ブルックスインスツルメントの蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、超高清浄の水蒸気を供給する高性能な自給式モジュールです。低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能をコンパクトで便利なパッケージにまとめたものです。
先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDMは、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。VDMは、実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するので、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。
また、独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。