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5850E & i Series Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

뛰어난 안정성으로 안정적인 생산이 가능해 집니다.
모든 제품 라인에는 한 가지 씩 뛰어난 설비를 가지고 있습니다. 5850E와 5850i 시리즈는 바로 그런 제품입니다. 전 세계 수천 곳의 응용 분야에서 수십 년 동안 활발하게 사용되고 있는 이 센서는 독자적이고 매우 안정적인 유량 센서를 사용하여 오늘날 산업 제조 공정에서 요구하는 안정적이고 정확하며 반복 가능한 측정 및 제어 기능을 제공합니다. 

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5850E & i 시리즈 데이터 시트

특징

  • 연간 <0.2%FS의 장기간 Zero 안정성
  • 빠른 응답속도를 통한 미세한 Overshoot/Undershoot 제어 가능
  • 광범위한 유량 등급 : 3 sccm ~ 1000 slpm
  • 높은 압력 등급 : 최대 1,500 psi
  • 탈착식 유량 센서
  • 장착 자세에 영향받지 않음
  • 다른 질량 유량 제어기와 기계적 및 전기적으로 호환 가능
  • 전기적으로 활성화되는 밸브
  • 내식성 밸브

장점

  • 광범위한 공정 및 응용 범위에서 입증된 장기적인 안정성 및 정확성
  • 신뢰할 수 있는 성능에 기반한 탁월한 투자 수익성
  • 탈착식 유량 센서로 지속적인 모니터링과 기체 압력 재조정이 필요 없음
  • 아날로그 전용 입력/출력으로 쉽게 설치 및 서비스 가능

응용 분야

  • 화학 및 석유화학 촉매제 연구 및 파일럿 공정
  • 실험실 및 분석 시스템
  • 생명공학 생물반응기
  • 태양열
{47A41DAF-F923-4FBC-B7B5-C1AF2D07356B}
상품 유형
질량 유량 제어기
{06E05EA3-649D-4E7D-84C2-48A3895F605A}
특장점
입증된 신뢰할 수 있는 성능 
 
장기간 안정성 
 
현장에서 쉽게 범위 변경 및 재보정 가능 
{8EACF6B9-E446-4C53-A08B-4FC83A8679D4}
성능
{BFF72180-66CD-45F4-B3C7-569E7735282C}
유량 범위(최대 용량)
1~1000 slpm
{DD3F1766-CA6E-4E7A-8ECA-49BE94AC839A}
정확도
1% FS 
 
1.5% FS > 20 slpm
{A9CE8B91-15DA-496E-BBF1-F29B8A7D403C}
반복성 및 재현성

0.25% of Rate

{A667D636-B2F4-4D60-BB4B-1B108ECD161A}
선형성
정확도에 포함됨 
{5CAA5CF3-00D4-4A27-A958-F6DEEC3F4291}
응답 시간
E 시리즈 컨트롤러: < 3초 
 
I 시리즈 컨트롤러: < 6초 
 
계측기: 6초
{6029CBB8-106E-4EFD-A1A1-7C68EBC730D5}
다중 가스 및 범위 구성

{A2ED6DC6-6A4D-4188-83F0-389C10122E9D}
최대 압력
제어기 : 1500 psig 
 
계측기 : 최대 4500 psig (일부 모델)
{EB163BE1-B960-462A-9A71-600C74706F7A}
제어 범위
50:1
{3D72E8F7-4436-4B0E-B829-4CCFC3E5EBF2}
제로 안정성
연간 < 0.2%FS 
{DFCBEC34-9D14-40E5-8471-2CDACA3A9424}
유량 온도 계수
Zero: <0.075%FS/ ℃ 
 
Span: <1.0%SP over 10~50 ℃ 
{42AD4D0D-A3AD-4A2D-8FAA-ADC264759689}
입력 / 산출
0~5 Vdc 
 
I 시리즈: 0~20 mA; 4~20 mA 
{FA4F562F-3445-4D00-9329-7C0989B735CF}
등급
{5386FAF9-E051-496F-AE1B-E57B8207825A}
최고 온도
65℃ 
{102EDBA6-1F3E-44FF-893C-9C83D418A31A}
기계적
{903E9072-A3DC-4B6C-8581-A4338946E810}
씰 재료
탄성중합체 실링
{7EFA0C68-3C73-4CE9-8BA7-FA8FEDF9E76E}
진단
{CF714A50-3FC6-4DF9-AED9-6B7890055586}
진단 능력

{204B70BA-8D85-4958-8DBE-0E5D1C3C6618}
전기
{6F969BA0-06A3-48F6-BCD7-B72E57D11B0C}
아날로그 통신

0~5 Vdc

0~20 mA

4~20 mA

{773707F0-163F-4280-A035-3D4635431B9F}
디지털 통신

{3851E63F-5F7E-4CD6-8548-067728902032}
전기 연결
D형 커넥터
{578E1305-83C6-48B7-B19A-D0C027845B88}
전원 공급/소비
< 10.5 watts
{FCA18F5F-CCB2-4799-9629-782182A84917}
규정 준수
{7DAE2917-6E62-4546-83C6-8709497A16AC}
인증/승인

{A4A369DF-F05E-42BC-A8EB-264E2679E700}
크기
중간
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf Chinese English
Data Sheet - 5850E European pdf English
Installation & Operation Manual - 5850E pdf English
Installation & Operation Manual - 5850i pdf English
Installation & Operation Manual - 5851E pdf English
Installation & Operation Manual - 5851i pdf English
Installation & Operation Manual - 5853, 5863 pdf English
Installation & Operation Manual - 5860E pdf English
Installation & Operation Manual - 5860i pdf English
Installation & Operation Manual - 5861E pdf English
Installation & Operation Manual - 5861i pdf English
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급