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製品 気化器製品 蒸気供給モジュール VDM300
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VDM300 蒸気供給モジュール

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
モデル VDM300

ブルックスインスツルメントの蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、超高清浄の水蒸気を供給する高性能な自給式モジュールです。低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能をコンパクトで便利なパッケージにまとめたものです。

先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDMは、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。VDMは、実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するので、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。

また、独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

VDM300 データシート

特長

  • 流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気)
  • 優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
  • プラント内純水供給装置に直接接続
  • 最低温度（非過熱状態）でも動作可能
  • 水洗および排水用に最適な設計
  • EtherCATデジタルコミュニケーション
  • Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース


メリット
  •  実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用
  •  さまざまな水供給圧にも対応
  •  耐腐食処理を強化
  •  クリーンな製造
  •  アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース
  •  強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのためのダイレクトインターフェース

用途
  •  シリコン半導体の金属エッチング後プロセス
  •  シリコン半導体メタルストリッププロセス
  •  低大気圧環境における超高清浄度加湿
{686E71F6-53E5-459B-BB97-3C98CB993E68}
製品タイプ

DI Water Vapor Delivery Module

 

{88AEC127-0F8D-4099-B36C-835BEE2E5141}
差別化要因

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

{7DFD58A9-1BBC-45D0-BB74-657138CC6824}
Vaporization Method
Vapor Draw
{4127E16B-FEBA-44B3-9B89-EB40153F88FF}
流体タイプ
UHP DI Water
{7C51BBDB-1165-4019-83CB-479215CA2384}
流量範囲（フルスケール容量）

3000 sccm

{12FF778B-276D-4FF1-A74B-3FCDABF21A31}
Turndown Ratio
20:1
{60BA814D-91FB-49F2-BD8B-288EDF0B9D6C}
Response Time - NC

<2 sec

{8B88BD39-1DED-4EEA-A23F-7AB79B7D0E17}
精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

{3DA92E00-D1D6-4452-8E41-BBF79215CB38}
Linearity
±0.5% of FS
{4A845A8C-561A-407C-B2BE-33AA4F042686}
再現性
<±0.2% FS
{F5C19F86-B8CB-4A3E-A1AB-E87746C228C3}
Temperature Coefficient
0.05% per °C zero and span
{14FDE091-B57D-41D1-912D-E1CFBDEDC346}
Valve Shut Down

Normally Closed Valve: <0.5% FS

{7DFAFBEA-7FCB-4C96-BF47-305228C0CDC0}
Electrical
{A643096B-96ED-46C4-9340-0AA867EC2914}
アナログ通信

0 to 5-24 Vdc

{D38C172F-BC04-4122-A080-C7195BD1874F}
デジタル通信

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via  microUSB

{457F7D7F-9B41-4033-A2A4-2445737E909F}
Electrical Connection

208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

{053E4EF3-2EC4-431F-B024-BE9CF23C13FB}
Status Lights

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

{F9A847E9-E9B8-456E-B522-C7037DFA7F84}
Diagnostic - Service Port

RS-485 via microUSB

{7C5A80D9-3706-4F3D-83A6-AEC0B97F6B41}
Fittings

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

{BDDC92B0-D5D3-4A85-8CF3-01912BB880FA}
Mounting Orientation
Vertical with DIW inlet fittings down
{F69EABE4-0420-4FD7-97FC-DE6FAE29E394}
評価
{9B9BCF05-4D20-49E6-BDD0-B6F203C06BC2}
最高圧力

Vapor Outlet: 200 torr

{3A041A2F-B50B-41B3-9FEC-A4EBCC75D8DD}
Pressure - Supply

蒸留水（DIW）: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

{0F392497-24CD-44F0-A51E-DD636387EE5F}
周囲温度範囲
15 - 45°C
{48AE4C1E-E85E-4FC2-B376-0B3E9C9AFD8E}
Internal Volume
0 to 95% RH, non-condensing
{1B9DD8FC-55EC-4ADB-BD38-5BE416F8047A}
コンプライアンス
{746AD35C-DB34-47FA-81B0-A3411CF0F882}
電磁環境適合性
Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

{12AE6532-A860-4E96-B8B2-A7E94B69C441}
環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

VDM300
流量範囲（フルスケール容量）

3000 sccm (DIW Vapor)
電源入力 208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS
Control Range 20:1
Pressure - Supply 10 - 40 psig
Linearity <0.5% of FS
最高圧力 200 torr
Mounting Orientation Vertical (inlet down)
再現性 <±0.2% FS
Response Time - NC

<2 sec
アナログ通信

0 to 5-24 Vdc
デジタル通信

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostics (RS-485) via microUSB
Filename File Type Documents By Language
VDM300-At-a-Glance pdf Chinese English
vdm300-vapor-delivery-module-data-sheet pdf Japanese English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: VDM3 - 1

Series
  Inlet Fitting
VDM3
   1 - 1/4” VCR Male
    2 - 1/4” Tube Compression

 

Filename File Type
VDM3-1 STEP
VDM3-2 STEP
ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール（BEST）は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（ライセンスキー）を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。