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GP200 Series Metal Sealed Pressure-based Gas Mass Flow Controllers

성능의 결정판. 한계치의 극복.

GP200 시리즈는 반도체 제조의 고급 에칭 및 증착 공정을 위해 특별히 설계된 최초의 완전히 압력에 둔감한 압력 기반 질량 유량 컨트롤러(압력방식 MFC)입니다.

GP200 시리즈 압력방식 MFC는 기존 압력방식 MFC의 한계를 극복하여 낮은 증기압 프로세스 가스를 전달할 때에도 가장 정확한 프로세스 가스 전달을 제공하는 특허 아키텍처를 특징으로 합니다. 여기에는 다운스트림 밸브 아키텍처와 결합된 통합 차압 센서를 포함하여 여러 고유한 설계 측면이 포함되어 있어 업계에서 가장 광범위한 작동 조건에서 가장 정밀한 공정 가스를 전달할 수 있습니다.

GP200 시리즈는 이러한 광범위한 공정 조건을 지원하므로 기존의 많은 압력방식 MFC 및 열 MFC에 대한 드롭인 교체 및 업그레이드로 사용할 수 있습니다. 압력 조절기 및 변환기와 같은 구성 요소가 필요 없기 때문에 가스 전달 시스템의 복잡성과 소유 비용이 줄어듭니다.

GP200 시리즈의 디자인에 대한 자세한 내용과 작동 방식을 확인하십시오.



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전화 +82 31 708 2591

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GP200 시리즈 데이터 시트

특징

  • 정확한 차압 측정 기술 (True Differential Pressure Measurement)
  • 낮은 공급 압력에서의 작동
  • 후단 밸브 구조 (Downstream Valve Architecture)
  • 응답속도의 재현성 (Matched Transient Response)
  • Zero Leak 제어 밸브 (Zero Leak-by Control Valve)
  • MultiFlo™ 기술은 비할 데 없는 유연성을 제공합니다. 가스 라인에서 MFC를 제거하거나 정확도를 손상시키지 않고도 하나의 장치를 수천 가지 다른 가스 및 유량 범위 구성에 대해 프로그래밍할 수 있습니다.
  • 로컬 디스플레이는 유량, 온도, 압력 및 네트워크 주소를 나타냅니다.
  • DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-프로토콜 및 아날로그 인터페이스  

장점

  • GP200은 차압 기술을 사용함으로서 분리된 두 개의 압력 변환기를 일치시키고 보정할 필 요가 없으므로 측정 불확실성이 감소하고 정확도, 반복성 및 드리프트 성능이 향상됩니다.
  • 낮은 차압 측정을 위한 GP200 의 최적화된 차압 센서 덕분에 P-MFC 를 사용하여 낮은공급 압력에서 보다 안전하게 팹을 운영할 수 있습니다.
  • GP200의 후단(Downstream) Valve 구조는 Accuracy가 후단압력의 영향을 받지 해주므로로 후단이 1200 Torr 의 높은 압력일지라도 Gas 를 전달할 수 있습니다. GP200 의 Fast Closing Valve는 내부 가스를 Bleeding하는 데 추가 시간이 필요한 Upstream MFC Valve 설계에서 볼 수 있는 비생산적인 Recipe 대기시간, 즉 "Tail Effects"를 해결합니다.
  • Flow의 다양한 변화에 다라 매우 빠르고, 높은 반복성을 가진 안정화 시간은 첨단 High Cycle Deposition 및 Etch 프로세스에서 보다 엄격한 프로세스 제어가 가능하게 합니다.
  • Valve Shut - down의 100배 개선을 통해 측정되지 않은 가스(MFC제어 밸브와 Downstream 차단 밸브 사이)의 축적이 공정 첫 번째 웨이퍼의 불균일성 및 임계 치수(CD)결함을 야기하 는 오래된 과제인 "First wafer effect"가 해결됩니다.
  • MultiFlo™를 사용하면 최적의 프로세스 및 재고 유연성을 위해 정확도, 턴다운 또는 사양별 누출에 영향을 주지 않고 MFC 전체 규모 유량 범위를 일반적으로 3:1 비율로 다시 축소할 수 있습니다.
  • 편리한 사용자 디스플레이 및 독립적인 진단/서비스 포트는 장치 설치, 모니터링 및 문제 해결을 지원합니다.

주요 응용분야

  • 반도체 제조
  • 에칭
  • 화학 기상 증착(CVD)
  • 고순도 전체 금속 유로가 필요한 가스 유량 제어 애플리케이션

{8724994F-2E59-4874-8036-26F7E58A59E4}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{C1C2B1B1-D63C-4597-B230-34F8A27096A9}
특장점
초고순도 
 
초고속 응답 
 
압력 과도 무감응성 
{054040AE-B310-40B5-998B-D1AF69E98963}
성능
{0CE6BA5F-82D2-4A23-A562-F0F2CF5BBDE9}
유량 범위(최대 용량)
sccm~300 slm
{01282299-7D13-416A-BCAD-22621F93803F}
정확도
±1% S.P. > 35~00% 
 
±0.35% F. S. 2~5% 
{2F0B3742-3DC0-46F9-AE8D-D1B0E4B5D92C}
반복성 및 재현성
< ±0.15% S.P. 
{617316A7-AF88-4EB8-AB73-11C5BB8569B0}
응답 시간
300ms ~< 1 sec 
{29CF3459-F83C-4996-A2ED-73F9100F89F1}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 표준(대다수의 모델) 
{1D855B08-B1AF-4382-A649-FE952A8F9DB6}
압력 과도 무감응성
<5% S.P. 최대 5 psi/초 업스트림 압력 스파이크 
{BD160C6D-8161-4E0C-BE70-17C759559B69}
제어 범위
< 5 ~ 100%
{AF592619-6639-46C3-B295-AE52F5C3D244}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 개 
 
고 유량 GF 시리즈: 4 개 
{CB39301E-7A4A-4726-8283-4B8E7BC2A408}
제로 안정성
연간 ±0.5% F.S. 미만 
{C0CA7DCC-7003-41AE-959B-F802EE80DE4F}
유량 온도 계수
범위: °C당 0.05% S.P. 
 
Zero: °C당 0.005% F.S.  
{07A5BDB4-36C5-4CA4-9C09-4400CFA7A37E}
기계적
{9098CC70-D40E-4EA6-9C81-84FDD6E9FBA7}
씰 재료
금속 
{86EDE3E7-6B3B-44E7-98CD-5BC16D18200E}
표면 마감 (Surface Finish)
4 - 5µ inch Ra 
{FE35F248-521C-4500-98BA-099B82732385}
습윤 재료

SEMI F20 HP 준수 


316L VIM/VAR 


Hastelloy C-22 


316L 스테인리스강 


304 스테인리스강 


KM-45 

{B70F8148-7658-41D9-87E2-F2AC3D7C3A10}
밸브
Normally Closed 
 
Normally Open (특정 모델) 
 
유량계(밸브 없음) 
{29A84077-A29E-476F-92E1-BC8CAA8D5B90}
등급
{BFE5A757-6EB1-41FF-80F4-ECE1A20F311F}
최고 온도
50oC 
{4FE0BC41-AFB1-4E8A-BA02-361310FCDF46}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid  
 
861 ~ 7200 sccm = 10 ~ 45 psid 
 
7201 ~ 55000 sccm = 15 ~ 45 psid 
 
51 ~ 300 slm = 30 ~ 90 psid 
 
*일반 압력 강하. 자세한 정보는 Brooks 기술지원 부서에 문의해주십시오. 
{66BABDD1-831E-474D-A215-788B58C91EAC}
최대 압력
표준 GF 시리즈: 최대 100 psia 
 
고 유량 GF 시리즈: 75 psig(컨트롤러), 150 psig(유량계) 
{2C4DC457-3ED4-424D-A5D6-14ECE9872D91}
진단 및 디스플레이
{C67DFCEB-FEDC-4469-8124-096E14D7A0D8}
진단 능력
이용 가능 
{AD849A65-486D-47A6-B656-65089BD92530}
상태 표시등
MFC 상태 
 
네트워크 상태 
{5B74CA8C-5F62-4686-B6D4-D12031C50884}
알람

제어 밸브 출력 신호 


네트워크 중단 

{D3AC9C04-9967-4F68-B1A4-ABD34FBB5CB1}
독립 진단 서비스 포트
2.5mm 잭을 통한 RS485(모든 모델) 
{0A47F7DB-5E54-4482-8BDF-22BA94C0F7AF}
디스플레이
상단 장착 통합 LCD 
 
시야각: 고정 
 
가시 거리: 10 피트 
 
표시 단위: 유량(%), 온도(°C), 압력(psia, kPa) 
 
해상도: 0.1(단위) 
{35FDEB38-EDC3-468B-8328-0FC5283DD7CC}
전기
{394DECA1-6F9A-4696-A51E-7FDA4BEF0D89}
아날로그 통신
0-5 Vdc
{323B4E7F-7A59-45EC-BCB7-35B0B0CF0EDD}
디지털 통신

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L-Protocol

{A16772F9-BB39-4EBC-B10B-13A6E106A95F}
전기 연결

5 핀 M12 커넥터를 통한 DeviceNet™

RJ45 잭을 통한EtherCAT®, 5 핀 M8 커넥터를 통한 전원

9 핀 D 커넥터를 통한 0-5V 아날로그/RS485(L 프로토콜)

{EEACA90E-E709-45B6-9A80-A50561C69A52}
전원 공급/소비

최대 545mA @ +11-25 Vdc, 최대 250mA @ 24 Vdc (일반적인 작동 조건)

최대 360mA @ 18-30 Vdc, 최대 270mA @ 24 Vdc (일반적인 작동 조건)

최대 6 Watts @ ± 15 Vdc(± 10%) 또는 +24 Vdc(± 10%) (일반적인 작동 조건)

{48A177B5-FADD-4FFF-BC32-A221C7701131}
규정 준수
{2EFFEC5B-05E3-46D1-A562-5981B2FE61C2}
EMC
2014/30/EU EMC Directive EN:61326-1: 2013
{253814E8-11B5-4429-B11A-276E7E9A59AF}
환경 규정 준수

2011/65/EU & 2015/863/EU RoHS Directive

EC 1907/2006 REACH Directive

파일 이름 파일 형식 언어별 문서
DS-PR-GP200-ko pdf Korean English Japanese
Installation and Operation Manual pdf English
Standard Bin Gas Listing pdf English
Low Pressure Bin Gas Listing pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.