GF120xHT Hochtemperatur-Massendurchflussregler und -messgeräte mit Metalldichtung
Hochreiner Strömungspfad. Hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit für Hochtemperaturanwendungen.
Die Hochtemperatur-Massendurchflussregler (MFCs) und -messgeräte der Serie GF120xHT wurden für die Regelung und Messung des Massenstroms von Dämpfen aus flüssigen oder festen Quellen entwickelt, um den zunehmenden Einsatz dieser Ausgangsstoffe in der Halbleiterfertigung zu unterstützen. Das Durchflussmodul der GF120xHT-Geräte ist für Betriebsumgebungen bis 150 °C ausgelegt. Um diesen Temperaturbereich zu ermöglichen, ist die Elektronik räumlich vom übrigen Gerät getrennt und an einem Ort mit niedrigerer Temperatur (max. 50 °C) montiert. Die abgesetzte Elektronikeinheit lässt sich auf einer DIN-Schiene montieren; für die Verbindung stehen drei Standard-Kabellängen zur Auswahl: 3 Fuß (ca. 0,9 m), 8 Fuß (ca. 2,4 m) und 16,5 Fuß (ca. 5 m). Dank der vielfältigen Kommunikationsprotokolle und Anschlussoptionen eignet sich die GF120xHT-Serie hervorragend für Prozessanlagen der nächsten Generation sowie als Upgrade für ältere beheizte MFC-Modelle.
Merkmale
- Für Hochtemperaturanwendungen bis 150 °C ausgelegt
- Ein praktischer Service-Anschluss ermöglicht den Zugriff auf die Diagnose über eine benutzerfreundliche Schnittstelle.
- Korrosionsbeständiger Hastelloy-Sensor
- Auf die Prozessbedingungen des Kunden abgestimmt
Anwendungen
- Fortschrittliche Bandverfahren
- Atomlagenabscheidung (ALD)
- Ablagerung
Vorteile
- Geeignet für Anwendungen bis 150 °C zur Zufuhr von Dampf aus flüssigen Precursoren
- Die benutzerfreundliche Diagnoseschnittstelle unterstützt den Verfahrenstechniker dabei, den Betrieb des MFC innerhalb der spezifizierten Grenzwerte sicherzustellen – für hohe Ausbeute und maximale Verfügbarkeit.
- Bietet unübertroffene Langzeitstabilität des Sensors für maximalen Durchsatz und Ertrag.
- Für optimale Leistung bei der Betriebs-Temperatur und dem Betriebsdruck des Kunden kalibriert.
| Medientyp | Gas |
|---|---|
| Durchflussmessprinzip | Thermal (TMF) |
| Durchflussbereich | 50 sccm - 5 slpm |
| Genauigkeitsbereich | ±1% S.P. >35-100%, ±0.35% FS 2-35% |
| Wiederholgenauigkeit | 5-100% = ±0.15% of S.P., 2-5% = ±0.015% of F.S. |
| Maximaler Druck | 500 psi |
| Betriebstemperatur | 45°C - 150°C |
| Dichtungsoption | Metal |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller) |
| Maximaler Durchfluss | 5 slpm |
| Maximaler Durchfluss | 5000 sccm |
| Maximale Temperatur | 150 celsius |
| Genauigkeit (% vom Messwert) | ±1.0% |
| Konnektivität | Analog (0–5 V), DeviceNet, EtherCAT, RS485 |
Nutzen Sie die folgende Anleitung – basierend auf den Modellcode-Informationen im Datenblatt –, um die Dateinamen der unten aufgeführten CAD-Zeichnungen zu entschlüsseln. Sollten Sie Unterstützung benötigen oder nicht fündig werden, wenden Sie sich bitte an die technische Anwendungsberatung oder Ihren zuständigen Ansprechpartner bei Brooks Instrument.
Beispiel: GF120xHT (Modell) - CX (Beschlag) - G1 (Anschluss)
| Modell | Beschlag | Anschluss |
| GF120xHT | BX - 1-1/2” Gehäusebreite 92 mm, W-Dichtung | BX - Kabeladapter auf 15-poligen D-Sub-Anschluss für G1-Sockel |
| CX - 1-1/8” Gehäusebreite 92 mm, C-Dichtung | DX - DeviceNet™ 5-poliger Micro- | |
| LX - 1-1/8” Gehäusebreite, 92 mm C-Dichtung mit Poka-Yoke | EX - Kabeladapter auf Card-Edge-Anschluss (ohne VTP), RS485-Anbindung über RJ11-Buchsen zur Adaptierung der GX-Basis | |
| VX - 1-1/8” Gehäusebreite 124 mm, 1 1/4"-VCR-Außengewinde | GX - 9-poliger D-Sub-Anschluss mit RS485 (Ausführung „G“), Display und Overlay um 180 Grad gedreht | |
| WX - 1-1/8” Gehäusebreite 92 mm, W-Dichtung | G1 - 9-poliger D-Sub mit RS485 (Einheit „G“) | |
| HX - Adapter für Kartenrandanschluss zur Anpassung an einen G1-Sockel | ||
| IX - Adapter von Card-Edge-Anschluss auf GX-Sockel | ||
| JX - Kabeladapter mit 9-poliger STEC-Belegung & Schraubbolzen (mit VTP) zur Adaptierung der SX-Basis | ||
| KX - Kabeladapter auf MKS 15-Pin-D-Sub, adaptiert G1-Sockel | ||
| QX - Adapter auf Kartenrandanschluss (ohne VTP) zur Anpassung an die SX-Basis | ||
| SX - 9-poliger D-Sub-Anschluss mit STEC-Belegung (mit VTP) (Geräte „S“, „Q“) | ||
| UX - Kabeladapter auf 15-poligen D-Sub-Anschluss (mit VTP) zur Anpassung der SX-Basis |