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GF120xHT 金属密閉型高温対応マスフローコントローラーおよび流量計

高純度の流路。高温でのアプリケーションで卓越した性能と信頼性を発揮します。

GF120xHT 高温用マスフローコントローラ(MFC) とメータは、半導体製造プロセスにおけるプリカーサの使用量の増加に対応するため、液体または固体源から発生する蒸気の質量流量を制御・測定するように設計されています。 GF120xHTのフローモジュールは、150℃までの動作環境に対応した製品です。この温度範囲を保証するために、電子回路はデバイスの他の部分とリモートで接続されており、より低温の場所（最大50℃）に設置されています。リモートユニットはDIN取り付けが可能で、接続ケーブルの長さは3種類（3フィート、8フィート、16.5フィート標準）からお選びいただけます。 GF120xHTは、豊富な通信プロトコルとフィッティングオプションを持っているため、次世代のプロセス装置へのインストールや従来の加熱型ますマスフローコントローラのアップグレードに最適です。

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メリット

液体プリカーサの蒸気供給で150℃までのアプリケーションをサポートすることができる
ユーザーフレンドリーな診断インターフェイスにより、プロセスエンジニアは、MFCが指定された範囲内で動作していることを確認することができるため、歩留まりの向上と稼働時間の最大化を実現します
卓越したセンサーの長期安定性により、スループットと歩留まりを最大化します
お客様の使用温度と圧力で校正することで、最大限の性能を発揮します

使用媒体	Gas
流量測定原理	Thermal (TMF)
流量範囲	50 sccm - 5 slpm
精度範囲	±1% S.P. >35-100%±, 0.35% FS 2-35%
再現性	5-100% = ±0.15% of S.P., 2-5% = ±0.015% of F.S.
最大圧力	500 psi
動作温度	45°C - 150°C
シールオプション	Metal
測定／制御	Measure & Control (Controller)
最大流量	5 slpm
最高温度	150 celsius
精度（流量比）	±1.0%
接続性	Analog (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485

ファイル名

ファイル形式

言語別ドキュメント

Data Sheet - GF120xHT Series

PDF

English

Installation & Operation Manual - GF120xHT Series

PDF

English

DeviceNet™ Supplemental Manual - GF120xHT Series

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English

EtherCAT® Supplemental Manual - GF120xHT Series

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English

RS485 Supplemental Manual - GF120xHT Series

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English

Use the following guide, based on model code information from the data sheet, to translate the filename of the CAD drawings available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF120xHT (model) - CX (fitting) - G1 (connector)

Model	Fitting	Connector
GF120xHT	BX - 1-1/2” body width, 92 mm W Seal	BX - Cable adapter to 15-pin D adapts G1 base
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5-pin micro
	LX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal w/Poke Yoke	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks adapts GX base
	VX - 1-1/8” body width, 124 mm 1-1/4” VCR male	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”), display and overlay 180 degree orientation
	WX - 1-1/8” body width, 92 mm W Seal	G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		HX - Adapter to cardedge adapts to G1 base
		IX - Adapter to cardedge adapts to GX base
		JX - Cable adapter with 9-pin STEC pin-out & jack screws (w/VTP) adapts SX base
		KX - Cable adapter to MKS 15-pin D, adapts G1 base
		QX - Adapter to cardedge (w/out VTP) adapts to SX base
		SX - 9-pin D with STEC pin-out (w/VTP) (units “S“, “Q“)
		UX - Cable adapter to 15-pin D (w/VTP) adapts SX base