GP200 Metallgedichtete Massendurchflussregler
Volle Leistung, keine Kompromisse
Die GP200-Serie ist der erste seiner Art: Ein komplett druckunempfindlicher, druckbasierter Massendurchflussregler (P-MFC), der speziell für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde.
Die P-MFCs der Serie GP200 verwenden eine patentierte Architektur, die die Beschränkungen herkömmlicher P-MFCs überwindet. Selbst bei Zufuhr von Prozessgasen mit niedrigem Dampfdruck ermöglichen sie eine äußerst präzise Prozessgaszufuhr. Viele Konstruktionsmerkmale der Serie sind einzigartig, wie zum Beispiel der integrierte Differenzdrucksensor mit nachgeschaltetem Ventil. Diese Konstruktion erlaubt die auf dem Markt derzeit präziseste Prozessgaszufuhr unter sehr unterschiedlichen Betriebsbedingungen.
Da die GP200-Serie ein so breites Spektrum an Prozessbedingungen unterstützt, kann sie als Drop-in-Ersatz und Upgrade für viele herkömmliche P-MFCs und thermische MFCs verwendet werden. Sie macht das Gasversorgungssystem weniger komplex und gleichzeitig kostengünstiger, da sie ohne Komponenten wie Druckregler und Messwandler auskommt.
Merkmale
- Echte Differenzdruckmessung
- Betrieb mit niedrigerem Eingangsdruck
- Nachgeschaltete Ventilanordnung
- Angepasstes Einschwingverhalten
- Zero Leak-by-Regelventil
- Die MultiFlo™-Technologie bietet unvergleichliche Flexibilität – ein Gerät kann für Tausende verschiedener Gase und Durchflussbereiche konfiguriert werden, ohne dass der MFC von der Gasleitung entfernt werden muss oder die Genauigkeit beeinträchtigt wird
- Lokales Display zeigt Durchfluss, Temperatur, Druck und Netzwerkadresse an
- DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen
Ihre Vorteile
- Die GP200-Differenzdrucktechnologie macht die Anpassung und Kompensation von zwei separaten Drucksensoren überflüssig und reduziert so die Messunsicherheit zugunsten einer besseren Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Driftleistung.
- Da der GP200-Differenzdrucksensor speziell für die Messung niedriger Differenzdrücke optimiert ist, kann ein P-MFC jetzt auch bei niedrigeren Eingangsdrücken sicher betrieben werden.
- Die Konstruktion mit nachgeschaltetem Ventil stellt sicher, dass die Genauigkeit unabhängig vom nachgeschalteten Druck ist und ermöglicht die Durchflussmessung bei einem Druck von bis zu 1200 Torr. Das schnell schließende Ventil verhindert unproduktive Rezepturwartezeiten oder "Nachlaufeffekte", die bei vorgelagerten MFC-Ventilkonstruktionen sonst auftreten, weil sie längere Zeit zum Entlüften ihres internen Gasvolumens benötigen.
- Die ultraschnelle, hochgradig wiederholbare Stabilisierungszeit für ansteigende und abfallende Strömungen ermöglicht eine genauere Prozesssteuerung bei fortschrittlichen Abscheidungs- und Ätzprozessen mit schnellen Zyklen.
- 100-fache schnellere Ventilabschaltung
- Mit MultiFlo™ kann der MFC-Durchflussbereich bei voller Skalierung typischerweise um den Faktor 3:1 verkleinert werden, ohne dass dies gemäß der Spezifikationen Auswirkungen auf die Genauigkeit, den Regelbereich oder die Leckage hat. Das garantiert optimale Prozess- und Bestandsflexibilität.
Komfortables Benutzerdisplay und separater Diagnose-/Serviceanschluss erleichtern die Installation, Überwachung und Fehlerbehebung des Geräts
Pressure-based Mass Flow Controller - The Principle of Operation
Part 2: Pressure-based Mass Flow Meter for Advanced Semiconductor Manufacturing
How a Mass Flow Meter Addresses Flow Bursts with Zero Leak-by Valve Technology
| Medientyp | Gas |
|---|---|
| Durchflussmessprinzip | Pressured-based (P-MFC) |
| Durchflussbereich | 3 sccm - 50,000 sccm |
| Genauigkeitsbereich | Zero Leak Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.), Metal Seal Valve: <±1% S.P. (5-100% F.S.), <±0.05% F. S. (2-5% F.S.) |
| Ablehnungsquote | Zero Leak Valve: 0.5 - 100% F.S., Metal Seal Valve: 2 - 100% F.S. |
| Wiederholgenauigkeit | < ±0.15% S.P. |
| Maximaler Druck | 150 psi |
| Betriebstemperatur | 10°C - 60°C |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller) |
| Maximaler Durchfluss | 50000 sccm |
| Maximaler Betriebsdruck | 10 bar |
| Maximale Temperatur | 60 celsius |
| Dichtungsoption | Metal |
| Genauigkeit (% vom Messwert) | ±1.0% |
| Konnektivität | Analog (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485 |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GP200 - Fitting - Communications - STEP