sl/min (DI - Wasserdampf)
- Hochpräzise Wasserdampfdirektmessung
- Direktanschluss an entionisiertes Wasser
- Arbeitet bei niedrigen Temperaturen (kein überhitzter Zustand)
- Für Spülen und Entleeren optimierte Konstruktion
- Digitale Kommunikation via EtherCAT
- Grafische Bedienerschnittstelle über Brooks Expert Support Tool (BEST)
Ihre Vorteile
- Bewährte, zuverlässige thermische Techniken für Massendurchflussmessung und -regelung
- Tolerant gegenüber Druckänderungen im Wasserzulauf
- Verbesserte Korrosionsbeständigkeit
- Absolut saubererer Betrieb
- Kommunikation über analoge oder digitale Schnittstelle
- Verbesserte Datenaufzeichnung und Fehlerdiagnose
| Durchflussbereich | 3000 sccm |
|---|---|
| Auslassdruck | 200tor |
| Genauigkeit | ±1% SP @ >10% FS | ±0.2% FS @ 5 - 10% FS |
| Wiederholgenauigkeit | <±0.2% FS |
| Konnektivität | Analog (0–5 V), Analog (0–20 mA), EtherCAT, RS485 |
| Maximale Temperatur | 45 celsius |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: VDM3 - 1
| Series | Inlet Fitting |
| VDM3 | 1 - 1/4” VCR Male |
| 2 - 1/4” Tube Compression |