{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
특장점
EtherCAT 통신
고순도/초고순도
임베디드 진단
매우 안정적인 유량 센서
개선된 밸브 차단
{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
유량 범위(최대 용량)
표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slm
고 유량 GF 시리즈: 55 slm ~ 300 slm
{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
정확도
표준 GF 시리즈: ±1% S.P. > 20~100%; ±0.2% F.S. 2~20%
고 유량 GF 시리즈: ±1% S.P. > 35~100%; ±0.35% F.S. 2~35%
{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
응답 시간
Normally Closed Valve: 300 ms ~ < 1 초
SDS 가스 전달: < 3 초
{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
응답 시간
Normally Opened Valve: <1.5 초(특정 모델)
{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 표준(대다수의 모델)
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
제어 범위
표준 GF 시리즈: 2~100%
고 유량 GF 시리즈: 5~100%
{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 개
고 유량 GF 시리즈: 4 개
{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
밸브 차단
표준 GF 시리즈: < 0.15% F.S.
고 유량 GF 시리즈: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out
{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
제로 안정성
< ±0.15% F.S. per year
{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
유량 온도 계수
Span : °C당 0.05% S.P.
Zero : °C당 0.005% F.S.
{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
표면 마감 (Surface Finish)
5 ~ 10µ inch Ra
{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
습윤 재료
SEMI F20 HP/UHP 준수
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
316L 스테인리스강
304 스테인리스강
KM-45
{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
밸브
Normally Closed
Normally Open (특정 모델만)
유량계(밸브 없음)
{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid
861-7200 sccm = 10-45 psid
7201~55000 sccm = 15~45 psid
51 slm~300 slm = 30~90 psid
SDS 모델 10 Torr- 30 psid 일반
*일반적인 압력 강하. 자세한 정보는 Brooks 기술지원 부서에 문의해주십시오.
{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
최대 압력
표준 GF 시리즈: 최대 500 psia
고 유량 GF 시리즈: 75 psig(컨트롤러), 150 psig(유량계)
{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/sec He
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
알람
제어 밸브 출력 신호
네트워크 중단
온도 높음/낮음
압력 높음/낮음
전원 서지/새그
{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
디스플레이
상단 장착 통합 LCD
시야각: 고정
가시 거리: 10 피트
표시 단위: 유량(%), 온도(°C), 압력(psia, kPa)
해상도: 0.1(단위)
{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
전기 연결
5-pin M8 커넥터를 통한 전력 공급, 트윈 RJ45를 통한 EtherCAT
{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
전원 공급/소비
24 Vdc, 7 Watts
(일반 운영 조건 시)
