GF100 Metallgedichteter Massendurchflussregler und Durchflussmesser (mit EtherCAT-Schnittstelle)

Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung

• Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose
• Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ≤ 0,15% v. S.P. pro Jahr) ermöglicht höhere Genauigkeit kleiner Sollwertvorgaben verbunden mit reduziertem Wartungsaufwand
• Verbessertes Schliessverhalten des Ventils (≤ 0,15% des ausgewählten Bereiches) reduziert die Ventil-Leckage bei gleichzeitiger Ertragssteigerung.
• Nochmals verbesserte Unempfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen reduziert das Übersprechen und gewährleistet einen konstanten Massedurchfluss

Merkmale

• Langzeitnullpunktstabilität von <±0,15 % des Endwerts pro Jahr
• Einschwingzeiten: 300 ms bis <1 Sekunde
• Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
• Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,12 µm oder 0,25 µm
• Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
• MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
• Komfortables Display sowie unabhängiger Diagnose- / Service-Port unterstützen bei Geräteinstallation, Überwachung und Fehlersuche
• GF120 Safe Delivery System (SDS®) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler von Brooks mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können

Ihre Vorteile

• Außergewöhnliche Leistung
• Schnellste Reaktionszeiten steigern die Effektivität Ihrer Applikation
• Flexible Topologie
• Praktisch unbegrenzte Netzwerktopologie möglich
• Einfach und robust
• Konfiguration, Diagnose und Wartung
• Erschwinglich
• Standardmässig mit Ethernet-Port