VersaTorr BVT200-Wandler
Piran-Kondensator-Piezo-Messwandler mit extrem großem Messbereich und Umschaltfunktion für atmosphärischen Druck.
Setzen Sie neue Maßstäbe mit dem Pirani-Messwandler der Serie VersaTorr BVT200/225. Es handelt sich um eine All-in-One-Lösung für den Messbereich mit großem Messbereich, die sich für eine Vielzahl von Vakuumanwendungen eignet. Sie unterscheidet sich von allen anderen Vakuummessgeräten durch eine insgesamt kostengünstige, gasunabhängige Messung von 5,0E-3 bis 1333 mbar in Kombination mit einer Messung bis hinunter zu 1E-6 mbar unter Verwendung des Wärmeverlustprinzips.
Bei Vakuumanwendungen, bei denen sich die Gaszusammensetzung oder die Gasart ändern kann, führen herkömmliche gasabhängige Pirani-Messgeräte zu Messabweichungen vom tatsächlichen Druck. Der Tri-Sensor-Messwandler nutzt einen präzisen kapazitiven Membran-Messsensor (CDG), der die Gasabhängigkeit beseitigt und auch bei sich ändernden Gaseigenschaften genaue Messwerte liefert.
Der integrierte MEMS-Pirani-Sensor für den Wärmeverlust erweitert den Messbereich bis auf 1E-6 mbar und ermöglicht eine neuartige automatische Nullpunktkorrektur des Kapazitätsmanometers, wodurch die bei herkömmlichen Kapazitätsmembranmanometern übliche manuelle Nullpunktkorrektur entfällt.
Funktionen und Vorteile
- Extrem großer Messbereich von 9 Dekaden
- Die kapazitive Membran sorgt für eine höhere Genauigkeit von 0,5 % im niedrigen Vakuumbereich
- 6 Jahrzehnte gasunabhängige Messungen von 5E-3 bis 1333 mbar
- Automatische Nullstellung des Kapazitätsmanometers
- Vakuum-Temperatursensor für die Diagnose
Anwendungen
- Lastschleusen
- Transferkammern
- Vorderlinien
- Vakuum-Vorbearbeitungsanlagen
- Dünnschichtverarbeitung
| Druckbereich | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| Genauigkeit | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5%, 7.5x10-3 to 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 to 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr to 1000 Torr: ≤±0.5% |
| Konnektivität | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| Gerätetemperatur | Ambient - 50°C |
| Messprinzip | Piezo, Capacitance Diaphragm Gauge |
Verwenden Sie die folgende Übersicht (Typenbezeichnungsangaben aus dem Datenblatt), um die unten aufgeführten CAD-Konfigurationen zuzuordnen. Wenn Sie Hilfe benötigen oder nicht finden, wonach Sie suchen, kontaktieren Sie uns bitte.
| Modell | Montage | Elektrischer Anschluss |
| BVT200 | DN16KF | 15-poliger D-Sub-Stecker |