VersaTorr BVT200 トランスデューサー

大気圧切替機能付き超広範囲ピラニ／静電容量／ピエゾ式トランスデューサ。

VersaTorr BVT200/225 シリーズ ピラニ式トランスデューサで、新たな基準を確立します。これは、幅広い真空用途に対応するオールインワンの広範囲測定ソリューションです。熱損失原理を採用することで、5.0E-3～1333 mbarの範囲においてガス種に依存しないコスト効率に優れた測定を実現し、さらに1E-6 mbarまでの高精度測定も可能にする点で、他の真空計とは一線を画しています。

ガスの組成や種類が変化する可能性がある真空用途において、従来のガス依存型ピラニゲージでは、実際の圧力から測定値がずれてしまうことがあります。Tri-Sensorトランスデューサは、高精度な静電容量式ダイアフラムゲージ（CDG）センサーを採用しており、ガスへの依存性を排除することで、ガスの特性が変化した場合でも正確な測定を実現します。

この一体型熱損失MEMSピラニセンサーは、測定範囲を1E-6 mbarまで拡張するとともに、容量式マノメーターの画期的な自動ゼロ調整機能を提供します。これにより、従来の容量式ダイヤフラムゲージで必要とされていた手動によるゼロ調整が不要になります。