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PC100 Series Metal Sealed Pressure Controllers

압력 적용 시 정확성. 제어 시 정확성.

PC100 시리즈 압력 컨트롤러 및 미터는 고성능 기술 기능 호스트를 결합하여 까다로운 반도체, 증기 증착 및 기타 초정밀 제조 공정에 새로운 수준의 압력 제어 정확성과 신뢰성을 제공합니다.

성능이 입증된 Brooks GF 100 질량 유량 컨트롤러 기술을 바탕으로 한 PC100 시리즈는 고순도 전 금속 유체 경로, 센서 드리프트를 제거하도록 강화된 센서 기술, 장치 평가와 문제 해결을 쉽게 만들어주는 사용자 인터페이스 및 장치 진단 능력을 통해 서비스 중단을 제한하고 비가동 시간을 줄입니다.

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PC100 시리즈 데이터 시트

특징

  • 응답 시간: 1초 미만
  • 최고 10 slm의 Full-scale 유속
  • 트랜스듀서 압력 범위: 1000 Torr FS
  • 전 금속 실 유체 경로: 5µ 인치 Ra 표면 마감
  • 내장형 유량 센서를 갖춘 PC125는 고속 ARM 프로세서를 장착하고 있으며 내식성이 뛰어난 Hastelloy® C-22 유량 센서를 포함
  • 빠르게 작동하는 무 다이어프램 밸브 어셈블리
  • 유량, 온도, 네트워크 주소의 로컬 표시를 위해 쉽게 접근할 수 있는 푸시 버튼을 갖춘 고가시성 LCD 디스플레이
  • 독립형 진단/서비스 포트
  • DeviceNet™ 프로토콜

장점

  • 고성능 구성품을 통해 빠른 반응 시간과 설정 시간을 실현하여 압력 제어를 개선합니다
  • 우회 가스 소비 및 관련 경감 비용 감소
  • 전체 표면적과 스윕되지 않은 체적을 줄인 전 금속 내식성 SEMI F20 준수 습윤 유체 경로로 퍼지 단계에서 빠른 건조 속도를 확보합니다.
  • 장기 열 또는 압력 센서 장치 안정성으로 생산량과 처리량을 극대화합니다
  • 저속 램프 압력 제어를 필요로 하는 공정을 위해 사용자가 프로그래밍할 수 있는 시동 기능

적용

  • 반도체 고급 에칭 도구
  • 박막 화학 증착 시스템(CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 물리 증착(PVD) 시스템
{1F295648-8F02-4CB1-9CDF-88EBBA5382A5}
상품 유형
압력 컨트롤러 
{4E5FEAE0-D850-4C40-B132-0F558FAAB63A}
특장점
제어 모드: 다운스트림 또는 업스트림 

초고순도 

디지털 압력 제어 
 
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성능
{EBFA0A0A-3B9B-437B-AEAE-5D064E59D8BE}
유량 범위(최대 용량)
10 slm(N2 또는 H2만). 
 
{CB3889BC-A2BE-4951-AC6C-7D6B17269372}
정확도
압력 판독값: 판독값의 ± 1% 

압력 제어: F.S.의 ± 0.2% <10% F.S.; 판독값의 ± 1% >10% ~ 100% F.S. 

유량 판독값: F.S.의 ± 0.35% 2-35% F.S. ; 판독값의 ± 1% >35% F.S 
 
{6E1E9F1C-5174-437E-8556-0ACF1984C4DA}
반복성 및 재현성
< ±0.2% F.S. 
 
{3D67A3EF-67C3-4836-A6D8-3416ABE14B50}
유량 온도 계수
제로: < 0.05% F.S./°C 
범위: 판독값/°C의 < 0.08% 
{BC52041F-E6E9-45FD-919E-3EB374FED1B4}
최대 압력
1000 Torr FS 
{59A3993D-AD07-4548-A7E5-767AC39E2529}
압력 제어 범위
> 2 ~ 100%
{96A8F9D9-4C0E-4EFA-B1C2-512C3DC4D5CC}
응답 시간
< 1 sec typ.(시스템 시간 상수 제외) 
 
{C4A5CCCC-0CFC-4FF7-BDC0-AFC7BD16EC5B}
온도 범위
10 - 50°C 
 
{06A13040-4CE2-460E-AB6D-0A2C9445EF31}
누출 무결성
외부: 1 x 10-10 atm scc/sec He max 
{37EF911C-5AB2-41E6-BDAA-0E5546E2429E}
기계적
{04647A1A-77D1-48E5-94C0-4C345575D054}
씰 재료
금속 

 
{E2F8F805-5FB4-44D6-BDB9-A2BCD08CF825}
표면 마감 (Surface Finish)
5 µ 인치 Ra 
 
{5FE329ED-7253-468D-9BFF-4F336F85BAA8}
습윤 재료
SEMI F20 HP 준수 

 

316L VIM/VAR 

 

Hastelloy C-22 

 

316L 스테인리스강 

 

304 스테인리스강
{A6C13564-F3F4-471D-8513-B10CE67199BC}
밸브
통상적으로 닫힘
{9087A477-4469-499E-AD0B-2A74CD529E1C}
전기
{B0432B84-4C46-443F-8E01-8EFFF1A638D3}
진단 능력
이용 가능
{341B13DE-D3FE-44E9-89FB-EFDD9BE856F3}
아날로그 통신
-
{C271A315-618F-4564-AC87-AD3EF24F8AAF}
디지털 통신
DeviceNet™ 
{F5DAA319-818A-4B18-A962-970AAE88CB6B}
전기 연결
5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™ 
 
{A793B5B6-6477-433B-9416-B30E562055A5}
전원 공급/소비
DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc
{950A2A75-EF73-4614-97EE-6B825856F986}
규정 준수
{94A26102-AF48-4FDF-A2EF-344FA253289B}
EMC
EC Directive 2014/30/EU 

CE: EN61326-1: 2013
{83C59269-0EAD-42B1-BA1D-8AE95AC04833}
환경 규정 준수
RoHS Directive(2011/65/EU) 

REACH Directive EC 1907/2006 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.